CN214655229U - 一种具有预除尘功能的真空镀膜设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种具有预除尘功能的真空镀膜设备，包括壳体，所述壳体的顶部固定连接有真空泵，所述壳体的顶部且位于真空泵的左侧固定连接有集尘箱。本实用新型通过设置通过真空泵、集尘箱、存储箱、过滤出气网、吸气管、吸气罩、安装板、第一弹簧、沾尘辊、支撑腿、第二弹簧、阻尼器、支撑底部、导向杆和第三弹簧的配合使用，解决了现有的真空镀膜设备在使用过程中通常不具备在产品镀膜前对其进行预除尘的功能，使得其在镀膜的过程中容易有灰尘残留对镀膜的效果产生一定的影响，导致镀膜效果不佳，且在使用的过程中通常不具有对设备进行减震的功能，使得在使用时容易因震动导致连接松动等现象发生的问题。

Description

一种具有预除尘功能的真空镀膜设备

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备技术领域，具体为一种具有预除尘功能的真空镀膜设备。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。

在真空镀膜的过程中，常需要使用真空镀膜设备，现有的真空镀膜设备在使用过程中通常不具备在产品镀膜前对其进行预除尘的功能，使得其在镀膜的过程中容易有灰尘残留对镀膜的效果产生一定的影响，导致镀膜效果不佳，且在使用的过程中通常不具有对设备进行减震的功能，使得在使用时容易因震动导致零件松动等的现象发生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种具有预除尘功能的真空镀膜设备，具备在镀膜前进行预镀膜和对设备进行震动的优点，解决了现有的真空镀膜设备在使用过程中通常不具备在产品镀膜前对其进行预除尘的功能，使得其在镀膜的过程中容易有灰尘残留对镀膜的效果产生一定的影响，导致镀膜效果不佳，且在使用的过程中通常不具有对设备进行减震的功能，使得在使用时容易因震动导致零件松动等现象发生的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种具有预除尘功能的真空镀膜设备，包括壳体，所述壳体的顶部固定连接有真空泵，所述壳体的顶部且位于真空泵的左侧固定连接有集尘箱，所述真空泵的进气端贯穿至壳体的内腔并连通有吸气管，所述吸气管的底部连通有吸气罩，所述壳体内腔的前后两侧均镶嵌安装有安装箱，所述安装箱的内腔活动设置有安装板，所述安装板的顶部固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧靠近安装箱内壁的一侧与安装箱固定连接，两个安装板相对的一侧均通过转轴活动连接有沾尘辊，所述沾尘辊的顶部且位于沾尘辊的两侧均贯穿设置有导向杆，所述安装板的顶部固定连接有第三弹簧，所述第三弹簧靠近安装箱内壁的一侧与安装箱的内壁固定连接，所述第三弹簧套设在导向杆的表面，所述壳体的内腔活动设置有传送装置，所述壳体内腔底部的左侧固定连接有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的输出端固定连接有托起板，所述托起板的顶部固定连接有红外线传感器，所述壳体内腔顶部的左侧固定连接有第二电动伸缩杆，所述第二电动伸缩杆的输出端固定连接有镀膜装置，所述壳体底部的四角均固定连接有支撑腿，所述支撑腿的内腔活动设置有阻尼器，所述支撑腿内腔的顶部固定连接有第二弹簧，所述第二弹簧的底部与阻尼器固定连接，所述阻尼器的底部贯穿至支撑腿的外侧并固定连接有支撑底部。

优选的，所述支撑底部的底部开设有防滑纹，所述壳体内腔的顶部固定连接有与吸气管配合使用的卡环。

优选的，所述传送装置的表面开设有与托起板配合使用的滑槽，所述壳体的正面镶嵌安装有观察镜。

优选的，所述集尘箱的正面通过铰链活动连接有第一活动门，第一活动门的正面固定连接有把手，所述壳体的两侧均通过铰链活动连接有第二活动门。

优选的，所述集尘箱的内腔活动连接有存储箱，所述集尘箱的顶部镶嵌安装有过滤出气网。

优选的，所述壳体的正面固定连接有控制器，所述控制器的输出端分别与真空泵、传送装置、第二电动伸缩杆、镀膜装置和第一电动伸缩杆电性连接，所述控制器的输入端与红外线传感器电性连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型通过设置通过真空泵、集尘箱、存储箱、过滤出气网、吸气管、吸气罩、安装板、第一弹簧、沾尘辊、支撑腿、第二弹簧、阻尼器、支撑底部、导向杆和第三弹簧的配合使用，解决了现有的真空镀膜设备在使用过程中通常不具备在产品镀膜前对其进行预除尘的功能，使得其在镀膜的过程中容易有灰尘残留对镀膜的效果产生一定的影响，导致镀膜效果不佳，且在使用的过程中通常不具有对设备进行减震的功能，使得在使用时容易因震动导致零件松动等现象发生的问题。

