CN214638732U - 一种半导体基板的吹尘夹具 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种半导体基板的吹尘夹具，包括，放置框；电动推杆，所述放置框的内壁顶部两侧均固定焊接有电动推杆；固定板，所述电动推杆的底部之间固定焊接有固定板；吹尘机构，所述吹尘机构包括分布板、输送管、空压机、固定框、干燥层和喷气孔，所述放置框的顶部表面两侧边缘处均固定焊接有固定框，所述固定框相互远离的一侧底部均通过连接管固定安装有空压机，所述固定框的内部固定安装有干燥层，所述固定框相邻的一侧居中处均固定插接有输送管，本实用新型有效的解决了现有的半导体基板的吹尘夹具不能根据半导体基板的高度调节吹尘机构与半导体基板之间的间距，从而降低了除尘的效率的问题。

Description

一种半导体基板的吹尘夹具

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种半导体基板的吹尘夹具。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，半导体在收音机、电视机以及测温上有着广泛的应用，其导电性可受控制，无论从科技或是经济发展的角度来看，半导体的重要性都是非常巨大的，计算机、移动电话或是数字录音机当中的核心单元都和半导体有着极为密切的关连，半导体基板是指半导体材料的支撑板，在半导体基板的生产过程中，为了保证半导体材料工作的稳定性，需要对其进行除尘处理。

但是，传统的在使用过程中存在一些弊端，比如：

现有的半导体基板的吹尘夹具不能根据半导体基板的高度调节吹尘机构与半导体基板之间的间距，从而降低了除尘的效率。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种半导体基板的吹尘夹具，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：包括，放置框；电动推杆，所述放置框的内壁顶部两侧均固定焊接有电动推杆；固定板，所述电动推杆的底部之间固定焊接有固定板；吹尘机构，所述吹尘机构包括分布板、输送管、空压机、固定框、干燥层和喷气孔，所述放置框的顶部表面两侧边缘处均固定焊接有固定框，所述固定框相互远离的一侧底部均通过连接管固定安装有空压机，所述固定框的内部固定安装有干燥层，所述固定框相邻的一侧居中处均固定插接有输送管，所述固定板的底部两侧均固定安装有分布板，所述输送管远离固定框的一端与分布板固定安装，所述分布板的底部开设有若干喷气孔；吸尘机构，所述固定板的顶部表面居中处固定安装有吸尘机构；夹持机构，所述放置框的内壁底部两侧均固定安装有夹持机构。

其中，所述吸尘机构包括安装框、固定管、抽风机和过滤网，所述放置框的顶部表面居中处固定焊接有安装框，所述安装框的内壁顶部居中处固定安装有抽风机，所述安装框的内壁之间并位于抽风机的底部固定安装有过滤网，所述安装框的底部固定插接有固定管，所述固定管的底部一侧贯穿放置框的顶部和固定板并延伸至固定板的外部，所述固定管延伸至固定板外部的一端固定安装有吸尘罩。

其中，所述夹持机构包括固定螺杆和夹持板，所述放置框的两侧均螺纹插接有固定螺杆，所述固定螺杆位于放置框内部的一端转动连接有夹持板。

其中，所述固定板的截面呈倒V字型的结构。

其中，所述干燥层包括干燥框、通气孔和干燥剂，所述固定框的内壁顶部和内壁底部之间固定安装有干燥框，所述干燥框的两侧均开设有若干通气孔，所述干燥框的内部填充有干燥剂。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

将半导体基板竖直放置与夹持板之间，然后转动固定螺杆，使得固定螺杆带动夹持板向相互靠近的方向移动，将半导体基板进行限位固定，然后启动电动推杆，使得电动推杆带动固定板在竖直方向上移动，调节固定板与半导体基板之间的间距，然后启动空压机和抽风机，空压机将外部的空气抽入固定框的内部，通过干燥层干燥后通过输送管输送至分布板的内部，最后有喷气孔喷出，喷至半导体基板的两侧，喷出的气流可将半导体基板表面灰尘吹起，抽风机在负压的作用下可以将吹落的灰尘通过固定管抽入安装框的内部，通过过滤网可以拦截过滤，从而可有效清除半导体基板表面的灰尘，满足使用需求。

附图说明

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型干燥层的结构示意图；

图3为本实用新型图1中A处放大结构示意图。

图中：1、放置框；2、吹尘机构；21、分布板；22、输送管；23、空压机；24、固定框；25、干燥层；251、干燥框；252、通气孔；253、干燥剂；26、喷气孔；3、吸尘机构；31、安装框；32、固定管；33、抽风机；34、过滤网；4、电动推杆；5、固定板；6、夹持机构；61、固定螺杆；62、夹持板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：包括，放置框1；电动推杆4，所述放置框1的内壁顶部两侧均固定焊接有电动推杆4；固定板5，所述电动推杆4的底部之间固定焊接有固定板5；吹尘机构2，所述吹尘机构2包括分布板21、输送管22、空压机23、固定框24、干燥层25和喷气孔26，所述放置框1的顶部表面两侧边缘处均固定焊接有固定框24，所述固定框24相互远离的一侧底部均通过连接管固定安装有空压机23，所述固定框24的内部固定安装有干燥层25，所述固定框24相邻的一侧居中处均固定插接有输送管22，所述固定板5的底部两侧均固定安装有分布板21，所述输送管22远离固定框24的一端与分布板21固定安装，所述分布板21的底部开设有若干喷气孔26；吸尘机构3，所述固定板5的顶部表面居中处固定安装有吸尘机构3；夹持机构6，所述放置框1的内壁底部两侧均固定安装有夹持机构6。

