CN214777473U - 微正压洁净运输箱 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体物品运输的技术领域，特别是涉及一种微正压洁净运输箱，其通过对储物盒内多次进行抽真空和充氮气的操作，达到干燥洁净的环境要求后，撤除真空泵和氮气瓶，即可完成微正压洁净环境的设定，从而提高半导体物品运输时清洁及干燥效果，提高半导体物品的保护性；包括手提箱、箱盖、隔板、储物盒、固定装置、盖板、排气管、第一电磁阀门、进气管、第二电磁阀门、过滤箱、干燥层、过滤网和防护盖，手提箱内设置有腔室，腔室顶端设置有开口，开口与腔室内相通，箱盖可旋转安装在手提箱的顶端并连通设置在腔室的开口处，隔板的外沿与手提箱的内侧壁连接并设置在腔室内，隔板上设置有通孔，储物盒设置在隔板的通孔内部。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体物品运输的技术领域，特别是涉及一种微正压洁净运输箱。
背景技术
微正压洁净运输箱是一种用于微正压洁净运输的辅助装置，其在半导体物品运输的领域中得到了广泛的使用；现有的微正压洁净运输箱使用中发现，半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。
目前对于一些半导体物品需要短途运输时，必须要在干燥洁净的环境下才能保护其物品不被损坏，因此需要将其放置在具备干燥洁净环境的运输箱内进行密封运输，现有的运输装置对半导体物品运输时的封闭性较差，降低了半导体物品运输时的清洁干燥效果，降低了半导体物品运输的保护性。
实用新型内容
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种通过对储物盒内多次进行抽真空和充氮气的操作，达到干燥洁净的环境要求后，撤除真空泵和氮气瓶，即可完成微正压洁净环境的设定，从而提高半导体物品运输时清洁及干燥效果，提高半导体物品的保护性的微正压洁净运输箱。
本实用新型的微正压洁净运输箱，包括手提箱、箱盖、隔板、储物盒、固定装置、盖板、排气管、第一电磁阀门、进气管、第二电磁阀门、过滤箱、干燥层、过滤网和防护盖，手提箱内设置有腔室，腔室顶端设置有开口，开口与腔室内相通，箱盖可旋转安装在手提箱的顶端并连通设置在腔室的开口处，隔板的外沿与手提箱的内侧壁连接并设置在腔室内，隔板上设置有通孔，储物盒设置在隔板的通孔内部，储物盒的底端与手提箱的内侧壁连接，并且储物盒的顶端设置有取放口，取放口与腔室内相通，固定装置设置在储物盒的内部，盖板设置在储物盒的顶端并对储物盒的取放口进行封闭，排气管安装在储物盒的外侧壁上并与储物盒内连通，第一电磁阀门连通设置在排气管上，进气管安装在储物盒的外侧壁上并与储物盒内连通，第二电磁阀门连通设置在进气管上，过滤箱的底端与手提箱的内侧壁连接，过滤箱内设置有空腔，空腔内设置有进气口与排气口，进气口与排气口均与空腔内相通，并且空腔排气口与进气管连通，防护盖可旋转安装在手提箱的外侧壁上，防护盖内设置有两组胶皮套，并且两组胶皮套通过防护盖向下旋转后分别对排气管的输出端与过滤箱的输入端进行封闭。
本实用新型的微正压洁净运输箱，固定装置包括多组轴座、多组转轴、多组固定阀门、多组固定卡件、多组弹簧、多组限位板、减震海绵和托盘，多组轴座的底端分别与隔板的顶端连接，多组转轴的底端分别与多组轴座的顶端可旋转连接，多组固定阀门分别安装在多组轴座的为侧壁上并对多组转轴的旋转起固定作用，多组固定卡件分别安装在多组转轴的外侧壁上，多组弹簧的顶端分别与盖板的底端连接，多组限位板的顶端分别与多组弹簧的底端连接，减震海绵套装在储物盒的内侧壁上，托盘的外沿与减震海绵的内侧壁连接并设置在储物盒内部，托盘的顶端设置有多组卡槽，并且多组限位板的位置分别与多组卡槽的位置相对应。
