CN214703704U - 一种半导体设备加工专用测试装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体设备加工专用测试装置，包括底座，所述底座的侧面设置有顶盖，所述顶盖与底座的连接处设置有转轴，所述底座的内侧固定有固定板，所述固定板的一侧与底座之间设置有操作面板，所述固定板的另一侧对应于底座的内部设置有连接线，所述连接线的表面设置有防护板，所述底座的一侧内部与固定板的另一侧均对称开设有放置卡槽，所述防护板的一端与其中一个放置卡槽之间贯穿有横杆；通过设计的防护板、活动块、活动槽、固定槽，改善连接线本身存在易翘起的现象，导致顶盖与底座在闭合过程中，对连接线造成挤压的现象，通过该结构，对收纳于底座内侧连接线的活动范围进行限位，从而对连接线起到一定的保护作用。

Description

一种半导体设备加工专用测试装置

技术领域

本实用新型属于测试装置技术领域，具体涉及一种半导体设备加工专用测试装置。

背景技术

半导体设备在生产加工过程中，通过专用的测试装置，对其进行电路测试，从而保证半导体设备质量。

现有的半导体设备加工专用测试装置在使用时，根据需求将连接线放置于底座的内侧进行收纳，由于连接线收纳时需要将其进行缠绕整理，再将其放置于底座的内侧，由于连接线本身存在易翘起的现象，导致顶盖与底座在闭合过程中，对连接线造成挤压，导致对连接线造成损坏的问题，为此本实用新型提出一种半导体设备加工专用测试装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体设备加工专用测试装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体设备加工专用测试装置，包括底座，所述底座的侧面设置有顶盖，所述顶盖与底座的连接处设置有转轴，所述底座的内侧固定有固定板，所述固定板的一侧与底座之间设置有操作面板，所述固定板的另一侧对应于底座的内部设置有连接线，所述连接线的表面设置有防护板，所述底座的一侧内部与固定板的另一侧均对称开设有放置卡槽，所述防护板的一端与其中一个放置卡槽之间贯穿有横杆，所述防护板的另一端与另一个放置卡槽之间呈贴合状态，所述防护板的另一端内部开设有活动槽，且活动槽的内侧设置有活动块，所述活动块由两个连接块组成，组成所述活动块的两个连接块之间贯穿有活动杆，所述活动杆的表面套接有扭簧，所述活动块的底端与另一个放置卡槽之间为固定状态，所述活动块的顶端固定有凸块，另一个所述放置卡槽的内侧对应于固定板的内部开设有固定槽。

优选的，所述操作面板的底端两侧对应于底座的内侧对称开设有限位槽，且限位槽的内部设置有限位块，所述限位块的顶端与操作面板的底端为固定状态，所述操作面板与底座之间贯穿有多个螺栓。

优选的，所述限位块的表面与限位槽的内壁呈贴合状态，所述限位块的横截面呈长方形结构。

优选的，所述活动块的横截面呈L型结构，所述活动块的表面与活动槽的内壁呈贴合状态。

优选的，所述操作面板的表面设置有操作区，所述操作区的一侧对应于操作面板的表面设置有插座。

优选的，所述操作面板的内部设置有开关，所述底座的表面设置有提手。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

（1）通过设计的防护板、活动块、活动槽、固定槽，改善连接线本身存在易翘起的现象，导致顶盖与底座在闭合过程中，对连接线造成挤压的现象，通过该结构，对收纳于底座内侧连接线的活动范围进行限位，从而对连接线起到一定的保护作用。

（2）通过设计的限位槽、限位块，使操作面板与底座之间的连接在原来的基础上，增加限位结构，从而使连接更加稳固。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型图1中的A部区域放大示意图；

图3为本实用新型的防护板与固定板连接处剖视示意图；

图4为本实用新型的操作面板与底座局部连接处剖视示意图；

图中：1、顶盖；2、底座；3、防护板；4、固定板；5、操作面板；6、操作区；7、活动槽；8、活动块；9、凸块；10、固定槽；11、放置卡槽；12、限位槽；13、限位块。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1至图4，本实用新型提供一种技术方案：一种半导体设备加工专用测试装置，包括底座2，底座2的侧面设置有顶盖1，顶盖1与底座2的连接处设置有转轴，底座2的内侧固定有固定板4，固定板4的一侧与底座2之间设置有操作面板5，固定板4的另一侧对应于底座2的内部设置有连接线，连接线的表面设置有防护板3，底座2的一侧内部与固定板4的另一侧均对称开设有放置卡槽11，防护板3的一端与其中一个放置卡槽11之间贯穿有横杆，防护板3的另一端与另一个放置卡槽11之间呈贴合状态，防护板3的另一端内部开设有活动槽7，且活动槽7的内侧设置有活动块8，活动块8由两个连接块组成，组成活动块8的两个连接块之间贯穿有活动杆，活动杆的表面套接有扭簧，活动块8的底端与另一个放置卡槽11之间为固定状态，活动块8的顶端固定有凸块9，另一个放置卡槽11的内侧对应于固定板4的内部开设有固定槽10，通过设计的防护板3、活动块8、活动槽7、固定槽10，改善连接线本身存在易翘起的现象，导致顶盖1与底座2在闭合过程中，对连接线造成挤压的现象，通过该结构，对收纳于底座2内侧连接线的活动范围进行限位，从而对连接线起到一定的保护作用，活动块8的横截面呈L型结构，活动块8的表面与活动槽7的内壁呈贴合状态，操作面板5的表面设置有操作区6，操作区6的一侧对应于操作面板5的表面设置有插座，操作面板5的内部设置有开关，底座2的表面设置有提手。

