CN214560050U - 一种抛光垫双面修整装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种抛光垫双面修整装置，包括操作台，操作台的上表面安装有固定架，固定架上设置有传动丝杆，传动丝杆的一端通过联轴器连接在驱动电机的输出轴上，传动丝杆螺纹连接有横向移动滑座，横向移动滑座的上端嵌在固定架上，横向移动滑座的下端连接有抛光垫双面修整机构，固定架的侧面还安装有抛光垫装夹机构。本实用新型的抛光垫双面修整装置，通过第一装夹板和第二装夹板将抛光垫固定在装夹基座上，可为抛光垫修整工作提供充分的保障，通过旋转且横向移动的上修整盘和下修整盘可对抛光垫进行充分的修整，提高抛光垫的修整效率。

Description

一种抛光垫双面修整装置

技术领域

本实用新型涉及抛光垫技术领域，具体为一种抛光垫双面修整装置。

背景技术

在硅片进行抛光工艺的过程中，抛光头上的硅片与贴附在旋转的下定盘上的抛光垫表面接触，硅片与抛光垫之间使用的抛光浆料和化学品等会研磨抛光垫和硅片，在抛光浆料与化学品的化学反应及机械加压引起的物理反应的共同作用下，硅片表面被抛光，但是抛光垫表面形态会逐渐变得凹凸不平，因此需要对抛光垫进行修整，目前在对抛光垫进行修整时，多为对抛光垫单面进行修整，修整好一面后再对抛光垫的另一面进行修整，不能对抛光垫的双面同时进行修整，使得抛光垫修整效率低下。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种抛光垫双面修整装置，通过第一装夹板和第二装夹板将抛光垫固定在装夹基座上，可为抛光垫修整工作提供充分的保障，通过旋转且横向移动的上修整盘和下修整盘可对抛光垫进行充分的修整，提高抛光垫的修整效率，可以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种抛光垫双面修整装置，包括操作台，所述操作台的上表面安装有固定架，所述固定架上设置有传动丝杆，所述传动丝杆的两端均通过轴承安装在固定架上且传动丝杆的一端通过联轴器连接在驱动电机的输出轴上，所述驱动电机安装在固定架上，所述传动丝杆螺纹连接有横向移动滑座，所述横向移动滑座的上端嵌在固定架上，所述横向移动滑座的下端连接有抛光垫双面修整机构，所述固定架的侧面还安装有抛光垫装夹机构，所述抛光垫装夹机构固定抛光垫；

所述抛光垫双面修整机构包括横移框架、支撑基座、双轴电机、第一上皮带轮、上传送皮带、第二上皮带轮、上修整盘、第一下皮带轮、下传送皮带、第二下皮带轮和下修整盘，所述横移框架连接在横向移动滑座上，所述横移框架通过支撑基座安装有双轴电机，所述双轴电机的双轴均通过花键分别安装有第一上皮带轮和第一下皮带轮，所述第一上皮带轮通过上传送皮带与第二上皮带轮连接，所述第二上皮带轮上安装有上修整盘，所述第一下皮带轮通过下传送皮带与第二下皮带轮连接，所述第二下皮带轮上安装有下修整盘；

所述抛光垫装夹机构包括装夹基座、螺柱、升降座、第一装夹板和第二装夹板，所述装夹基座安装在固定架的侧面，所述装夹基座上安装有螺柱，螺柱的上端安装有手柄，所述螺柱螺纹连接有升降座，所述升降座嵌在固定架的侧面上，所述升降座上连接有第一装夹板和第二装夹板，所述第一装夹板和第二装夹板对称分布。

优选的，所述固定架的内侧端面开设有供横向移动滑座移动的条形导向槽，所述横向移动滑座与条形导向槽适配。

优选的，所述上修整盘和下修整盘分别分布在抛光垫的上方和下方且上修整盘和下修整盘均紧贴抛光垫。

优选的，所述上修整盘和下修整盘均通过双轴电机驱动在抛光垫上旋转。

优选的，所述上修整盘和下修整盘均通过驱动电机带动传动丝杆旋转而移动。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