2、本实用新型通过设置防滑纹，能够增加与地面的摩擦力，通过设置卡环，能够便于吸气管的使用，通过设置滑槽，能够便于托起板的使用，通过设置观察镜，能够对壳体内进行观察，通过设置第一活动门，能够便于对集尘箱内进行清理，通过设置把手，能够便于第一活动门打开，通过设置第二活动门，能够便于设备的使用。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型局部结构右视剖视示意图；

图3为本实用新型局部结构托起板俯视示意图；

图4为本实用新型结构主视示意图。

图中：1壳体、2真空泵、3集尘箱、4存储箱、5过滤出气网、6吸气管、7吸气罩、8安装箱、9安装板、10第一弹簧、11沾尘辊、12传送装置、13第一电动伸缩杆、14托起板、15红外线传感器、16第二电动伸缩杆、17镀膜装置、18支撑腿、19第二弹簧、20阻尼器、21支撑底部、22导向杆、23第三弹簧、24控制器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在实用新型的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

本实用新型中的壳体1、真空泵2、集尘箱3、存储箱4、过滤出气网5、吸气管6、吸气罩7、安装箱8、安装板9、第一弹簧10、沾尘辊11、传送装置12、第一电动伸缩杆13、托起板14、红外线传感器15、第二电动伸缩杆16、镀膜装置17、支撑腿18、第二弹簧19、阻尼器20、支撑底部21、导向杆22、第三弹簧23和控制器24等部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本领域技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。

请参阅图1-4，一种具有预除尘功能的真空镀膜设备，包括壳体1，壳体1的正面固定连接有控制器24，控制器24的输出端分别与真空泵2、传送装置12、第二电动伸缩杆16、镀膜装置17和第一电动伸缩杆13电性连接，控制器24的输入端与红外线传感器15电性连接，壳体1的两侧均通过铰链活动连接有第二活动门，通过设置第二活动门，能够便于设备的使用，壳体1内腔的顶部固定连接有与吸气管6配合使用的卡环，通过设置卡环，能够便于吸气管6的使用，壳体1的正面镶嵌安装有观察镜，通过设置观察镜，能够对壳体1内进行观察，壳体1的顶部固定连接有真空泵2，壳体1的顶部且位于真空泵2的左侧固定连接有集尘箱3，集尘箱3的内腔活动连接有存储箱4，集尘箱3的顶部镶嵌安装有过滤出气网5，集尘箱3的正面通过铰链活动连接有第一活动门，通过设置第一活动门，能够便于对集尘箱3内进行清理，第一活动门的正面固定连接有把手，通过设置把手，能够便于第一活动门打开，真空泵2的进气端贯穿至壳体1的内腔并连通有吸气管6，吸气管6的底部连通有吸气罩7，壳体1内腔的前后两侧均镶嵌安装有安装箱8，安装箱8的内腔活动设置有安装板9，安装板9的顶部固定连接有第一弹簧10，第一弹簧10靠近安装箱8内壁的一侧与安装箱8固定连接，两个安装板9相对的一侧均通过转轴活动连接有沾尘辊11，沾尘辊11的顶部且位于沾尘辊11的两侧均贯穿设置有导向杆22，安装板9的顶部固定连接有第三弹簧23，第三弹簧23靠近安装箱8内壁的一侧与安装箱8的内壁固定连接，第三弹簧23套设在导向杆22的表面，壳体1的内腔活动设置有传送装置12，传送装置12的表面开设有与托起板14配合使用的滑槽，通过设置滑槽，能够便于托起板14的使用，壳体1内腔底部的左侧固定连接有第一电动伸缩杆13，第一电动伸缩杆13的输出端固定连接有托起板14，托起板14的顶部固定连接有红外线传感器15，壳体1内腔顶部的左侧固定连接有第二电动伸缩杆16，第二电动伸缩杆16的输出端固定连接有镀膜装置17，壳体1底部的四角均固定连接有支撑腿18，支撑腿18的内腔活动设置有阻尼器20，支撑腿18内腔的顶部固定连接有第二弹簧19，第二弹簧19的底部与阻尼器20固定连接，阻尼器20的底部贯穿至支撑腿18的外侧并固定连接有支撑底部21，支撑底部21的底部开设有防滑纹，通过设置防滑纹，能够增加与地面的摩擦力。