本实用新型的微正压洁净运输箱，还包括触控屏、颗粒物浓度传感器、湿度传感器、气压传感器和氧气浓度传感器，触控屏安装在隔板的顶端，颗粒物浓度传感器、湿度传感器、气压传感器和氧气浓度传感器分别固定安装在手提箱的内侧壁上并分别与储物盒内部连通。
本实用新型的微正压洁净运输箱，还包括绝缘密封圈，绝缘密封圈安装在盖板底部的外沿上。
本实用新型的微正压洁净运输箱，还包括提手，提手安装在手提箱的外侧壁上。
本实用新型的微正压洁净运输箱，储物盒设置为抗静电材质。
本实用新型的微正压洁净运输箱，还包括蓄电池，蓄电池安装在手提箱的内侧壁上并分别对触控屏、颗粒物浓度传感器、湿度传感器、气压传感器和氧气浓度传感器提供电力。
与现有技术相比本实用新型的有益效果为：首先将需要运输的半导体物品放置在储物盒内部并通过固定装置进行位置固定，通过分别将氮气瓶与过滤箱的输入端连通、真空泵与排气管的输出端连通后，开启真空泵对储物盒内进行抽真空，达到设定真空度后关闭第一电磁阀门，然后打开第二电磁阀门对储物盒内进行充氮气，达到设定压力后关闭第二电磁阀门，多次进行抽真空和充氮气的操作，达到干燥洁净的环境要求后，撤除真空泵和氮气瓶，即可完成微正压洁净环境的设定，从而提高半导体物品运输时清洁及干燥效果，提高半导体物品的保护性，通过设置过滤箱与干燥层对进入储物盒内部的气体进行过滤及干燥处理，从而提高充入气体的质量，通过设置两组胶皮套分别对排气管的输出端与过滤箱的输入端进行封闭，从而减少外部的灰尘污垢对储物盒内部的污染，提高装置的防护性。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图；
图2是手提箱与防护盖等连接的放大结构示意图；
图3是防护盖与胶皮套等连接的放大结构示意图；
图4是弹簧与限位板等连接的放大结构示意图；
附图中标记：1、手提箱；2、箱盖；3、隔板；4、储物盒；5、盖板；6、排气管；7、第一电磁阀；8、进气管；9、第二电磁阀；10、过滤箱；11、干燥层；12、过滤网；13、防护盖；14、胶皮套；15、轴座；16、转轴；17、固定阀门；18、固定卡件；19、弹簧；20、限位板；21、减震海绵；22、托盘；23、触控屏；24、颗粒物浓度传感器；25、温湿度传感器；26、气压传感器；27、氧气浓度传感器；28、绝缘密封圈；29、提手；30、蓄电池。
具体实施方式
下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。
如图1至图4所示，本实用新型的微正压洁净运输箱，包括手提箱1、箱盖2、隔板3、储物盒4、固定装置、盖板5、排气管6、第一电磁阀门7、进气管8、第二电磁阀门9、过滤箱10、干燥层11、过滤网12和防护盖13，手提箱1内设置有腔室，腔室顶端设置有开口，开口与腔室内相通，箱盖2可旋转安装在手提箱1的顶端并连通设置在腔室的开口处，隔板3的外沿与手提箱1的内侧壁连接并设置在腔室内，隔板3上设置有通孔，储物盒4设置在隔板3的通孔内部，储物盒4的底端与手提箱1的内侧壁连接，并且储物盒4的顶端设置有取放口，取放口与腔室内相通，固定装置设置在储物盒4的内部，盖板5设置在储物盒4的顶端并对储物盒4的取放口进行封闭，排气管6安装在储物盒4的外侧壁上并与储物盒4内连通，第一电磁阀门7连通设置在排气管6上，进气管8安装在储物盒4的外侧壁上并与储物盒4内连通，第二电磁阀门9连通设置在进气管8上，过滤箱10的底端与手提箱1的内侧壁连接，过滤箱10内设置有空腔，空腔内设置有进气口与排气口，进气口与排气口均与空腔内相通，并