CN214736051U - 靶材供料设备与真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种靶材供料设备与真空镀膜设备，靶材供料设备中，第一密封模组用于打开或者切断第一存储模与外界的连通；第二密封模组用于于打开或者切断第一存储模组与第二存储模组的连通；第一上料模组用于在第二密封模组处于切断状态时将靶材送入第一存储模组；第二上料模组用于在第一密封模组处于切断状态，且第二密封模组处于打开状态时，将所述第一存储模组中的靶材移送至第二存储模组；第三上料模组用于将第二存储模组上的靶材移送至设定位置。本实用新型实施例的靶材供料设备可以实现对不间断供料，保证工艺的持续进行。同时，第二容器可以始终保持与外界的隔离，避免破坏反应位置的真空状态。

Description

靶材供料设备与真空镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其是涉及靶材供料设备与真空镀膜设备。

背景技术

靶材是镀膜工艺中不可或缺的的溅射源，在进行真空镀膜的过程中需要持续的添加靶材，相关技术中的供料设备难以在保证密封的条件下实现持续供料，影响生产的连续性。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出一种靶材供料设备，能够实现持续供料，保证工艺的持续进行。

本实用新型还公开了应用上述靶材供料设备的真空镀膜设备。

根据本实用新型第一实施例的靶材供料设备，包括：

第一存储模组，包括第一容器、第一转盘与第一固定装置，所述第一容器具有第一入口与第一出口，所述第一转盘位于所述第一容器内，多个第一固定装置沿所述第一转盘的周向分布；

第二存储模组，包括第二容器、第二转盘与第二固定装置，所述第二容器具有第二入口，所述第二容器与所述第一容器之间通过所述第二入口与所述第一出口连通，所述第二转盘位于所述第二容器内，多个第二固定装置沿所述第二转盘的周向分布；

第一密封模组，用于打开或者切断所述第一容器与外界的连通；

第二密封模组，用于打开或者切断所述第一容器与所述第二容器的连通；

第一上料模组，与所述第一存储模组连接，用于在所述第二密封模组处于切断状态时将靶材通过所述第一入口移送至各所述第一固定装置；

第二上料模组，与所述第一存储模组连接，用于在所述第一密封模组处于切断状态，且所述第二密封模组处于打开状态时，将所述第一固定装置上的所述靶材通过所述第一出口与所述第一入口移送至各所述第二固定装置；

第三上料模组，与所述第二存储模组连接，用于将所述第二固定装置上的所述靶材移送至设定位置。

根据本实用新型实施例的靶材供料设备，至少具有如下有益效果：

第一容器内的靶材可以持续地补入第二容器中，使得第二容器始终保持有一定数量的靶材，从而能够维持对反应位置的靶材供应，而当第一容器内的靶材消耗完毕之后，可以通过第一密封装置在第一容器与第二容器的连通，在不影响第二容器向反应位置补料的基础上对第一容器进行补料，如此，可以实现对不间断供料，保证工艺的持续进行。同时，第二容器可以始终保持与外界的隔离，避免破坏反应位置的真空状态。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一容器位于所述第二容器的下方，所述第一上料模组与所述第二上料模组位于所述第一容器的下方，所述第三上料模组位于所述第二容器的下方，所述第一上料模组、所述第二上料模组与所述第三上料模组均能够沿竖直方向移送所述靶材。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一固定装置与所述第二固定装置均包括定位套与弹片，所述弹片位于所述定位套的内腔中，能够发生向上的单向变形。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一上料模组包括基座与第一推动装置，其中，

基座具有第一腔体与第二腔体，所述第一腔体在所述基座上形成第一开口，所述第一开口与所述第一入口连通，所述第二腔体在所述基座上形成第二开口，所述第二开口用于所述靶材进入所述第二腔体；

所述第一密封模组连接于所述基座，并能够相对所述基座移动，以打开或者封闭所述第一腔体与所述第二腔体的连接处；

所述第一推动装置连接于所述基座，并能够相对所述基座移动，以在所述第一腔体与所述第二腔体的连接处处于打开状态时，推动所述第二腔体内的所述靶材进入所述第一容器。

根据本实用新型的一些实施例，所述基座包括：

第一连接件，具有所述第一腔体与所述第一开口；

第二连接件，具有所述第二腔体与所述第二开口；

其中，所述第一密封模组位于所述第一连接件与所述第二连接件之间，所述第二连接件能够相对所述第一连接件沿所述靶材的上料方向移动，且能够在移动至设定位置时将所述第一密封模组压紧在所述第一连接件上。