使用时，使用者通过控制器24设置红外线传感器15的标准区间，然后使用者将产品放置到传送装置12上，同时第一弹簧10与第三弹簧23通过安装板9带动沾尘辊11对产品进行按压，导向杆22对安装箱8进行导流限位，随后使用者通过控制器24启动真空泵2和传送装置12，传送装置12将产品向左侧进行运输，真空泵2的输出端通过吸气罩7将产品上的灰尘吸入吸气管6，然后通过真空泵2出气端导入集尘箱3，灰尘进入集尘箱3落入存储箱4多余的气体通过过滤出气网5进行排放，当红外线传感器15检测到产品移动至合适的位置后传递信息给控制器24，控制器24启动第一电动伸缩杆13，第一电动伸缩杆13的输出端带动托起板14向上进行移动，托起板14带动产品向上进行移动，移动至合适的位置后控制器24启动第二电动伸缩杆16，第二电动伸缩杆16的输出端带动镀膜装置17对产品进行镀膜，同时第二弹簧19与阻尼器20配合对设备进行减震。

综上所述：该具有预除尘功能的真空镀膜设备，通过真空泵2、集尘箱3、存储箱4、过滤出气网5、吸气管6、吸气罩7、安装板9、第一弹簧10、沾尘辊11、支撑腿18、第二弹簧19、阻尼器20、支撑底部21、导向杆22和第三弹簧23的配合使用，解决了现有的真空镀膜设备在使用过程中通常不具备在产品镀膜前对其进行预除尘的功能，使得其在镀膜的过程中容易有灰尘残留对镀膜的效果产生一定的影响，导致镀膜效果不佳，且在使用的过程中通常不具有对设备进行减震的功能，使得在使用时容易因震动导致零件松动等现象发生的问题。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种具有预除尘功能的真空镀膜设备，包括壳体(1)，其特征在于：所述壳体(1)的顶部固定连接有真空泵(2)，所述壳体(1)的顶部且位于真空泵(2)的左侧固定连接有集尘箱(3)，所述真空泵(2)的进气端贯穿至壳体(1)的内腔并连通有吸气管(6)，所述吸气管(6)的底部连通有吸气罩(7)，所述壳体(1)内腔的前后两侧均镶嵌安装有安装箱(8)，所述安装箱(8)的内腔活动设置有安装板(9)，所述安装板(9)的顶部固定连接有第一弹簧(10)，所述第一弹簧(10)靠近安装箱(8)内壁的一侧与安装箱(8)固定连接，两个安装板(9)相对的一侧均通过转轴活动连接有沾尘辊(11)，所述沾尘辊(11)的顶部且位于沾尘辊(11)的两侧均贯穿设置有导向杆(22)，所述安装板(9)的顶部固定连接有第三弹簧(23)，所述第三弹簧(23)靠近安装箱(8)内壁的一侧与安装箱(8)的内壁固定连接，所述第三弹簧(23)套设在导向杆(22)的表面，所述壳体(1)的内腔活动设置有传送装置(12)，所述壳体(1)内腔底部的左侧固定连接有第一电动伸缩杆(13)，所述第一电动伸缩杆(13)的输出端固定连接有托起板(14)，所述托起板(14)的顶部固定连接有红外线传感器(15)，所述壳体(1)内腔顶部的左侧固定连接有第二电动伸缩杆(16)，所述第二电动伸缩杆(16)的输出端固定连接有镀膜装置(17)，所述壳体(1)底部的四角均固定连接有支撑腿(18)，所述支撑腿(18)的内腔活动设置有阻尼器(20)，所述支撑腿(18)内腔的顶部固定连接有第二弹簧(19)，所述第二弹簧(19)的底部与阻尼器(20)固定连接，所述阻尼器(20)的底部贯穿至支撑腿(18)的外侧并固定连接有支撑底部(21)。

2.根据权利要求1所述的一种具有预除尘功能的真空镀膜设备，其特征在于：所述支撑底部(21)的底部开设有防滑纹，所述壳体(1)内腔的顶部固定连接有与吸气管(6)配合使用的卡环。

3.根据权利要求1所述的一种具有预除尘功能的真空镀膜设备，其特征在于：所述传送装置(12)的表面开设有与托起板(14)配合使用的滑槽，所述壳体(1)的正面镶嵌安装有观察镜。

4.根据权利要求1所述的一种具有预除尘功能的真空镀膜设备，其特征在于：所述集尘箱(3)的正面通过铰链活动连接有第一活动门，第一活动门的正面固定连接有把手，所述壳体(1)的两侧均通过铰链活动连接有第二活动门。

5.根据权利要求1所述的一种具有预除尘功能的真空镀膜设备，其特征在于：所述集尘箱(3)的内腔活动连接有存储箱(4)，所述集尘箱(3)的顶部镶嵌安装有过滤出气网(5)。

6.根据权利要求1所述的一种具有预除尘功能的真空镀膜设备，其特征在于：所述壳体(1)的正面固定连接有控制器(24)，所述控制器(24)的输出端分别与真空泵(2)、传送装置(12)、第二电动伸缩杆(16)、镀膜装置(17)和第一电动伸缩杆(13)电性连接，所述控制器(24)的输入端与红外线传感器(15)电性连接。

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