CN214612729U - 一种真空镀膜机用膜料平铺装置 - Google Patents

一种真空镀膜机用膜料平铺装置 Download PDF

Info

Publication number
CN214612729U
CN214612729U CN202121043592.7U CN202121043592U CN214612729U CN 214612729 U CN214612729 U CN 214612729U CN 202121043592 U CN202121043592 U CN 202121043592U CN 214612729 U CN214612729 U CN 214612729U
Authority
CN
China
Prior art keywords
coating
film
box
coating film
case
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN202121043592.7U
Other languages
English (en)
Inventor
张勇军
卢成
王伟
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
CHENGDU GUOTAI VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD.
Original Assignee
Sichuan Jincheng Guotai Vacuum Equipment Co ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sichuan Jincheng Guotai Vacuum Equipment Co ltd filed Critical Sichuan Jincheng Guotai Vacuum Equipment Co ltd
Priority to CN202121043592.7U priority Critical patent/CN214612729U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN214612729U publication Critical patent/CN214612729U/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Landscapes

  • Details Or Accessories Of Spraying Plant Or Apparatus (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种真空镀膜机用膜料平铺装置,包括机架,还包括镀膜组件,镀膜组件包括镀膜箱,镀膜箱的前端面贯穿设置,镀膜箱的内部下方水平设置有放置板,镀膜箱的后端面上放置板正上方水平设置有喷杆,喷杆另一端贯穿放置板与机架上的机体连接,镀膜箱的底端面外部竖直固定有驱动电机,驱动电机的输出端通过轴承贯穿镀膜箱固定在放置板的底面上。本实用新型能够保证喷涂的基板更加的均匀,进而提升喷涂的效果,保证基片表面膜料的均匀性。