根据本实用新型的一些实施例，还包括锁止装置，所述锁止装置包括：

导向件，与所述第一连接件连接，所述第二连接件具有导向孔，所述导向件插接在所述导向孔内，且从所述第二连接件上远离所述第一连接件的端部伸出；

锁止件，可分离地连接于所述导向件的伸出部分，以将所述第二连接件保持在所述设定位置。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二腔体在所述基座上形成第三开口，沿所述靶材的进样方向，所述第二开口、所述第三开口与所述第一开口依次设置，所述第一密封模组能够通过所述第三开口脱离所述基座，所述第三开口与所述第二开口连通。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二上料模组包括第二推动装置与第三动力装置，所述第二推动装置能够由所述第三动力装置驱动，以推动所述第一固定装置上的所述靶材移动至所述第二固定装置。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二密封模组放置于所述第一转盘，能够被所述第二推动装置推动而与所述第一转盘分离，并与所述第二容器接触以封闭所述第二入口。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二推动装置的端部具有用于吸附所述第二密封模组的电磁铁。

根据本实用新型的一些实施例，所述第二上料模组还包括柔性密封套，所述第二推动装置位于所述柔性密封套内，所述柔性密封套的一端与第一容器密封连接，另一端与所述第三动力装置的输出端固定连接，所述柔性密封套能够随所述输出端的移动而压缩或者伸展。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一存储模组还包括第一清扫装置与第一收集装置，所述第一清扫装置与所述第一转盘连接，且位于所述第一转盘与所述第一容器的第一底壁之间，所述第一收集装置与所述第一底壁连接，用于收集由所述第一清扫装置驱动的杂物；

和/或，所述第二存储模组还包括第二清扫装置与第二收集装置，所述第二清扫装置与所述第二转盘连接，且位于所述第二转盘与所述第二容器的第二底壁之间，所述第二收集装置与所述第二底壁连接，用于收集由所述第二清扫装置驱动的杂物。

根据本实用新型的一些实施例，所述第一转盘具有多个减轻孔，多个减轻孔沿所述第一转盘的周向均匀分布。

真空镀膜设备，其特征在于，包括所述的靶材供料设备。

本实用新型的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本实用新型的实践了解到。

附图说明

下面结合附图和实施例对本实用新型做进一步的说明，其中：

图1为本实用新型实施例的靶材供料设备一个方向上的立体示意图；

图2为图1中靶材供料设备另一个方向上的立体示意图；

图3为图1中第一存储模组的剖视图；

图4为图1中第二存储模组的剖视图；

图5为图1中第一上料模组处于密封状态的立体示意图；

图6为图1中第一上料模组的剖视图；

图7为图1中第一上料模组的第一连接件与第二连接件处于分离状态的立体示意图；

图8为图7中第一上料模组的正视图；

图9为图1中第一上料模组的锁止装置处于锁止状态的立体示意图；

图10为图1中第一上料模组的锁止装置处于解锁状态的立体示意图；

图11为图1中第二上料模组的剖视图；

图12为图1中第一清扫装置与第一安装座连接的立体示意图；

图13为图1中第二清扫装置与第二安装座连接的立体示意图。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，涉及到方位描述，例如上、下、前、后、左、右等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，若干的含义是一个以上，多个的含义是两个以上，大于、小于、超过等理解为不包括本数，以上、以下、以内等理解为包括本数。如果有描述到第一、第二只是用于区分技术特征为目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量或者隐含指明所指示的技术特征的先后关系。

本实用新型的描述中，除非另有明确的限定，设置、安装、连接等词语应做广义理解，所属技术领域技术人员可以结合技术方案的具体内容合理确定上述词语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示意性实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。

参照图1、图2，本实用新型实施例公开了一种靶材供料设备，用于将外部的靶材补入真空镀膜设备的设定位置(例如反应位置)，包括第一上料模组100、第二上料模组200、第三上料模组300、第一存储模组400、第二存储模组500、第一密封模组与第二密封模组，其中，第一存储模组400具有存放靶材的第一容器410，第二存储模组500具有存放靶材的第二容器(未示出)，且第一存储模组400配合第一密封模组或者第二密封模组能够实现第二存储模组500与外界的隔离。第二容器可以作为发生反应的反应腔室，或者与发生反应的反应腔室连通，以便将靶材直接送入反应位置，由于真空镀膜工艺需要在真空环境下进行，因此第二容器也需要维持在真空状态。

