CN214597534U - 一种化学液处理回收装置 - Google Patents

Abstract

一种化学液处理回收装置，包括预处理罐、进液装置、导管、泵体、第一输送管、第一容器、第二容器、第一滤网、回收池、罐盖、连接件、卡块和导流板，所述预处理罐顶端设置有进液装置，预处理罐右侧设置有导管，所述导管上设置有泵体，导管一端与预处理器相通，另一端设置有三通管，所述三通管一端设置有第一输送管，所述第一输送管上设置有第一止回阀，所述三通管另一端设置有第二输送管，第二输送管与第二容器相通，本实用新型的化学液处理回收装置，可以通过不同的处理容器对化学液进行回收处理，并且在整个处理过程中，化学液均处于密封状态的情况下进行回收，很大程度上减少了化学液的污染和被稀释问。

Description

一种化学液处理回收装置

技术领域

本实用新型涉及化学液回收装置技术领域，具体为一种化学液处理回收装置。

背景技术

目前，对于半导体行业中晶片湿法处理工艺经常需要使用化学液，而如何实现化学液的无污染无稀释回收再利用就是一个不可避免的问题。在现有技术中，化学液的回收比较困难，并且回收的化学液会被污染和稀释。

例如公开号为“CN201110332579.8”专利名称为：“一种化学液回收装置”的专利，其公开了“包括固定及旋转晶片的承片台、CUP、接液槽、气缸、电机及台面板，其中接液槽安装在台面板上，在接液槽内设有由电机驱动的承片台；所述接液槽与承片台之间设有由气缸驱动升降的CUP，接液槽内通过所述CUP分成回收化学液的外槽及回收清洗液的内槽，每个槽各设有一个排出口。所述CUP移动的上限位位于晶片及承片台的上方，下限位位于晶片及承片台的下方；所述电机为中空轴电机，安装在台面板的下方，电机中空的输出轴穿过台面板与所述承片台相连，在电机中空的输出轴端设有压缩空气入口，所述承片台套在输出轴外的部位开有与所述中空的输出轴连通的压缩空气出口；所述CUP为锥台形、内部中空，在CUP的上表面开有供所述承片台穿过的第一通孔；所述CUP上开有凹槽，接液槽内设有第二凸起，该第二凸起容置在所述凹槽内；所述气缸安装在台面板的下表面，活塞杆依次穿过台面板、第二凸起与CUP相连；所述接液槽内由里向外依次设有内部中空的第一凸起、第二凸起，承片台及电机的输出轴由第一凸起穿过；所述第一凸起及第二凸起将接液槽内部分隔成外槽及内槽，第一、二凸起之间为内槽，第二凸起与接液槽外壁之间为外槽，内槽的底部开有回收清洗液的排液口，外槽的底部开有回收化学液的排酸口；所述内槽内，在第一凸起顶端与承片台之间设有挡板；所述接液槽的顶部安装有防护罩；所述防护罩为锥台形，其上表面开有第二通孔”。

但是现有的化学液处理回收装置，在使用时如何避免化学液在回收过程中被污染和稀释现象的产生，已成为亟待解决的问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种实用性强、结构简单的化学液处理回收装置。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种化学液处理回收装置，包括预处理罐、进液装置、导管、泵体、第一输送管、第一容器、第二容器、第一滤网、回收池、罐盖、连接件、卡块、导流板、阀门、液位传感器和警示灯，所述预处理罐顶端设置有进液装置，预处理罐右侧设置有导管，所述导管上设置有泵体，导管一端与预处理罐相通，另一端设置有三通管，所述三通管一端设置有第一输送管，第一输送管与第一容器相通，所述第一输送管上设置有第一止回阀，所述三通管另一端设置有第二输送管，第二输送管上设置有第二止回阀，第二输送管与第二容器相通，所述第一容器内壁两侧设置有卡槽，第一容器内部设置有第一滤网，第一容器底端设置有导流板，所述第二容器内部设置有第二滤网，所述第一容器顶端设置有罐盖，所述罐盖一侧设置有连接件，第一容器顶端设置有密封垫，所述第一容器底端设置有第一管路，所述第二容器底端设置有第二管路。