本实施例中，优选的，操作面板5的底端两侧对应于底座2的内侧对称开设有限位槽12，且限位槽12的内部设置有限位块13，限位块13的顶端与操作面板5的底端为固定状态，操作面板5与底座2之间贯穿有多个螺栓，限位块13的表面与限位槽12的内壁呈贴合状态，限位块13的横截面呈长方形结构，通过设计的限位槽12、限位块13，使操作面板5与底座2之间的连接在原来的基础上，增加限位结构，从而使连接更加稳固。

本实用新型的工作原理及使用流程：在半导体设备加工过程中，通过该专用测试装置对其进行电路测试，在测试过程中，通过将连接线展开，再将连接线的两端分别与测试装置与设备之间进行连接，再通过对测试装置进行操作，对设备进行检测；当测试装置不使用的情况下，通过将连接线整理完毕后放置于底座2的内侧，再将防护板3闭合，在对防护板3闭合过程中，通过对活动块8的其中一个连接块进行弯折，使组成活动块8的两个连接块呈同一水平面，再将防护板3的端部嵌入放置卡槽11的内侧，且使活动块8的端部贯穿活动槽7，再将活动块8松开，使活动块8在扭簧的作用下回弹，完成对防护板3的闭合操作，从而完成对连接线的收纳；当需要将操作面板5进行安装时，通过将操作面板5嵌入底座2的内侧，且同步使限位块13卡入限位槽12的内侧，再将多个螺栓依次贯穿，完成对操作面板5的安装操作。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种半导体设备加工专用测试装置，包括底座（2），所述底座（2）的侧面设置有顶盖（1），所述顶盖（1）与底座（2）的连接处设置有转轴，其特征在于：所述底座（2）的内侧固定有固定板（4），所述固定板（4）的一侧与底座（2）之间设置有操作面板（5），所述固定板（4）的另一侧对应于底座（2）的内部设置有连接线，所述连接线的表面设置有防护板（3），所述底座（2）的一侧内部与固定板（4）的另一侧均对称开设有放置卡槽（11），所述防护板（3）的一端与其中一个放置卡槽（11）之间贯穿有横杆，所述防护板（3）的另一端与另一个放置卡槽（11）之间呈贴合状态，所述防护板（3）的另一端内部开设有活动槽（7），且活动槽（7）的内侧设置有活动块（8），所述活动块（8）由两个连接块组成，组成所述活动块（8）的两个连接块之间贯穿有活动杆，所述活动杆的表面套接有扭簧，所述活动块（8）的底端与另一个放置卡槽（11）之间为固定状态，所述活动块（8）的顶端固定有凸块（9），另一个所述放置卡槽（11）的内侧对应于固定板（4）的内部开设有固定槽（10）。

2.根据权利要求1所述的一种半导体设备加工专用测试装置，其特征在于：所述操作面板（5）的底端两侧对应于底座（2）的内侧对称开设有限位槽（12），且限位槽（12）的内部设置有限位块（13），所述限位块（13）的顶端与操作面板（5）的底端为固定状态，所述操作面板（5）与底座（2）之间贯穿有多个螺栓。

3.根据权利要求2所述的一种半导体设备加工专用测试装置，其特征在于：所述限位块（13）的表面与限位槽（12）的内壁呈贴合状态，所述限位块（13）的横截面呈长方形结构。

4.根据权利要求1所述的一种半导体设备加工专用测试装置，其特征在于：所述活动块（8）的横截面呈L型结构，所述活动块（8）的表面与活动槽（7）的内壁呈贴合状态。

5.根据权利要求1所述的一种半导体设备加工专用测试装置，其特征在于：所述操作面板（5）的表面设置有操作区（6），所述操作区（6）的一侧对应于操作面板（5）的表面设置有插座。

6.根据权利要求1所述的一种半导体设备加工专用测试装置，其特征在于：所述操作面板（5）的内部设置有开关，所述底座（2）的表面设置有提手。

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