第一上料模组100与第二上料模组200均与第一存储模组400连接，第一上料模组100 用于将外部的靶材送入第一存储模组400，第二上料模组200用于将第一存储模组400内的靶材移送至第二存储模组500。第三上料模组300与第二存储模组500连接，用于将第二存储模组500内的靶材移送至设定位置。

第一密封模组用于打开或者切断第一容器410与外界的连通，第二密封模组用于打开或者切断第一容器410与第二容器之间的连通，且二者配合可以使得第二容器始终与外界隔绝。

参照图3，第一存储模组400包括第一容器410、第一转盘420、第一动力装置430与第一固定装置440，为便于理解，第一容器410仅示出了下部分壳体，上部分壳体隐藏。第一容器410具有第一入口411、第一出口(位于未示出的上部分壳体上)与第一通孔412，第一上料模组100连接于第一入口411处，第二上料模组200连接于第一通孔412处。具体的，第一入口411与第一通孔412位于第一容器410的第一底壁413上，便于第一上料模组100 与第二上料模组200从下至上进入第一容器410。第一转盘420位于第一容器410内，具有多个沿周向分布的第一安装孔414，第一安装孔414沿上下方向贯通第一转盘420。第一固定装置440安装在对应的第一安装孔414内，当第一转盘420转动时，各第一固定装置440 能够依次经过第一入口411与第一出口。

第一动力装置430包括公知的动力件(例如旋转电机431)以及公知的传动件(例如联轴器等)，以图中所示为例，旋转电机的驱动轴通过联轴器连接有磁流体432，磁流体432通过连接件(例如连接法兰433)与第一转盘420连接，随着旋转电机431的驱动，第一转盘420可以发生转动。

需要说明的是，第一转盘420上可以设置多个减轻孔421，多个减轻孔421沿第一转盘 420的周向均匀分布，从而能够减轻第一转盘420的转动惯量，以确保转盘运动的平稳性。此外，磁流体432与连接法兰433之间通过多个螺纹紧固件连接，具体包括，一个螺纹紧固件沿磁流体432的轴向固定磁流体432与与连接法兰433，多个螺纹紧固件沿径向固定磁流体432与与连接法兰433，如此，可以从多个位置同时对磁流体432与连接法兰433进行连接，确保第一转盘420在回转过程中不会与磁流体432的轴发生相对转动，实现准确定位。

参照图4，第二存储模组500包括第二容器(未示出)、第二转盘510、第二动力装置520与第二固定装置530，第二容器具有第二入口与第二通孔，第三上料模组300连接于第二通孔处。具体的，第二入口、第一出口与第一通孔412保持同轴，便于第二上料模组200 将第一容器410中的靶材通过第一出口与第二入口进入第二容器。第二转盘510位于第二容器内，具有多个沿周向分布的第二安装孔511，第二安装孔511沿上下方向贯通第二转盘510。第二固定装置530安装在对应的第二安装孔511内，当第二转盘510转动时，各第二固定装置530能够依次经过第二入口与第二出口。

第二动力装置520的构成，以及第二动力装置520与第二转盘510的连接关系与第一动力装置430类似，在此不做详述。

需要说明的是，由于第二转盘510靠近反应位置，因此可以由陶瓷等耐高温的材料制成。

当需要将外部的靶材补入第一存储模组400中时，第二密封模组切断第一容器410与第二容器的连通，然后转动第一转盘420，使某个空置的第一固定装置440对准第一入口，第一上料模组100动作即可将外部的靶材送入该第一固定装置440中，随着第一转盘420的逐步转动，可以将靶材依次送入各第一固定装置440中。

当需要将第一存储模组400中的靶材补入第二存储模组500时，第一密封模组切断第一容器410与外界的连通，第二密封模组打开第一容器410与第二容器的连通，然后分别转动第一转盘420与第二转盘510，使得某个放置有靶材的第一固定装置440对准第一出口，且某个空置的第二固定装置530对准第二入口，第二上料模组200动作即可将该第一固定装置 440上的靶材送入该第二固定装置530中，逐步转动第一转盘420与第二转盘510。