为了实现更好的回收，本实用新型改进有，所述第一容器与第二容器内部结构均设置为一样。

为了实现更好的拆卸，本实用新型进有，所述第一滤网底端两侧设置有卡块，所述卡块设置在卡槽内部，卡块与卡槽可活动连接。

为了实现更好的使用，本实用新型改进有，所述进液装置两侧设置有凹槽，凹槽内部设置有螺栓，螺栓穿过凹槽与预处理罐相连，所述进液装置底部设置为过滤网格。

为了实现更好的导流，本实用新型改进有，所述第一容器和第二容器底端设置的导流板设置为锥形样式。

为了实现更好的密封，本实用新型改进有，所述第一容器和第二容器顶部设置的密封垫与罐盖相适配。

为了实现更好的处理，本实用新型改进有，所述第一管路和第二管路均与回收池相通。

为了实现更好的排放，本实用新型改进有，所述回收池顶端设置警示灯，所述回收池内部设置有液位传感器，所述回收池右侧设置有阀门。

为了实现更好的控制，本实用新型改进有，所述警示灯与液位传感器电性连接。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种化学液处理回收装置，具备以下有益效果：

该化学液处理回收装置，在于所述的预处理器顶端设置的进液装置，进液装置两端设置的凹槽，并通过螺栓穿过凹槽与预处理罐相连，所述的进液装置底部设置为过滤网格，可以使化学液在进入预处理罐时，过滤网格的设置可以将化学液内掺杂的残渣进行过滤，提高化学液的回收率，并且通过螺栓连接可以方便进液装置拆卸进行清理，在使用时，化学液进行预处理罐内部，并通过导管和泵体进行输送，并且使用三通管和止回阀的设置，可以通过不同通道进行回收处理，将第一种需要处理的化学液时，将第一止回阀打开，关闭第二止回阀，使泵体通过导管和第一输送管导入第一容器内部，并通过第一滤网进行过滤处理，最后通过导流板和第一管路流入回收池内部，所述的导流板采用锥形设置，可以使化学液快速排出，然后再处理第二种化学液时，关闭第一止回阀，打开第二止回阀，通过第二输送管将化学液倒入第二容器内部，再通过第二滤网进行过滤后流入回收池内部，所述的第一容器与第二容器内部结构均设置为一样，容器顶端设置的罐盖通过连接件可活动连接，在容器顶部设置的密封垫与罐盖相适配，在长时间的使用后，可以打开罐盖对容器内部进行清洗，并且第一容器与第二容器内部的滤网底端设置的卡块与卡槽可活动连接，使滤网方便拆卸清理，提高了回收装置的实用性，本实用新型的化学液处理回收装置，可以通过不同的处理容器对化学液进行回收处理，并且在整个处理过程中，化学液均处于密封状态的情况下进行回收，很大程度上减少了化学液的污染和被稀释问题。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1中12处的结构示意图；

图3为本实用新型图2中A处的放大结构示意图；

图4为本实用新型图1中2处的局部放大结构示意图

图5为本实用新型图4的俯视结构示意图；

图中：1.预处理罐；2.进液装置；3.凹槽；4.螺栓；5.导管；6.泵体；7.三通管；8.第一输送管；9.第一止回阀；10.第二输送管；11.第二止回阀；12.第一容器；13.第一滤网；14.第二容器；15.第二滤网；16.回收池；17.第一管路；18.第二管路；19.罐盖；20.连接件；21.密封垫；22.卡块；23.卡槽；24.导流板；25阀门；26；液位传感器；27.警示灯。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，一种化学液处理回收装置，包括预处理罐1、进液装置2、导管5、泵体6、第一输送管8、第二输送管10、第一容器12、第二容器14、第一滤网13、回收池16、罐盖19、连接件20、卡块22、导流板24、阀门25、液位传感器26和警示灯27，所述预处理罐1顶端设置有进液装置2，进液装置2两侧设置有凹槽3，凹槽3内部设置有螺栓4(因此螺栓4对应至少有两个以上)，螺栓4穿过凹槽3与预处理罐1相连。进液装置2顶部有一个直径较大的部分(未区别标注)，可以结合图1、图4和图5。