Description

一种真空镀膜机用膜料平铺装置
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜机技术领域,尤其涉及一种真空镀膜机用膜料平铺装置。
背景技术
真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,通过成膜过程形成薄膜,但是现有的真空镀膜机蒸发的膜料不能均匀沉降在基片表面上,喷射时导致膜料不均与,容易导致后期喷射出现膜料薄厚不均匀的问题。
因此需要一种真空镀膜机用膜料平铺装置,能够保证喷涂的基板更加的均匀,进而提升喷涂的效果,保证基片表面膜料的均匀性。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机用膜料平铺装置,旨在改善现有的真空镀膜机蒸发的膜料不能均匀沉降在基片表面上,喷射时导致膜料不均与,容易导致后期喷射出现膜料薄厚不均匀的问题。
本实用新型是这样实现的:
一种真空镀膜机用膜料平铺装置,包括机架,还包括镀膜组件,镀膜组件包括镀膜箱,镀膜箱的前端面贯穿设置,镀膜箱的内部下方水平设置有放置板,镀膜箱的后端面上放置板正上方水平设置有喷杆,喷杆另一端贯穿放置板与机架上的机体连接,镀膜箱的底端面外部竖直固定有驱动电机,驱动电机的输出端通过轴承贯穿镀膜箱固定在放置板的底面上。
进一步的,镀膜箱的前端面上安装有封板,封板靠近镀膜箱的侧端面上粘接有插入镀膜箱开口端的橡胶塞,封板靠近镀膜箱的侧端面上橡胶塞的外部套设有橡胶带,橡胶带与封板粘接。
进而通过镀膜箱的前端面上安装有封板,封板靠近镀膜箱的侧端面上粘接有插入镀膜箱开口端的橡胶塞,封板靠近镀膜箱的侧端面上橡胶塞的外部套设有橡胶带,橡胶带与封板粘接,从而通过封板密封镀膜箱的开口端,然后通过螺杆锁止镀膜箱和封板,便于提高密封性。
进一步的,镀膜箱两侧端面的前部均竖直设置有螺孔板,螺孔板与相邻的镀膜箱侧端面固定。
进而通过镀膜箱两侧端面的前部均竖直设置有螺孔板,螺孔板与相邻的镀膜箱侧端面固定,从而便于后期密封镀膜箱。
进一步的,封板两侧端面均固定有螺孔板,封板和镀膜箱相邻螺孔板通过螺杆锁紧连接。
进而通过封板两侧端面均固定有螺孔板,封板和镀膜箱相邻螺孔板通过螺杆锁紧连接,从而密封镀膜箱。
进一步的,镀膜箱外部两侧端面上均竖直固定有冷却盒,冷却盒靠近镀膜箱的外端面固定连接,冷却盒的内部沿竖直方向均匀水平固定有多块导热板。
进而通过镀膜箱外部两侧端面上均竖直固定有冷却盒,冷却盒靠近镀膜箱的外端面固定连接,冷却盒的内部沿竖直方向均匀水平固定有多块导热板,镀膜箱采用金属材质制成,导热板设置为多孔材质,导送热量在冷却液中,快速对镀膜箱进行降温。
进一步的,冷却盒的上下端面上均贯通连接有通筒,通筒中均填塞有橡胶塞。
进而通过冷却盒的上下端面上均贯通连接有通筒,通筒中均填塞有橡胶塞,便于封堵加装冷却液。
与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型
在使用该真空镀膜机用膜料平铺装置时,首先将需要镀膜的基片均匀放置在镀膜箱的放置板中,然后将封板填塞在镀膜箱的开口端,然后通过螺杆锁止在镀膜箱中,然后启动镀膜箱中的真空泵,将镀膜箱中抽真空,然后启动驱动电机带动放置板转动,然后将蒸气化的膜料从喷杆中均匀喷涂在放置板的基片上,从而能够保证喷涂的基板更加的均匀,进而提升喷涂的效果,保证基片表面膜料的均匀性,从而克服了现有的真空镀膜机蒸发的膜料不能均匀沉降在基片表面上,喷射时导致膜料不均与,容易导致后期喷射出现膜料薄厚不均匀的问题。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案,下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
图1是本实用新型的整体结构示意图;
图2是本实用新型的分解结构示意图;
图3是本实用新型实施例中镀膜组件的分解结构示意图;
图4是本实用新型实施例中镀膜箱的分解结构示意图。
图中:1、机架;2、镀膜组件;21、镀膜箱;211、螺孔板;22、放置板;23、驱动电机;24、喷杆;25、封板;251、橡胶塞;252、橡胶带;253、螺杆;26、冷却盒;261、导热板;262、通筒。
具体实施方式
为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚,下面将结合本实用新型实施方式中的附图,对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式,而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本实用新型保护的范围。因此,以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1、图2、图3和图4所示,一种真空镀膜机用膜料平铺装置,包括机架1,还包括镀膜组件2,镀膜组件2包括镀膜箱21,镀膜箱21的前端面贯穿设置,镀膜箱21的内部下方水平设置有放置板22,镀膜箱21的后端面上放置板22正上方水平设置有喷杆24,喷杆24另一端贯穿放置板22与机架1上的机体连接,镀膜箱21的底端面外部竖直固定有驱动电机23,驱动电机23的输出端通过轴承贯穿镀膜箱21固定在放置板22的底面上。
进而通过在使用该真空镀膜机用膜料平铺装置时,首先将需要镀膜的基片均匀放置在镀膜箱21的放置板22中,然后将封板25填塞在镀膜箱21的开口端,然后通过螺杆253锁止在镀膜箱21中,然后启动镀膜箱21中的真空泵,将镀膜箱21中抽真空,然后启动驱动电机23带动放置板22转动,然后将蒸气化的膜料从喷杆24中均匀喷涂在放置板22的基片上,从而能够保证喷涂的基板更加的均匀,进而提升喷涂的效果,保证基片表面膜料的均匀性。