当需要将第二存储模组500中的靶材移送至设定位置时，保持第一密封模组与第二密封模组中的至少一个处于切断状态，然后转动第二转盘510，使某个放置有靶材的第二固定装置530对准第二通孔，第三上料模组300动作即可将该第二固定装置530上的靶材送入反应腔室。

基于上述，第一容器内的靶材可以持续地补入第二容器中，使得第二容器始终保持有一定数量的靶材，从而能够维持对反应位置的靶材供应，而当第一容器内的靶材消耗完毕之后，可以通过第一密封装置在第一容器与第二容器的连通，在不影响第二容器向反应位置补料的基础上对第一容器进行补料，如此，可以实现对不间断供料，保证工艺的持续进行。同时，第二容器可以始终保持与外界的隔离，避免破坏反应位置的真空状态。

如图所示，第一转盘420的直径大于第二转盘510的直径，因此第一存储模组400的存储量大于第二存储模组500的存储量，便于第一存储模组400持续地向第二存储模组500补料。

需要说明的是，靶材供料设备还可以包括未示出的检测装置，当检测装置识别到第一入口上方的第一固定装置440已经放置有靶材，且第一上料模组100退出第一容器410时，第一转盘420发生转动以避免干涉。

需要说明的是，本申请所称的“模组”，可以包含两个以上的零件。

参照图1、图2，第一容器410位于第二容器的下方，第一上料模组100与第二上料模组200位于第一容器410的下方，第三上料模组300位于第二容器的下方，如此，第一上料模组100、第二上料模组200与第三上料模组300可以沿竖直方向移送靶材，该布局方式能够充分利用竖直方向的空间，结构紧凑，且能够适应于转盘的上料。

参照图1、图2，第一固定装置440包括定位套441与弹片(未示出)，弹片位于定位套441的内腔中，能够发生向上的单向变形，如此，靶材能够在第一上料模组100的驱动下迫使弹片发生变形，从而越过弹片。当靶材越过弹片，且第一上料模组100脱离第一固定装置440后，弹片复位，靶材能够被弹片支撑，从而保持在定位套441中。第二固定装置530 的结构与第一固定装置440相同，在此不做详述。

参照图5、图6，在上述的靶材供料设备中，第一供料模组包括基座110与第一推动装置130。基座110作为承载结构，用于安装上述的第一密封模组120与第一推动装置130，且基座110上开设有第一开口113与第二开口114，靶材可以通过第二开口114进入基座110 内部，并可以通过第一开口113进入第一容器410的内腔。第一密封模组120用于在上料完成后封闭基座110内与第一开口113连通的腔体，避免破坏加工过程中的真空环境。第一推动装置130用于将推动基座110内的靶材运动，从而将靶材送入第一容器中。

以图中所示为例，基座110整体为中空的圆柱体，内腔分为第一腔体111与第二腔体112，第二腔体112与第一腔体111沿靶材上料的方向(例如图中从下往上的方向)设置，且二者连通。由于靶材通常为圆柱体，因此第二腔体112的主体部分与第一腔体111的横截面均可以是圆形。

第一腔体111在基座110上形成有第一开口113，第一开口113位于基座110与第一容器进行密封连接的部分，例如图中的上端面。需要说明的是，为了实现基座110与第一容器的密封连接，基座110的上端面具有环绕第一开口113设置的第一密封槽118，第一密封槽118内设置有环形的第一密封圈119，当基座110与第一容器连接时，第一密封圈119与第一容器的外侧壁抵持以实现密封。

第二腔体112在基座110上形成有第二开口114，第二开口114用于供外部的靶材进入第二腔体112。第二开口114可以开设于基座110的侧壁，如此，当基座110竖直固定于第一容器之上时，可以方便地从侧向将靶材送入基座110。

此外，第二腔体112在基座110上还形成有第四开口1110，第四开口1110位于基座110 的下端面，第一推动装置130的下端可以从第四开口1110伸出，便于操作者操作第一推动装置130。