本实用新型的抛光垫双面修整装置，通过第一装夹板和第二装夹板将抛光垫固定在装夹基座上，可为抛光垫修整工作提供充分的保障，双轴电机带动第一上皮带轮和第一下皮带轮旋转使上修整盘和下修整盘也随之旋转，通过旋转的上修整盘和下修整盘可对抛光垫的上下两面同时进行修整，驱动电机带动传动丝杆旋转使横向移动滑座、上修整盘和下修整盘随之移动，通过旋转且横向移动的上修整盘和下修整盘可对抛光垫进行充分的修整，提高抛光垫的修整效率。

附图说明

图1为本实用新型的抛光垫双面修整装置的示意图；

图2为本实用新型的抛光垫双面修整装置的局部剖面示意图；

图3为本实用新型的抛光垫双面修整机构的示意图；

图4为本实用新型的图2中的A处放大图；

图5为本实用新型的升降座上设置第一装夹板和第二装夹板的俯视图。

图中：1、操作台；2、固定架；21、传动丝杆；3、驱动电机；4、横向移动滑座；5、抛光垫双面修整机构；51、横移框架；52、支撑基座；53、双轴电机；54、第一上皮带轮；55、上传送皮带；56、第二上皮带轮；57、上修整盘；58、第一下皮带轮；59、下传送皮带；510、第二下皮带轮；511、下修整盘；6、抛光垫装夹机构；61、装夹基座；62、螺柱；621、手柄；63、升降座；64、第一装夹板；65、第二装夹板。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参阅图1-图2，一种抛光垫双面修整装置，包括操作台1，操作台1的上表面安装有固定架2，固定架2上设置有传动丝杆21，传动丝杆21的两端均通过轴承安装在固定架2上且传动丝杆21的一端通过联轴器连接在驱动电机3的输出轴上，驱动电机3安装在固定架2上，传动丝杆21螺纹连接有横向移动滑座4，横向移动滑座4的上端嵌在固定架2上，固定架2的内侧端面开设有供横向移动滑座4移动的条形导向槽，横向移动滑座4与条形导向槽适配，抛光垫在修整的过程中，驱动电机3带动传动丝杆21旋转，传动丝杆21在旋转的过程中可使横向移动滑座4在固定架2上横向移动，横向移动滑座4移动可使上修整盘57和下修整盘511也随之移动，通过旋转且横向移动的上修整盘57和下修整盘511可对抛光垫进行充分的修整，提高抛光垫的修整效率，横向移动滑座4的下端连接有抛光垫双面修整机构5，固定架2的侧面还安装有抛光垫装夹机构6，抛光垫装夹机构6固定抛光垫。

参阅图3，抛光垫双面修整机构5包括横移框架51、支撑基座52、双轴电机53、第一上皮带轮54、上传送皮带55、第二上皮带轮56、上修整盘57、第一下皮带轮58、下传送皮带59、第二下皮带轮510和下修整盘511，横移框架51连接在横向移动滑座4上，横移框架51通过支撑基座52安装有双轴电机53，双轴电机53的双轴均通过花键分别安装有第一上皮带轮54和第一下皮带轮58，第一上皮带轮54通过上传送皮带55与第二上皮带轮56连接，第二上皮带轮56上安装有上修整盘57，第一下皮带轮58通过下传送皮带59与第二下皮带轮510连接，第二下皮带轮510上安装有下修整盘511，上修整盘57和下修整盘511分别分布在抛光垫的上方和下方且上修整盘57和下修整盘511均紧贴抛光垫，上修整盘57和下修整盘511均通过双轴电机53驱动在抛光垫上旋转，上修整盘57和下修整盘511均通过驱动电机3带动传动丝杆21旋转而移动，抛光垫装夹后，双轴电机53带动第一上皮带轮54和第一下皮带轮58旋转，由于第一上皮带轮54通过上传送皮带55与第二上皮带轮56连接且第二上皮带轮56上安装有上修整盘57，第一下皮带轮58通过下传送皮带59与第二下皮带轮510连接且第二下皮带轮510上安装有下修整盘511，因此，第一上皮带轮54和第一下皮带轮58在旋转的过程中可使上修整盘57和下修整盘511也随之旋转，通过旋转的上修整盘57和下修整盘511可对抛光垫的上下两面同时进行修整，使抛光垫修整效率高。