请参阅图4,镀膜箱21的前端面上安装有封板25,封板25靠近镀膜箱21的侧端面上粘接有插入镀膜箱21开口端的橡胶塞251,封板25靠近镀膜箱21的侧端面上橡胶塞251的外部套设有橡胶带252,橡胶带252与封板25粘接。
进而通过镀膜箱21的前端面上安装有封板25,封板25靠近镀膜箱21的侧端面上粘接有插入镀膜箱21开口端的橡胶塞251,封板25靠近镀膜箱21的侧端面上橡胶塞251的外部套设有橡胶带252,橡胶带252与封板25粘接,从而通过封板25密封镀膜箱21的开口端,然后通过螺杆锁止镀膜箱21和封板25,便于提高密封性。
请参阅图4,镀膜箱21两侧端面的前部均竖直设置有螺孔板211,螺孔板211与相邻的镀膜箱21侧端面固定。
进而通过镀膜箱21两侧端面的前部均竖直设置有螺孔板211,螺孔板211与相邻的镀膜箱21侧端面固定,从而便于后期密封镀膜箱21。
请参阅图4,封板25两侧端面均固定有螺孔板211,封板25和镀膜箱21相邻螺孔板211通过螺杆253锁紧连接。
进而通过封板25两侧端面均固定有螺孔板211,封板25和镀膜箱21相邻螺孔板211通过螺杆253锁紧连接,从而密封镀膜箱21。
请参阅图4,镀膜箱21外部两侧端面上均竖直固定有冷却盒26,冷却盒26靠近镀膜箱21的外端面固定连接,冷却盒26的内部沿竖直方向均匀水平固定有多块导热板261。
进而通过镀膜箱21外部两侧端面上均竖直固定有冷却盒26,冷却盒26靠近镀膜箱21的外端面固定连接,冷却盒26的内部沿竖直方向均匀水平固定有多块导热板261,镀膜箱21采用金属材质制成,导热板261设置为多孔材质,导送热量在冷却液中,快速对镀膜箱21进行降温。
请参阅图4,冷却盒26的上下端面上均贯通连接有通筒262,通筒262中均填塞有橡胶塞。
进而通过冷却盒26的上下端面上均贯通连接有通筒262,通筒262中均填塞有橡胶塞,便于封堵加装冷却液。
工作原理:在使用该真空镀膜机用膜料平铺装置时,首先将需要镀膜的基片均匀放置在镀膜箱21的放置板22中,然后将封板25填塞在镀膜箱21的开口端,然后通过螺杆253锁止在镀膜箱21中,然后启动镀膜箱21中的真空泵,将镀膜箱21中抽真空,然后启动驱动电机23带动放置板22转动,然后将蒸气化的膜料从喷杆24中均匀喷涂在放置板22的基片上。
通过上述设计得到的装置已基本能满足一种能够保证喷涂的基板更加的均匀,进而提升喷涂的效果,保证基片表面膜料的均匀性的真空镀膜机用膜料平铺装置的使用,但本着进一步完善其功能的宗旨,设计者对该装置进行了进一步的改良。
以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已,并不用于限制本实用新型,对于本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种真空镀膜机用膜料平铺装置,包括机架(1),其特征在于:还包括镀膜组件(2),所述镀膜组件(2)包括镀膜箱(21),所述镀膜箱(21)的前端面贯穿设置,所述镀膜箱(21)的内部下方水平设置有放置板(22),所述镀膜箱(21)的后端面上放置板(22)正上方水平设置有喷杆(24),所述喷杆(24)另一端贯穿放置板(22)与机架(1)上的机体连接,所述镀膜箱(21)的底端面外部竖直固定有驱动电机(23),所述驱动电机(23)的输出端通过轴承贯穿镀膜箱(21)固定在放置板(22)的底面上。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用膜料平铺装置,其特征在于,所述镀膜箱(21)的前端面上安装有封板(25),所述封板(25)靠近镀膜箱(21)的侧端面上粘接有插入镀膜箱(21)开口端的橡胶塞(251),所述封板(25)靠近镀膜箱(21)的侧端面上橡胶塞(251)的外部套设有橡胶带(252),所述橡胶带(252)与封板(25)粘接。
3.根据权利要求2所述的一种真空镀膜机用膜料平铺装置,其特征在于,所述镀膜箱(21)两侧端面的前部均竖直设置有螺孔板(211),所述螺孔板(211)与相邻的镀膜箱(21)侧端面固定。
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机用膜料平铺装置,其特征在于,所述封板(25)两侧端面均固定有螺孔板(211),所述封板(25)和镀膜箱(21)相邻螺孔板(211)通过螺杆(253)锁紧连接。
5.根据权利要求4所述的一种真空镀膜机用膜料平铺装置,其特征在于,所述镀膜箱(21)外部两侧端面上均竖直固定有冷却盒(26),所述冷却盒(26)靠近镀膜箱(21)的外端面固定连接,所述冷却盒(26)的内部沿竖直方向均匀水平固定有多块导热板(261)。
6.根据权利要求5所述的一种真空镀膜机用膜料平铺装置,其特征在于,所述冷却盒(26)的上下端面上均贯通连接有通筒(262),所述通筒(262)中均填塞有橡胶塞。
CN202121043592.7U 2021-05-17 2021-05-17 一种真空镀膜机用膜料平铺装置 Active CN214612729U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202121043592.7U CN214612729U (zh) 2021-05-17 2021-05-17 一种真空镀膜机用膜料平铺装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN202121043592.7U CN214612729U (zh) 2021-05-17 2021-05-17 一种真空镀膜机用膜料平铺装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN214612729U true CN214612729U (zh) 2021-11-05