第一密封模组120可以是密封法兰，其朝向第一开口113的一侧端面(例如图示的上端面)具有第二密封槽121，第二密封槽121环绕第一腔体111下端的第五开口1111设置，第二密封槽121内设置有环形的第二密封圈122。第一密封模组120连接于第一腔体111与第二腔体112的连接处，当第二密封圈122与第五开口1111的边缘抵持时，即可实现第一密封模组120对第五开口的密封，由于第一腔体111的另一端开口(第一开口113)与第一容器410密封连接，因此可以切断第一容器410与外界的连通。

第一密封模组120能够相对基座110移动，以打开或者封闭第一腔体111与第二腔体112 的连接处，具体的，当第一密封模组120处于图示的位置时，二者的连接处处于封闭状态，第五开口1111被第一密封模组120密封；当第一密封模组120从图示位置移动，从而打开二者的连接处时，第二腔体112中的靶材可以进入第一腔体111，并通过第一开口113进入第一容器410。需要说明的是，第一密封模组120可以是通过平移、转动等方式相对基座110移动，此外，第一密封模组120可以完全与基座110脱离，也可以在与基座110保持连接的基础上打开第一腔体111与第二腔体112的连接处。

第一推动装置130可以是推动杆，其在初始状态时位于第二腔体112中，当靶材进入第二腔体112后，第一推动装置130可以推动靶材沿上料方向运动。第一推动装置130可以由人工驱动，也可以通过气缸等机械动力装置驱动。

在上述的靶材供料设备中，基座110开设有第一开口113与第二开口114，第一开口113 用于与第一容器410的内腔连通，第二开口114用于靶材进入基座110的内部，第一密封模组120可以相对基座110移动，从而打开或者封闭第一腔体111与第二腔体112的连接处，如此，当二者的连接处处于打开状态时，第一推动装置130可以推动靶材进入与靶材供料设备连接的第一容器410，当二者的连接处处于封闭状态时，第一容器410上与靶材供料设备相连接的部位处于密封状态，且靶材供料设备的结构简单，操作便捷，有助于提升效率，降低成本。

参照图7至图10，作为上述靶材供料设备的改进，基座110包括第一连接件115与第二连接件116，第一连接件115用于与第一容器410连接，具有上述的第一腔体111、第一开口113与第五开口1111。第二连接件116与第一连接件115连接，具有上述的第二腔体112、第二开口114与第四开口1110。第一连接件115与第二连接件116均可以是图示的圆柱体，第一腔体111与第二腔体112分别位于第一连接件115与第二连接件116的中心，当第一连接件115与第二连接件116连接时，第二腔体112的主体部分与第一腔体111保持同轴。

第一密封模组120位于第一连接件115与第二连接件116之间，具体的，是连接于第二连接件116的上端。第二连接件116能够相对第一连接件115移动，当第二连接件116与第一连接件115位于图7至图10所示的状态时，第二连接件116与第一连接件115之间间隔设定距离，使得第一密封模组120同样与第一连接件115分离，此时第一密封模组120可以自由地相对第二连接件116移动，此外，第二连接件116与第一连接件115之间的间隙可以供操作者的手指或者外部的驱动机构伸入，从而驱动第一密封模组120相对第二连接件116 移动。需要说明的是，图示的第一密封模组120可以完全收纳在基座110中，从而避免在基座110的外部形成突出结构。能够理解的是，第一密封模组120也可以是部分位于基座110 内，部分位于基座110之外以作为施力的把手。

当第二连接件116能够相对第一连接件115沿上述的靶材上料方向移动，使得第二连接件116与第一连接件115处于图5与图6所示的状态时，第二连接件116能够将第一密封模组120压紧在第一连接件115的下端面上，保证第一密封模组120的密封效果。

基于上述，本实施例的靶材供料设备能够通过第二连接件116相对第一连接件115的运动实现对第一密封模组120的压紧与释放，既能够实现良好密封，又能够便于第一密封模组 120的移动。

参照图6，在上述的靶材供料设备中，还包括锁止装置140，锁止装置140用于将第二连接件116保持在设定位置，从而使得第一密封模组120与第一连接件115之间保持良好的密封。

以图中所示为例，参照图5至图10，锁止装置140包括导向件141，导向件141可以是导向杆，与第一连接件115固定连接，且沿第一连接件115向第二连接件116的方向(例如图示从上至下的方向)延伸。第二连接件116具有导向孔1161，导向件141插接在导向孔 1161，且从第二连接件116上远离第一连接件115的端部(例如图示的下端)伸出，随着第二连接件116沿导向件141的移动，导向件141的伸出部分1411的长度将发生变化。