所述进液装置2底部设置为过滤网格，参考图4和图5。

预处理罐1右侧设置有导管5，所述导管5上设置有泵体6，导管5一端与预处理罐1相通，另一端设置有三通管7。导管5上向上弯拆，三通管7的高度大于预处理罐1右侧连接导管5的位置，泵体6用于对化学液提供相应的动力。

所述三通管7的一个输出端设置有第一输送管8，第一输送管8与第一容器12相通，所述第一输送管8上设置有第一止回阀9。所述三通管7另一个输出端设置有第二输送管10，第二输送管10上设置有第二止回阀11，第二输送管10与第二容器14相通。通过这样的设置，三通管7能够将相应的化学液分别分入到第一容器12和第二容器14内，用于进行处理。

所述第一容器12内壁两侧设置有卡槽23，如图3(需要先参考图2中的放大位置A)。第一容器12底端设置有导流板24，如图2。

各图中虽未放大显示第二容器14，但是，由图1可知，第二容器14结构基本与第一容器12相同，因此，它也有相应的卡槽23和导流板24，它们的位置和结构均相同。

第一容器12和第二容器14底端设置的导流板24设置为锥形样式，第一容器12内部设置有第一滤网13，第一滤网13底端两侧设置有卡块22，所述卡块22设置在卡槽23内部，卡块22与卡槽23可活动连接，所述第二容器14内部设置有第二滤网15。

第一滤网13和第二滤网15根据所要处理的化学液的不同进行分别选取，它们可以是相同(例如当它们用来处理相同化学液时)，也可以不同(例如两个容器分别处理不同化学液)。

如图2，所述第一容器12顶端设置有罐盖19。罐盖19一侧设置有连接件20。罐盖19起到相应的保护作用。罐盖19与连接件20配合，连接件20使得罐盖19灵活地固定在第一容器12顶端，方便进行封盖和打开。

所述第一容器12顶端设置有密封垫21。密封垫21用于密封保护，使得在罐盖19合上之后，能够更好地防止相应的污染。

本实施例中，第一容器12和第二容器14顶部设置的密封垫21与罐盖19相适配，所述第一容器12底端设置有第一管路17，所述第二容器14底端设置有第二管路18，第一管路17和第二管路18均与回收池16相通，第一容器12与第二容器14内部结构均设置为一样。分别设置相应的管路，使回收更加灵活。

综上所述，该化学液处理回收装置的工作原理和工作过程为，在使用时，首先在预处理器顶端设置的进液装置2，进液装置2两端设置的凹槽3，并通过螺栓4穿过凹槽3与预处理罐1相连，所述的进液装置2底部设置为过滤网格，可以使化学液在进入预处理罐1时，过滤网格的设置可以将化学液内掺杂的残渣进行过滤，提高化学液的回收率，并且通过螺栓4连接可以方便进液装置2拆卸进行清理，在使用时，化学液进行预处理内部，并通过导管5和泵体6进行输送，并且使用三通管7和止回阀的设置，可以通过不同通道进行回收处理，将第一种需要处理的化学液时，将第一止回阀9打开，关闭第二止回阀11，使泵体6通过导管5和第一输送管8导入第一容器12内部，并通过第一滤网13进行过滤处理，最后通过导流板24和第一管路17流入回收池16内部，所述的导流板24采用锥形设置，可以使化学液快速排出，然后再处理第二种化学液时，关闭第一止回阀9，打开第二止回阀11，通过第二输送管10将化学液倒入第二容器14内部，再通过第二滤网15进行过滤后流入回收池16内部，所述的第一容器12与第二容器14内部结构均设置为一样，容器顶端设置的罐盖19通过连接件20可活动连接，在容器顶部设置的密封垫21与罐盖19相适配，在长时间的使用后，可以打开罐盖19对容器内部进行清洗，并且第一容器12与第二容器14内部的滤网底端设置的卡块22与卡槽23可活动连接，使滤网方便拆卸清理，提高了回收装置的实用性，所述的回收池16内设置的液位传感器26可以监测回收池16内的化学液，当超过液位传感器26设定的数值时，液位传感器26通过电性连接使警示灯27进行报警闪灯，以及时提醒使用人员，再通过阀门25将化学液排出即可，本实用新型的化学液处理回收装置，可以通过不同的处理容器对化学液进行回收处理，并且在整个处理过程中，化学液均处于密封状态的情况下进行回收，很大程度上减少了化学液的污染和被稀释问题。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (9)

