CN214559982U - 一种能够调节抛光角度的抛光垫 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种能够调节抛光角度的抛光垫，包括支撑架，所述支撑架上安装有上下调节装置；所述上下调节装置包括调整气缸、加固气缸、导向板和套箍环，调整气缸固定在支撑架的上端，加固气缸设置在调整气缸两端的支撑架上，加固气缸下方的输出轴与导向板连接，导向板一端与套箍环连接，套箍环内设置抛光组件。本实用新型能够调节抛光角度的抛光垫，适用于不同高度的物料进行抛光，且加固气缸作为导向升降，减少一个气缸所承受的重力，避免损伤，提高整体使用寿命，侧轴电机带动对接板转动，从而进行侧向角度调整，可根据打磨物体进行多角度调整，提高整体的实用性，也增加抛光设备的适配性。

Description

一种能够调节抛光角度的抛光垫

技术领域

本实用新型涉及抛光垫调节技术领域，具体为一种能够调节抛光角度的抛光垫。

背景技术

化学机械抛光(CMP)技术是半导体晶片表面加工的关键技术之一，在集成电路制造过程的各阶段表面平整化工艺和大尺寸裸晶圆的表面抛光工艺中得到广泛应用。化学机械抛光的过程，主要是通过抛光垫、抛光液和所选的化学试剂的作用从晶片基板去除材料的过程。在这个过程中，抛光模板，压力盘，压力磨头，大盘等装置构成了抛光的主要场所，其中抛布贴在大盘上，抛光模板把晶圆压在抛布上面，随着抛头和大盘的旋转，晶圆表面在被抛光液作用后能够被抛布上的绒毛去除，最终实现抛光，现有的物件需要多角度进行抛光，而现在的抛光垫只能固定角度进行抛光，无法根据需要进行调整，实用性低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能够调节抛光角度的抛光垫，适用于不同高度的物料进行抛光，且加固气缸作为导向升降，减少一个气缸所承受的重力，避免损伤，提高整体使用寿命，侧轴电机带动对接板转动，从而进行侧向角度调整，可根据打磨物体进行多角度调整，提高整体的实用性，也增加抛光设备的适配性，解决了现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种能够调节抛光角度的抛光垫，包括支撑架，所述支撑架上安装有上下调节装置；

所述上下调节装置包括调整气缸、加固气缸、导向板和套箍环，调整气缸固定在支撑架的上端，加固气缸设置在调整气缸两端的支撑架上，加固气缸下方的输出轴与导向板连接，导向板一端与套箍环连接，套箍环内设置抛光组件；

所述抛光组件包括抛光电机、角度调节装置、转杆和抛光垫片，抛光电机的上方连接角度调节装置，抛光电机的下方连接转杆，转杆底端安装有抛光垫片；

所述角度调节装置包括调节电机、连接座、内接槽、对接板、连接轴杆和侧轴电机，调节电机的下方固定连接座，连接座内开设内接槽，内接槽内设置对接板，对接板的侧端连接侧轴电机，对接板的下方连接抛光电机。

优选的，所述加固气缸和导向板均设置两组，两组导向板分别固定在套箍环的两端。

优选的，所述调节电机固定在套箍环内，且调整气缸下方的输出端与调节电机顶端连接。

优选的，所述抛光垫片通过螺栓拧合固定在转杆的低端。

优选的，所述对接板插合设置在内接槽内，且对接板和连接座上均开设有容纳连接轴杆的槽孔。

优选的，所述侧轴电机的输出端与连接轴杆一端连接。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：

1、本实用新型能够调节抛光角度的抛光垫，加固气缸下方的输出轴与导向板连接，导向板一端与套箍环连接，加固气缸和导向板均设置两组，两组导向板分别固定在套箍环的两端，调节电机固定在套箍环内，且调整气缸下方的输出端与调节电机顶端连接，调整气缸可带动整个抛光组件进行高度调整，适用于不同高度的物料进行抛光，且加固气缸作为导向升降，减少一个气缸所承受的重力，避免损伤，提高整体使用寿命。

2、本实用新能够调节抛光角度的抛光垫，对接板的侧端连接侧轴电机，对接板的下方连接抛光电机，对接板插合设置在内接槽内，且对接板和连接座上均开设有容纳连接轴杆的槽孔，侧轴电机的输出端与连接轴杆一端连接，调节电机带动抛光垫片以调整气缸中心进行画圆型角度调整，侧轴电机带动对接板转动，从而进行侧向角度调整，可根据打磨物体进行多角度调整，提高整体的实用性，也增加抛光设备的适配性。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的上下调节装置与抛光组件安装示意图；