锁止装置140还包括锁止件142，当锁止件142连接于导向件141的伸出部分1411时，可以将第二连接件116保持在上述的设定位置；当锁止件142相对导向件141分离时，第二连接件116可以相对第一连接件115移动而与第一连接件115分离。具体的，参照图6，导向件141的伸出部分1411具有支撑部1412，支撑部1412为设于导向件141下端的膨大部分，支撑部1412与第二连接件116之间具有间隙。参照图10，锁止件142包括连接部1422与锁止部1423，连接部1422与第二连接件116转动连接，使得锁止件142整体能够相第二连接件116转动。随着锁止件142的转动，锁止部1423能够转动至上述间隙内，并由支撑部1412 进行支撑(如图6、图9所示)，如此，当靶材供料设备竖直安装时，第二连接件116不会在重力的作用下下落，能够保持在上述的设定位置。当锁止部1423位于间隙之外时，锁止部1423与支撑部1412分离，第二连接件116可以相对第一连接件115移动，特别地，当靶材供料设备竖直安装时，第二连接件116可以在重力地作用下自动下落，无需外部驱动。

参照图10，作为上述靶材供料设备的改进，锁止部1423具有凹槽1421，当锁止件142 转动至间隙内时，导向件141容纳于凹槽1421内，实现锁止件142与导向件141的连接，避免锁止件142与导向件141之间因震动等因素而分离。

参照图5、图7与图8，上述的靶材供料设备中，第二腔体112还在基座110(具体是第二连接件116)上形成有第三开口117，沿上述的靶材进样方向，第二开口114、第三开口 117与第一开口113依次设置，第一密封模组120能够通过第三开口117脱离基座110。具体的，参照图6，第二腔体112包括沿上述靶材进样方向依次设置的第一子腔体1121、第二子腔体1122与第三子腔体1123，第一子腔体1121的横截面为圆形，且沿第二连接件116的轴向延伸，第二子腔体1122与第三子腔体1123均沿第二连接件116的径向延伸，且第二子腔体1122与第二开口114连通，第三子腔体1123与第三开口117连通，也即，第一密封模组120安装在第三子腔体1123中，靶材通过第二子腔体1122进入基座110的内部。需要说明的是，第三子腔体1123的宽度宽于第二子腔体1122的宽度，使得第一密封模组120能够放置在第三子腔体1123内。

参照图5、图7与图8，作为上述靶材供料设备的改进，沿上述的进样方向，第三开口117与第二开口114连通，如此，第二开口114可以作为操作者的手指或者外部驱动机构伸入的避让槽，便于驱动第一密封模组120相对基座110移动。当第二连接件116与第一连接件115分离时，第一密封模组120的上下两侧均具有避让位，便于操作者拿取第一密封模组120。

参照图6，作为上述靶材供料设备的改进，第一推动装置130的外周面具有第一台阶面 131，第二腔体112的腔壁具有第二台阶面1124，第一台阶面131与第二台阶面1124能够相互接触以将第一推动装置130限制在图6所示的位置，且第一推动装置130的上端面等于或者略低于第三子腔体1123的下侧腔壁，使得由第二开口114进入第二腔体112的靶材能够移动至第一推动装置130上。需要说明的是，第一推动装置130的上端面具有容纳槽132，容纳槽132的形状与靶材的形状相适应，从而能够对靶材进行定位。

参照图11，在上述的靶材供料设备中，第二上料模组200包括第二推动装置210与第三动力装置220，第二推动装置210能够由第三动力装置220驱动，以推动第一固定装置440 上的靶材移动至第二固定装置530，具体的，第三动力装置220可以包括公知的动力件(例如气缸221)以及公知的传动件(例如连接在滑轨上的滑块222等)，以图中所示为例，气缸221的驱动轴多个连接件连接有滑块222，滑块222与第二推动装置210的一端(例如图示的下端)连接，从而能够驱动第二推动装置210沿竖直方向运动。第二推动装置210可以是推动杆。

参照图11，在上述的靶材供料设备中，第二上料模组200还包括柔性密封套230，第二推动装置210位于柔性密封套230内，柔性密封套230的一端(例如图示的上端)与第一容器 410的第一底壁413密封连接，另一端(例如图示的下端)与第三动力装置220的输出端(例如图示的滑块222)固定连接。柔性密封套230能够随输出端的移动而压缩或者伸展，如此，在不阻碍第二推动装置210运动的基础上，可以实现第二上料模组200与第一容器410连接处的密封。柔性密封套230可以是波纹管。