1.一种化学液处理回收装置，其特征在于：包括预处理罐(1)、进液装置(2)、导管(5)、泵体(6)、第一输送管(8)、第二输送管(10)、第一容器(12)、第二容器(14)、第一滤网(13)、回收池(16)、罐盖(19)、连接件(20)、卡块(22)、导流板(24)、阀门(25)、液位传感器(26)和警示灯(27)，所述预处理罐(1)顶端设置有所述进液装置(2)，预处理罐(1)右侧设置有所述导管(5)，所述导管(5)上设置有所述泵体(6)，所述导管(5)一端与所述预处理罐(1)相通，另一端设置有三通管(7)，所述三通管(7)一端设置有所述第一输送管(8)，所述第一输送管(8)与所述第一容器(12)相通，所述第一输送管(8)上设置有第一止回阀(9)，所述三通管(7)另一端设置有所述第二输送管(10)，所述第二输送管(10)上设置有第二止回阀(11)，所述第二输送管(10)与第二容器(14)相通，所述第一容器(12)内壁两侧设置有卡槽(23)，第一容器(12)内部设置有第一滤网(13)，第一容器(12)底端设置有导流板(24)，所述第二容器(14)内部设置有第二滤网(15)，所述第一容器(12)顶端设置有罐盖(19)，所述罐盖(19)一侧设置有连接件(20)，所述第一容器(12)顶端设置有密封垫(21)，所述第一容器(12)底端设置有第一管路(17)，所述第二容器(14)底端设置有第二管路(18)。

2.根据权利要求1所述的一种化学液处理回收装置，其特征在于：所述第一管路(17)和第二管路(18)均与回收池(16)相通。

3.根据权利要求2所述的一种化学液处理回收装置，其特征在于：所述回收池(16)顶端设置警示灯(27)，所述回收池(16)内部设置有液位传感器(26)，所述回收池(16)右侧设置有阀门(25)。

4.根据权利要求3所述的一种化学液处理回收装置，其特征在于：所述警示灯(27)与液位传感器(26)电性连接。

5.根据权利要求1所述的一种化学液处理回收装置，其特征在于：所述第一容器(12)与第二容器(14)内部结构均设置为一样。

6.根据权利要求1所述的一种化学液处理回收装置，其特征在于：所述第一滤网(13)底端两侧设置有卡块(22)，所述卡块(22)设置在所述卡槽(23)内部，卡块(22)与卡槽(23)可活动连接。

7.根据权利要求1所述的一种化学液处理回收装置，其特征在于：所述进液装置(2)两侧设置有凹槽(3)，所述凹槽(3)内部设置有螺栓(4)，螺栓(4)穿过所述凹槽(3)与所述预处理罐(1)相连，所述进液装置(2)底部设置为过滤网格。

8.根据权利要求1所述的一种化学液处理回收装置，其特征在于：所述第一容器(12)和第二容器(14)底端设置的所述导流板(24)设置为锥形样式。

9.根据权利要求1所述的一种化学液处理回收装置，其特征在于：所述第一容器(12)和第二容器(14)顶部设置的密封垫(21)与罐盖(19)相适配。

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