参阅图4-图5，抛光垫装夹机构6包括装夹基座61、螺柱62、升降座63、第一装夹板64和第二装夹板65，装夹基座61安装在固定架2的侧面，装夹基座61上安装有螺柱62，螺柱62的上端安装有手柄621，螺柱62螺纹连接有升降座63，升降座63嵌在固定架2的侧面上，升降座63上连接有第一装夹板64和第二装夹板65，第一装夹板64和第二装夹板65对称分布，将抛光垫放置在装夹基座61上，手柄621带动螺柱62旋转，螺柱62在旋转的过程中可使升降座63在固定架2上竖直下降，升降座63下降可使第一装夹板64和第二装夹板65也随之下降，通过第一装夹板64和第二装夹板65将抛光垫固定在装夹基座61上，可为抛光垫修整工作提供充分的保障。

综上所述，本实用新型的抛光垫双面修整装置，通过第一装夹板64和第二装夹板65将抛光垫固定在装夹基座61上，可为抛光垫修整工作提供充分的保障，双轴电机53带动第一上皮带轮54和第一下皮带轮58旋转使上修整盘57和下修整盘511也随之旋转，通过旋转的上修整盘57和下修整盘511可对抛光垫的上下两面同时进行修整，驱动电机3带动传动丝杆21旋转使横向移动滑座4、上修整盘57和下修整盘511随之移动，通过旋转且横向移动的上修整盘57和下修整盘511可对抛光垫进行充分的修整，提高抛光垫的修整效率。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (5)

1.一种抛光垫双面修整装置，包括操作台(1)，其特征在于：所述操作台(1)的上表面安装有固定架(2)，所述固定架(2)上设置有传动丝杆(21)，所述传动丝杆(21)的两端均通过轴承安装在固定架(2)上且传动丝杆(21)的一端通过联轴器连接在驱动电机(3)的输出轴上，所述驱动电机(3)安装在固定架(2)上，所述传动丝杆(21)螺纹连接有横向移动滑座(4)，所述横向移动滑座(4)的上端嵌在固定架(2)上，所述横向移动滑座(4)的下端连接有抛光垫双面修整机构(5)，所述固定架(2)的侧面还安装有抛光垫装夹机构(6)，所述抛光垫装夹机构(6)固定抛光垫；

所述抛光垫双面修整机构(5)包括横移框架(51)、支撑基座(52)、双轴电机(53)、第一上皮带轮(54)、上传送皮带(55)、第二上皮带轮(56)、上修整盘(57)、第一下皮带轮(58)、下传送皮带(59)、第二下皮带轮(510)和下修整盘(511)，所述横移框架(51)连接在横向移动滑座(4)上，所述横移框架(51)通过支撑基座(52)安装有双轴电机(53)，所述双轴电机(53)的双轴均通过花键分别安装有第一上皮带轮(54)和第一下皮带轮(58)，所述第一上皮带轮(54)通过上传送皮带(55)与第二上皮带轮(56)连接，所述第二上皮带轮(56)上安装有上修整盘(57)，所述第一下皮带轮(58)通过下传送皮带(59)与第二下皮带轮(510)连接，所述第二下皮带轮(510)上安装有下修整盘(511)；

所述抛光垫装夹机构(6)包括装夹基座(61)、螺柱(62)、升降座(63)、第一装夹板(64)和第二装夹板(65)，所述装夹基座(61)安装在固定架(2)的侧面，所述装夹基座(61)上安装有螺柱(62)，螺柱(62)的上端安装有手柄(621)，所述螺柱(62)螺纹连接有升降座(63)，所述升降座(63)嵌在固定架(2)的侧面上，所述升降座(63)上连接有第一装夹板(64)和第二装夹板(65)，所述第一装夹板(64)和第二装夹板(65)对称分布。

2.根据权利要求1所述的一种抛光垫双面修整装置，其特征在于：所述固定架(2)的内侧端面开设有供横向移动滑座(4)移动的条形导向槽，所述横向移动滑座(4)与条形导向槽适配。

3.根据权利要求1所述的一种抛光垫双面修整装置，其特征在于：所述上修整盘(57)和下修整盘(511)分别分布在抛光垫的上方和下方且上修整盘(57)和下修整盘(511)均紧贴抛光垫。

4.根据权利要求1所述的一种抛光垫双面修整装置，其特征在于：所述上修整盘(57)和下修整盘(511)均通过双轴电机(53)驱动在抛光垫上旋转。

5.根据权利要求1所述的一种抛光垫双面修整装置，其特征在于：所述上修整盘(57)和下修整盘(511)均通过驱动电机(3)带动传动丝杆(21)旋转而移动。

Images