参照图3、图11，在上述的靶材供料设备中，第二密封模组450位于第一容器410中，且放置于第一转盘420，具体是放置在第一固定装置440中，且第二密封模组450可以沿靶材的进料方向(例如图示向上的方向)自由脱离第一固定装置440。当需要第二密封模组450切断第一容器410与第二容器之间的连通时，第二密封模组450转动至第一出口的正下方，第二推动装置210通过第一通孔412进入第一容器410，顶升第二密封模组450使其与第一固定装置440脱离，并与第二容器接触以封闭第二入口，当对第二容器抽真空时，第二密封模组450将吸附在第二容器之上，第二推动装置210可以复位以避免阻碍第一转盘420的转动。

参照图11，在上述的靶材供料设备中，第二推动装置210的端部(例如上端)具有电磁铁240，当需要使第二密封模组450与第二容器分离时，可以使得电磁铁240通电后靠近或者接触第二密封模组450，然后驱动第二推动装置210向下运动即可。

在上述的靶材供料设备中，第三上料模组300包括第三推动装置与第四动力装置，第三推动装置与第四动力装置的输出端的连接方式与第二推动装置210相似，在此不做详述。第三上料模组300与第二上料模组200的区别包括：第四动力装置可以包括电机与电缸，从而精确控制第三推动装置的移动距离，使得靶材能够精确的到达反应位置。

参照图3、图12，第一存储模组400还包括第一清扫装置460与第一收集装置(未示出)，第一清扫装置460通过第一连接座470与第一转盘420连接，且位于第一转盘420与第一容器410的第一底壁413之间。第一底壁413上设有未示出的收集孔，第一收集装置与第一底壁413连接，并通过收集孔与第一容器的内腔连通，第一清扫装置460可以随着第一转盘420的转动带动第一底壁413上的杂物运动，从而最终落入第一收集装置内。

类似的，参照图4、图13，第二存储模组500还包括第二清扫装置540与第二收集装置 (未示出)，第二清扫装置540通过第二连接座550与第二容器连接，且位于第二转盘510与第二容器的第二底壁之间。第二底壁上设有未示出的收集孔，第二收集装置与第二底壁连接，并通过收集孔与第二容器的内腔连通，第二清扫装置540可以随着第二转盘510的转动带动第二底壁上的杂物运动，从而最终落入第二收集装置内。

需要说明的是，第一清扫装置460与第二清扫装置540均可以是弹性片，其下端与相应的底壁接触，可以保证清扫效果。

本实用新型还公开了一种真空镀膜设备，包括上述的靶材供料设备。

上面结合附图对本实用新型实施例作了详细说明，但是本实用新型不限于上述实施例，在所属技术领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。此外，在不冲突的情况下，本实用新型的实施例及实施例中的特征可以相互组合。

Claims (14)

1.靶材供料设备，其特征在于，包括：

第一存储模组，包括第一容器、第一转盘与第一固定装置，所述第一容器具有第一入口与第一出口，所述第一转盘位于所述第一容器内，多个第一固定装置沿所述第一转盘的周向分布；

第二存储模组，包括第二容器、第二转盘与第二固定装置，所述第二容器具有第二入口，所述第二容器与所述第一容器之间通过所述第二入口与所述第一出口连通，所述第二转盘位于所述第二容器内，多个第二固定装置沿所述第二转盘的周向分布；

第一密封模组，用于打开或者切断所述第一容器与外界的连通；

第二密封模组，用于打开或者切断所述第一容器与所述第二容器的连通；

第一上料模组，与所述第一存储模组连接，用于在所述第二密封模组处于切断状态时将靶材通过所述第一入口移送至各所述第一固定装置；

第二上料模组，与所述第一存储模组连接，用于在所述第一密封模组处于切断状态，且所述第二密封模组处于打开状态时，将所述第一固定装置上的所述靶材通过所述第一出口与所述第一入口移送至各所述第二固定装置；