且空腔排气口与进气管8连通，防护盖13可旋转安装在手提箱1的外侧壁上，防护盖13内设置有两组胶皮套14，并且两组胶皮套14通过防护盖13向下旋转后分别对排气管6的输出端与过滤箱10的输入端进行封闭；首先将需要运输的半导体物品放置在储物盒4内部并通过固定装置进行位置固定，通过分别将氮气瓶与过滤箱10的输入端连通、真空泵与排气管6的输出端连通后，开启真空泵对储物盒4内进行抽真空，达到设定真空度后关闭第一电磁阀门7，然后打开第二电磁阀门9对储物盒4内进行充氮气，达到设定压力后关闭第二电磁阀门9，多次进行抽真空和充氮气的操作，达到干燥洁净的环境要求后，撤除真空泵和氮气瓶，即可完成微正压洁净环境的设定，从而提高半导体物品运输时清洁及干燥效果，提高半导体物品的保护性，通过设置过滤箱10与干燥层11对进入储物盒4内部的气体进行过滤及干燥处理，从而提高充入气体的质量，通过设置两组胶皮套14分别对排气管6的输出端与过滤箱10的输入端进行封闭，从而减少外部的灰尘污垢对储物盒4内部的污染，提高装置的防护性。
本实用新型的微正压洁净运输箱，固定装置包括多组轴座15、多组转轴16、多组固定阀门17、多组固定卡件18、多组弹簧19、多组限位板20、减震海绵21和托盘22，多组轴座15的底端分别与隔板3的顶端连接，多组转轴16的底端分别与多组轴座15的顶端可旋转连接，多组固定阀门17分别安装在多组轴座15的为侧壁上并对多组转轴16的旋转起固定作用，多组固定卡件18分别安装在多组转轴16的外侧壁上，多组弹簧19的顶端分别与盖板5的底端连接，多组限位板20的顶端分别与多组弹簧19的底端连接，减震海绵21套装在储物盒4的内侧壁上，托盘22的外沿与减震海绵21的内侧壁连接并设置在储物盒4内部，托盘22的顶端设置有多组卡槽，并且多组限位板20的位置分别与多组卡槽的位置相对应；将需要运输的半导体物品分别放置在托盘22顶端的多组卡槽内部，当盖板5对储物盒4的顶端开口封闭后，盖板5底端通过多组弹簧19使多组限位板20的底端分别按压在多组半导体物品的上部，从而使多组限位板20将半导体物品固定在卡槽内部，通过卡槽与限位板20的按压配合，从而使半导体物品进行固定，提高半导体物品固定的便利性，提高半导体物品放置位置的稳定性，通过将托盘22设置在减震海绵21的内部，从而使减震海绵21对托盘22进行减震，提高托盘22对半导体物品的减震效果，通过旋转多组固定卡件18对盖板5进行固定，提高盖板5位置固定效果，提高装置的实用性。
本实用新型的微正压洁净运输箱，还包括触控屏23、颗粒物浓度传感器24、湿度传感器25、气压传感器26和氧气浓度传感器27，触控屏23安装在隔板3的顶端，颗粒物浓度传感器24、湿度传感器25、气压传感器26和氧气浓度传感器27分别固定安装在手提箱1的内侧壁上并分别与储物盒4内部连通；通过颗粒物浓度传感器24、湿度传感器25、气压传感器26和氧气浓度传感器27分别对储物盒4内的环境进行检测，从而可以实时监测密封腔体内的气体环境是否在要求范围内，检测的结果通过触控屏23进行显示，从而提高装置在对半导体物运输时的环境控制的准确性，减少半导体物的损坏。
本实用新型的微正压洁净运输箱，还包括绝缘密封圈28，绝缘密封圈28安装在盖板5底部的外沿上；通过设置绝缘密封圈28，提高盖板5对储物盒4内部的密封效果，减少室外环境对储物盒4内的环境影响，提高储物盒4对半导体的保护效果。
本实用新型的微正压洁净运输箱，还包括提手29，提手29安装在手提箱1的外侧壁上；通过设置提手29，提高装置抓取移动的便利性，提高装置的轻便效果。
本实用新型的微正压洁净运输箱，储物盒4设置为抗静电材质；通过将储物盒4设置为抗静电材质，从而防止ESD等半导体芯片损坏。