Family

ID=78407765

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN202121043592.7U Active CN214612729U (zh) 2021-05-17 2021-05-17 一种真空镀膜机用膜料平铺装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN214612729U (zh)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN1957107A (zh) 对向靶材式溅镀装置
CN214612729U (zh) 一种真空镀膜机用膜料平铺装置
CN210182329U (zh) 一种真空等离子清洗机
CN209243159U (zh) 一种用于蒸发镀膜的装置
CN106601489A (zh) 一种无需预嵌锂型锂离子电容器及其制备方法
CN215799852U (zh) 一种薄膜电容器加工用薄膜蒸镀装置
CN109244555A (zh) 一种硬壳锂离子电池的浸润方法
CN207818392U (zh) 一种使用寿命长的铝电解电容器
CN107482160A (zh) 利用真空磁控溅射镀膜技术制备锂电池C‑Si负极涂层的方法
CN217973380U (zh) 一种玻璃双面镀膜磁控溅射镀膜机
CN103861777B (zh) 凹版涂布机的料盒结构
CN217259539U (zh) 一种车用锂动力电池组冷却装置
CN210349978U (zh) 一种燃料电池双极板的点胶密封装置
CN108682757B (zh) 一种新能源汽车电池防漏箱
CN214612747U (zh) 一种等离子体蒸发镀膜机
CN212847505U (zh) 一种oled显示屏的密封防水安装结构
CN218394486U (zh) 一种精准可调节刀片高度的锂电池涂布机
CN210012893U (zh) 一种真空磁控溅射镀膜设备
CN214554966U (zh) 一种打接线盒底胶的接线盒固定工装
CN112941482A (zh) 双鼓镀膜机
CN219476773U (zh) 电池化成夹具
CN217149294U (zh) 一种磁控溅射真空镀膜装置
CN213172541U (zh) 一种低温真空镀膜设备
CN221166729U (zh) 一种真空镀膜装置
CN204614852U (zh) 一种蓄电池及电动车

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
TR01 Transfer of patent right
TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20220117

Address after: 618 Kelin West Road, Chengdu cross strait science and Technology Industrial Development Park, Wenjiang District, Chengdu, Sichuan 610000

Patentee after: CHENGDU GUOTAI VACUUM EQUIPMENT CO.,LTD.

Address before: 618 Kelin West Road, Chengdu cross strait science and Technology Industrial Development Park, Wenjiang District, Chengdu, Sichuan 610000

Patentee before: Sichuan Jincheng Guotai Vacuum Equipment Co.,Ltd.