其中，所述吸尘机构3包括安装框31、固定管32、抽风机33和过滤网34，所述放置框1的顶部表面居中处固定焊接有安装框31，所述安装框31的内壁顶部居中处固定安装有抽风机33，所述安装框31的内壁之间并位于抽风机33的底部固定安装有过滤网34，所述安装框31的底部固定插接有固定管32，所述固定管32的底部一侧贯穿放置框1的顶部和固定板5并延伸至固定板5的外部，所述固定管32延伸至固定板5外部的一端固定安装有吸尘罩，抽风机33在负压的作用下可以将吹落的灰尘通过固定管32抽入安装框31的内部，通过过滤网34可以拦截过滤。

其中，所述夹持机构6包括固定螺杆61和夹持板62，所述放置框1的两侧均螺纹插接有固定螺杆61，所述固定螺杆61位于放置框1内部的一端转动连接有夹持板62，将半导体基板竖直放置与夹持板62之间，然后转动固定螺杆61，使得固定螺杆61带动夹持板62向相互靠近的方向移动，将半导体基板进行限位固定。

其中，所述固定板5的截面呈倒V字型的结构，增加气流与半导体基板接触的面积。

其中，所述干燥层25包括干燥框251、通气孔252和干燥剂253，所述固定框24的内壁顶部和内壁底部之间固定安装有干燥框251，所述干燥框251的两侧均开设有若干通气孔252，所述干燥框251的内部填充有干燥剂253，空气通过干燥框251一侧的通气孔252进入与干燥剂253接触，干燥完成后从另一侧通气孔252流出。

工作原理：固定管32和输送管22均采用可伸缩的软管，使用时，将半导体基板竖直放置与夹持板62之间，然后转动固定螺杆61，使得固定螺杆61带动夹持板62向相互靠近的方向移动，将半导体基板进行限位固定，然后启动电动推杆4，使得电动推杆4带动固定板5在竖直方向上移动，调节固定板5与半导体基板之间的间距，然后启动空压机23和抽风机33，空压机23将外部的空气抽入固定框24的内部，通过干燥层25干燥后通过输送管22输送至分布板21的内部，最后有喷气孔26喷出，喷至半导体基板的两侧，喷出的气流可将半导体基板表面灰尘吹起，同时抽风机33在负压的作用下可以将吹落的灰尘通过固定管32抽入安装框31的内部，通过过滤网34可以拦截过滤，从而可有效清除半导体基板表面的灰尘，满足使用需求。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于，包括：

放置框(1)；

电动推杆(4)，所述放置框(1)的内壁顶部两侧均固定焊接有电动推杆(4)；

固定板(5)，所述电动推杆(4)的底部之间固定焊接有固定板(5)；

吹尘机构(2)，所述吹尘机构(2)包括分布板(21)、输送管(22)、空压机(23)、固定框(24)、干燥层(25)和喷气孔(26)，所述放置框(1)的顶部表面两侧边缘处均固定焊接有固定框(24)，所述固定框(24)相互远离的一侧底部均通过连接管固定安装有空压机(23)，所述固定框(24)的内部固定安装有干燥层(25)，所述固定框(24)相邻的一侧居中处均固定插接有输送管(22)，所述固定板(5)的底部两侧均固定安装有分布板(21)，所述输送管(22)远离固定框(24)的一端与分布板(21)固定安装，所述分布板(21)的底部开设有若干喷气孔(26)；

吸尘机构(3)，所述固定板(5)的顶部表面居中处固定安装有吸尘机构(3)；

夹持机构(6)，所述放置框(1)的内壁底部两侧均固定安装有夹持机构(6)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于：所述吸尘机构(3)包括安装框(31)、固定管(32)、抽风机(33)和过滤网(34)，所述放置框(1)的顶部表面居中处固定焊接有安装框(31)，所述安装框(31)的内壁顶部居中处固定安装有抽风机(33)，所述安装框(31)的内壁之间并位于抽风机(33)的底部固定安装有过滤网(34)，所述安装框(31)的底部固定插接有固定管(32)，所述固定管(32)的底部一侧贯穿放置框(1)的顶部和固定板(5)并延伸至固定板(5)的外部，所述固定管(32)延伸至固定板(5)外部的一端固定安装有吸尘罩。

3.根据权利要求1所述的一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于：所述夹持机构(6)包括固定螺杆(61)和夹持板(62)，所述放置框(1)的两侧均螺纹插接有固定螺杆(61)，所述固定螺杆(61)位于放置框(1)内部的一端转动连接有夹持板(62)。

4.根据权利要求1所述的一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于：所述固定板(5)的截面呈倒V字型的结构。

5.根据权利要求1所述的一种半导体基板的吹尘夹具，其特征在于：所述干燥层(25)包括干燥框(251)、通气孔(252)和干燥剂(253)，所述固定框(24)的内壁顶部和内壁底部之间固定安装有干燥框(251)，所述干燥框(251)的两侧均开设有若干通气孔(252)，所述干燥框(251)的内部填充有干燥剂(253)。

Images