本实用新型的微正压洁净运输箱，还包括蓄电池30，蓄电池30安装在手提箱1的内侧壁上并分别对触控屏23、颗粒物浓度传感器24、湿度传感器25、气压传感器26和氧气浓度传感器27提供电力；通过设置蓄电池30，提高装置内部电器的供电便利性，提高装置移动使用的便捷性。
本实用新型的微正压洁净运输箱，其在工作时，首先将需要运输的半导体物品放置在储物盒4内部并通过固定装置进行位置固定，通过分别将氮气瓶与过滤箱10的输入端连通、真空泵与排气管6的输出端连通后，开启真空泵对储物盒4内进行抽真空，达到设定真空度后关闭第一电磁阀门7，然后打开第二电磁阀门9对储物盒4内进行充氮气，达到设定压力后关闭第二电磁阀门9，多次进行抽真空和充氮气的操作，达到干燥洁净的环境要求后，撤除真空泵和氮气瓶，即可完成微正压洁净环境的设定，将需要运输的半导体物品分别放置在托盘22顶端的多组卡槽内部，当盖板5对储物盒4的顶端开口封闭后，盖板5底端通过多组弹簧19使多组限位板20的底端分别按压在多组半导体物品的上部，从而使多组限位板20将半导体物品固定在卡槽内部，通过卡槽与限位板20的按压配合，从而使半导体物品进行固定，然后通过颗粒物浓度传感器24、湿度传感器25、气压传感器26和氧气浓度传感器27分别对储物盒4内的环境进行检测，从而可以实时监测密封腔体内的气体环境是否在要求范围内，检测的结果通过触控屏23进行显示。
本实用新型的微正压洁净运输箱，其安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，只要能够达成其有益效果的均可进行实施；本实用新型的微正压洁净运输箱的第一电磁阀门7、第二电磁阀门9、触控屏23、颗粒物浓度传感器24、湿度传感器25、气压传感器26、氧气浓度传感器27和蓄电池30为市面上采购，本行业内技术人员只需按照其附带的使用说明书进行安装和操作即可。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。
Claims (7)
1.微正压洁净运输箱，其特征在于，包括手提箱(1)、箱盖(2)、隔板(3)、储物盒(4)、固定装置、盖板(5)、排气管(6)、第一电磁阀门(7)、进气管(8)、第二电磁阀门(9)、过滤箱(10)、干燥层(11)、过滤网(12)和防护盖(13)，手提箱(1)内设置有腔室，腔室顶端设置有开口，开口与腔室内相通，箱盖(2)可旋转安装在手提箱(1)的顶端并连通设置在腔室的开口处，隔板(3)的外沿与手提箱(1)的内侧壁连接并设置在腔室内，隔板(3)上设置有通孔，储物盒(4)设置在隔板(3)的通孔内部，储物盒(4)的底端与手提箱(1)的内侧壁连接，并且储物盒(4)的顶端设置有取放口，取放口与腔室内相通，固定装置设置在储物盒(4)的内部，盖板(5)设置在储物盒(4)的顶端并对储物盒(4)的取放口进行封闭，排气管(6)安装在储物盒(4)的外侧壁上并与储物盒(4)内连通，第一电磁阀门(7)连通设置在排气管(6)上，进气管(8)安装在储物盒(4)的外侧壁上并与储物盒(4)内连通，第二电磁阀门(9)连通设置在进气管(8)上，过滤箱(10)的底端与手提箱(1)的内侧壁连接，过滤箱(10)内设置有空腔，空腔内设置有进气口与排气口，进气口与排气口均与空腔内相通，并且空腔排气口与进气管(8)连通，防护盖(13)可旋转安装在手提箱(1)的外侧壁上，防护盖(13)内设置有两组胶皮套(14)，并且两组胶皮套(14)通过防护盖(13)向下旋转后分别对排气管(6)的输出端与过滤箱(10)的输入端进行封闭。