第三上料模组，与所述第二存储模组连接，用于将所述第二固定装置上的所述靶材移送至设定位置。

2.根据权利要求1所述的靶材供料设备，其特征在于，所述第一容器位于所述第二容器的下方，所述第一上料模组与所述第二上料模组位于所述第一容器的下方，所述第三上料模组位于所述第二容器的下方，所述第一上料模组、所述第二上料模组与所述第三上料模组均能够沿竖直方向移送所述靶材。

3.根据权利要求2所述的靶材供料设备，其特征在于，所述第一固定装置与所述第二固定装置均包括定位套与弹片，所述弹片位于所述定位套的内腔中，能够发生向上的单向变形。

4.根据权利要求1所述的靶材供料设备，其特征在于，所述第一上料模组包括基座与第一推动装置，其中，

基座具有第一腔体与第二腔体，所述第一腔体在所述基座上形成第一开口，所述第一开口与所述第一入口连通，所述第二腔体在所述基座上形成第二开口，所述第二开口用于所述靶材进入所述第二腔体；

所述第一密封模组连接于所述基座，并能够相对所述基座移动，以打开或者封闭所述第一腔体与所述第二腔体的连接处；

所述第一推动装置连接于所述基座，并能够相对所述基座移动，以在所述第一腔体与所述第二腔体的连接处处于打开状态时，推动所述第二腔体内的所述靶材进入所述第一容器。

5.根据权利要求4所述的靶材供料设备，其特征在于，所述基座包括：

第一连接件，具有所述第一腔体与所述第一开口；

第二连接件，具有所述第二腔体与所述第二开口；

其中，所述第一密封模组位于所述第一连接件与所述第二连接件之间，所述第二连接件能够相对所述第一连接件沿所述靶材的上料方向移动，且能够在移动至设定位置时将所述第一密封模组压紧在所述第一连接件上。

6.根据权利要求5所述的靶材供料设备，其特征在于，还包括锁止装置，所述锁止装置包括：

导向件，与所述第一连接件连接，所述第二连接件具有导向孔，所述导向件插接在所述导向孔内，且从所述第二连接件上远离所述第一连接件的端部伸出；

锁止件，可分离地连接于所述导向件的伸出部分，以将所述第二连接件保持在所述设定位置。

7.根据权利要求4所述的靶材供料设备，其特征在于，所述第二腔体在所述基座上形成第三开口，沿所述靶材的进样方向，所述第二开口、所述第三开口与所述第一开口依次设置，所述第一密封模组能够通过所述第三开口脱离所述基座，所述第三开口与所述第二开口连通。

8.根据权利要求1所述的靶材供料设备，其特征在于，所述第二上料模组包括第二推动装置与第三动力装置，所述第二推动装置能够由所述第三动力装置驱动，以推动所述第一固定装置上的所述靶材移动至所述第二固定装置。

9.根据权利要求8所述的靶材供料设备，其特征在于，所述第二密封模组放置于所述第一转盘，能够被所述第二推动装置推动而与所述第一转盘分离，并与所述第二容器接触以封闭所述第二入口。

10.根据权利要求8所述的靶材供料设备，其特征在于，所述第二推动装置的端部具有用于吸附所述第二密封模组的电磁铁。

11.根据权利要求9所述的靶材供料设备，其特征在于，所述第二上料模组还包括柔性密封套，所述第二推动装置位于所述柔性密封套内，所述柔性密封套的一端与第一容器密封连接，另一端与所述第三动力装置的输出端固定连接，所述柔性密封套能够随所述输出端的移动而压缩或者伸展。

12.根据权利要求1所述的靶材供料设备，其特征在于，所述第一存储模组还包括第一清扫装置与第一收集装置，所述第一清扫装置与所述第一转盘连接，且位于所述第一转盘与所述第一容器的第一底壁之间，所述第一收集装置与所述第一底壁连接，用于收集由所述第一清扫装置驱动的杂物；

和/或，所述第二存储模组还包括第二清扫装置与第二收集装置，所述第二清扫装置与所述第二转盘连接，且位于所述第二转盘与所述第二容器的第二底壁之间，所述第二收集装置与所述第二底壁连接，用于收集由所述第二清扫装置驱动的杂物。

13.根据权利要求1所述的靶材供料设备，其特征在于，所述第一转盘具有多个减轻孔，多个减轻孔沿所述第一转盘的周向均匀分布。

14.真空镀膜设备，其特征在于，包括权利要求1至13中任一项所述的靶材供料设备。

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