图3为本实用新型的上下调节装置结构示意图；

图4为本实用新型的抛光组件结构示意图；

图5为本实用新型的角度调节装置结构爆炸图。

图中：1、支撑架；2、上下调节装置；21、调整气缸；22、加固气缸；23、导向板；24、套箍环；3、抛光组件；31、抛光电机；32、角度调节装置；321、调节电机；322、连接座；323、内接槽；324、对接板；325、连接轴杆；326、侧轴电机；33、转杆；34、抛光垫片。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-图3，一种能够调节抛光角度的抛光垫，包括支撑架1，支撑架1上安装有上下调节装置2，上下调节装置2包括调整气缸21、加固气缸22、导向板23和套箍环24，调整气缸21固定在支撑架1的上端，加固气缸22设置在调整气缸21两端的支撑架1上，加固气缸22下方的输出轴与导向板23连接，导向板23一端与套箍环24连接，加固气缸22和导向板23均设置两组，两组导向板23分别固定在套箍环24的两端，调节电机321固定在套箍环24内，且调整气缸21下方的输出端与调节电机321顶端连接，调整气缸21可带动整个抛光组件3进行高度调整，适用于不同高度的物料进行抛光，且加固气缸22作为导向升降，减少一个气缸所承受的重力，避免损伤，提高整体使用寿命。

请参阅图4，套箍环24内设置抛光组件3，抛光组件3包括抛光电机31、角度调节装置32、转杆33和抛光垫片34，抛光电机31的上方连接角度调节装置32，抛光电机31的下方连接转杆33，转杆33底端安装有抛光垫片34，抛光垫片34通过螺栓拧合固定在转杆33的低端，抛光电机31带动抛光垫片34转动，从而进行打磨，抛光垫片34可拆卸，便于更换。

请参阅图5，角度调节装置32包括调节电机321、连接座322、内接槽323、对接板324、连接轴杆325和侧轴电机326，调节电机321的下方固定连接座322，连接座322内开设内接槽323，内接槽323内设置对接板324，对接板324的侧端连接侧轴电机326，对接板324的下方连接抛光电机31，对接板324插合设置在内接槽323内，且对接板324和连接座322上均开设有容纳连接轴杆325的槽孔，侧轴电机326的输出端与连接轴杆325一端连接，调节电机321带动抛光垫片34以调整气缸21中心进行画圆型角度调整，侧轴电机326带动对接板324转动，从而进行侧向角度调整，可根据打磨物体进行多角度调整，提高整体的实用性，也增加抛光设备的适配性。

综上所述：本实用新型能够调节抛光角度的抛光垫，加固气缸22下方的输出轴与导向板23连接，导向板23一端与套箍环24连接，加固气缸22和导向板23均设置两组，两组导向板23分别固定在套箍环24的两端，调节电机321固定在套箍环24内，且调整气缸21下方的输出端与调节电机321顶端连接，调整气缸21可带动整个抛光组件3进行高度调整，适用于不同高度的物料进行抛光，且加固气缸22作为导向升降，减少一个气缸所承受的重力，避免损伤，提高整体使用寿命，对接板324的侧端连接侧轴电机326，对接板324的下方连接抛光电机31，对接板324插合设置在内接槽323内，且对接板324和连接座322上均开设有容纳连接轴杆325的槽孔，侧轴电机326的输出端与连接轴杆325一端连接，调节电机321带动抛光垫片34以调整气缸21中心进行画圆型角度调整，侧轴电机326带动对接板324转动，从而进行侧向角度调整，可根据打磨物体进行多角度调整，提高整体的实用性，也增加抛光设备的适配性。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种能够调节抛光角度的抛光垫，包括支撑架(1)，其特征在于：所述支撑架(1)上安装有上下调节装置(2)；

所述上下调节装置(2)包括调整气缸(21)、加固气缸(22)、导向板(23)和套箍环(24)，调整气缸(21)固定在支撑架(1)的上端，加固气缸(22)设置在调整气缸(21)两端的支撑架(1)上，加固气缸(22)下方的输出轴与导向板(23)连接，导向板(23)一端与套箍环(24)连接，套箍环(24)内设置抛光组件(3)；

所述抛光组件(3)包括抛光电机(31)、角度调节装置(32)、转杆(33)和抛光垫片(34)，抛光电机(31)的上方连接角度调节装置(32)，抛光电机(31)的下方连接转杆(33)，转杆(33)底端安装有抛光垫片(34)；

所述角度调节装置(32)包括调节电机(321)、连接座(322)、内接槽(323)、对接板(324)、连接轴杆(325)和侧轴电机(326)，调节电机(321)的下方固定连接座(322)，连接座(322)内开设内接槽(323)，内接槽(323)内设置对接板(324)，对接板(324)的侧端连接侧轴电机(326)，对接板(324)的下方连接抛光电机(31)。

2.根据权利要求1所述的一种能够调节抛光角度的抛光垫，其特征在于：所述加固气缸(22)和导向板(23)均设置两组，两组导向板(23)分别固定在套箍环(24)的两端。

3.根据权利要求1所述的一种能够调节抛光角度的抛光垫，其特征在于：所述调节电机(321)固定在套箍环(24)内，且调整气缸(21)下方的输出端与调节电机(321)顶端连接。

4.根据权利要求1所述的一种能够调节抛光角度的抛光垫，其特征在于：所述抛光垫片(34)通过螺栓拧合固定在转杆(33)的低端。

5.根据权利要求1所述的一种能够调节抛光角度的抛光垫，其特征在于：所述对接板(324)插合设置在内接槽(323)内，且对接板(324)和连接座(322)上均开设有容纳连接轴杆(325)的槽孔。

6.根据权利要求1所述的一种能够调节抛光角度的抛光垫，其特征在于：所述侧轴电机(326)的输出端与连接轴杆(325)一端连接。

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