2.如权利要求1所述的微正压洁净运输箱，其特征在于，固定装置包括多组轴座(15)、多组转轴(16)、多组固定阀门(17)、多组固定卡件(18)、多组弹簧(19)、多组限位板(20)、减震海绵(21)和托盘(22)，多组轴座(15)的底端分别与隔板(3)的顶端连接，多组转轴(16)的底端分别与多组轴座(15)的顶端可旋转连接，多组固定阀门(17)分别安装在多组轴座(15)的为侧壁上并对多组转轴(16)的旋转起固定作用，多组固定卡件(18)分别安装在多组转轴(16)的外侧壁上，多组弹簧(19)的顶端分别与盖板(5)的底端连接，多组限位板(20)的顶端分别与多组弹簧(19)的底端连接，减震海绵(21)套装在储物盒(4)的内侧壁上，托盘(22)的外沿与减震海绵(21)的内侧壁连接并设置在储物盒(4)内部，托盘(22)的顶端设置有多组卡槽，并且多组限位板(20)的位置分别与多组卡槽的位置相对应。
3.如权利要求1所述的微正压洁净运输箱，其特征在于，还包括触控屏(23)、颗粒物浓度传感器(24)、湿度传感器(25)、气压传感器(26)和氧气浓度传感器(27)，触控屏(23)安装在隔板(3)的顶端，颗粒物浓度传感器(24)、湿度传感器(25)、气压传感器(26)和氧气浓度传感器(27)分别固定安装在手提箱(1)的内侧壁上并分别与储物盒(4)内部连通。
4.如权利要求2所述的微正压洁净运输箱，其特征在于，还包括绝缘密封圈(28)，绝缘密封圈(28)安装在盖板(5)底部的外沿上。
5.如权利要求1所述的微正压洁净运输箱，其特征在于，还包括提手(29)，提手(29)安装在手提箱(1)的外侧壁上。
6.如权利要求1所述的微正压洁净运输箱，其特征在于，储物盒(4)设置为抗静电材质。
7.如权利要求1所述的微正压洁净运输箱，其特征在于，还包括蓄电池(30)，蓄电池(30)安装在手提箱(1)的内侧壁上并分别对触控屏(23)、颗粒物浓度传感器(24)、湿度传感器(25)、气压传感器(26)和氧气浓度传感器(27)提供电力。
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Applications Claiming Priority (1)
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Cited By (2)
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|---|---|---|---|---|
| CN114720803A (zh) * | 2022-04-05 | 2022-07-08 | 苏州中科科美科技有限公司 | 一种环境成形方法及试验系统 |
| CN117696566A (zh) * | 2024-02-06 | 2024-03-15 | 江苏芯梦半导体设备有限公司 | 半导体存储容器的清洁方法及清洁系统 |
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| CN114720803B (zh) * | 2022-04-05 | 2023-01-31 | 苏州中科科美科技有限公司 | 一种环境成形方法及试验系统 |
| CN117696566A (zh) * | 2024-02-06 | 2024-03-15 | 江苏芯梦半导体设备有限公司 | 半导体存储容器的清洁方法及清洁系统 |
| CN117696566B (zh) * | 2024-02-06 | 2024-05-28 | 江苏芯梦半导体设备有限公司 | 半导体存储容器的清洁方法及清洁系统 |
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