CN214559925U - 一种半导体加工用环保安全的抛光装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体加工用环保安全的抛光装置，涉及到半导体加工领域，包括装置本体，所述装置本体上固定套接有外壳，所述外壳上固定套接有玻璃挡板，所述外壳的一侧内壁上固定安装有第一固定杆和第二固定杆，第一固定杆和第二固定杆之间固定安装有两个夹持杆，两个夹持杆上滑动安装有底座。本实用新型，通过在抛光机外加设外壳，避免了在抛光机工作时产生的硅尘被抛散在空气中的可能，保护了工作人员的身体健康提高了抛光机的安全性，并且通过毛刷等结构的共同作用，使得工作人员在视察抛光机工作状态时不必要打开外壳进行观察，只需要透过玻璃挡板就能完整的观察到抛光机的工作状态，保证加工质量的稳定性。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体加工技术领域，尤其涉及一种半导体加工用环保安全的抛光装置。
背景技术
半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，且常见材料包含有硅、锗、砷化镓，硅是各种半导体材料应用中最具有影响力的一种，在半导体的加工中，需要将硅片进行抛光后才能使用，而抛光机就是进行硅片抛光的机器。
现有技术中，抛光机一般为了方便操作就直接裸露在空气中，这就导致在对硅片进行抛光的过程中，会产生大量的硅粉，而这些硅粉在抛光机的作用下会抛散在空气中，并且会被工作人员吸入到身体里，长时间的吸入硅尘会导致人体患上尘肺病，严重损害了工作人员的身体健康，因此需要一种半导体加工用环保安全的抛光装置来满足人们的需求。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体加工用环保安全的抛光装置，以解决上述背景技术中提出的硅粉在抛光机的作用下会抛散在空气中，并且会被工作人员吸入到身体里，严重损害了工作人员的身体健康的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体加工用环保安全的抛光装置，包括装置本体，所述装置本体上固定套接有外壳，所述外壳上固定套接有玻璃挡板，所述外壳的一侧内壁上固定安装有第一固定杆和第二固定杆，第一固定杆和第二固定杆之间固定安装有两个夹持杆，两个夹持杆上滑动安装有底座，底座上固定安装有保护板，保护板上固定安装有毛刷，毛刷与玻璃挡板相接触，所述外壳的内壁上固定安装有电机，电机上固定套接有第一连动杆，第一连动杆上转动套接有第二连动杆，第二连动杆上固定套接有安装轴，安装轴固定安装在底座上。
优选的，所述底座的底部固定安装有轮轴，轮轴上转动套接有锲形滑轮。
优选的，所述轮轴上固定安装有定位板，定位板与锲形滑轮相接触。
优选的，所述外壳的一侧内壁上开设有锲形滑槽，锲形滑轮滑动安装在锲形滑槽内。
优选的，所述第一连动杆和第二连动杆上转动套接有同一个连接轴，连接轴的两端均固定安装有限位板。
优选的，所述保护板上固定安装有滑动块，滑动块滑动安装在两个夹持杆之间。
优选的，所述外壳上开设有观察孔，玻璃挡板固定套接在观察孔内。
本实用新型的有益效果是：
本实用新型中，通过在抛光机外加设外壳，在抛光机在进行工作时，其产生的硅尘可以被外壳所挡住，避免了在抛光机工作时产生的硅尘被抛散在空气中的可能，进而避免了工作人员吸入硅尘，保护了工作人员的身体健康，提高了抛光机的安全性。
本实用新型中，通过毛刷等结构的共同作用，使得工作人员在视察抛光机工作状态时不必要打开外壳进行观察，只需要透过玻璃挡板就能完整的观察到抛光机的工作状态，同时毛刷也避免了玻璃挡板被硅尘覆盖，保证了工作人员的视野清晰，使得工作人员能确保抛光机的加工进程，进而保证加工质量的稳定性。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种半导体加工用环保安全的抛光装置的结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种半导体加工用环保安全的抛光装置的部分剖视结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种半导体加工用环保安全的抛光装置中连动杆的结构示意图；
图4为本实用新型提出的一种半导体加工用环保安全的抛光装置中锲形滑轮的剖视结构示意图。
图中：1、装置本体；2、外壳；3、玻璃挡板；4、第一固定杆；5、第二固定杆；6、夹持杆；7、电机；8、第一连动杆；9、第二连动杆；10、底座；11、安装轴；12、连接轴；13、限位板；14、毛刷；15、滑动块；16、保护板；17、轮轴；18、锲形滑轮；19、保护板；20、锲形滑槽；21、观察孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
参照图1-4，一种半导体加工用环保安全的抛光装置，包括装置本体1，装置本体1上固定套接有外壳2，外壳2上固定套接有玻璃挡板3，外壳2的一侧内壁上固定安装有第一固定杆4和第二固定杆5，第一固定杆4和第二固定杆5之间固定安装有两个夹持杆6，两个夹持杆6上滑动安装有底座10，底座10上固定安装有保护板16，保护板16上固定安装有毛刷14，毛刷14与玻璃挡板3相接触，外壳2的内壁上固定安装有电机7，电机7上固定套接有第一连动杆8，第一连动杆8上转动套接有第二连动杆9，第二连动杆9上固定套接有安装轴11，安装轴11固定安装在底座10上，装置本体1启动后，其对硅片进行加工产生的硅尘会被外壳2挡住，使其不会飘散在空气中，并且工作人员可以通过观察孔21隔着玻璃挡板3观察装置本体1的工作状态，在玻璃挡板3上沾有硅尘后，电机7启动带动第一连动杆8转动，而通过第一连动杆8的活动带动第二连动杆9的活动，进而第二连动杆9来回活动带动底座10来回活动，进而带动保护板16和毛刷14来回刷动，将粘在玻璃挡板3内侧的硅尘全部刷去，保证了工作人员的实现不会收到遮挡。
本实用新型中，底座10的底部固定安装有轮轴17，轮轴17上转动套接有锲形滑轮18，轮轴17用于支撑锲形滑轮18转动。
本实用新型中，轮轴17上固定安装有定位板19，定位板19与锲形滑轮18相接触，定位板19用于支撑锲形滑轮18，避免锲形滑轮18从轮轴17上脱落。
本实用新型中，外壳2的一侧内壁上开设有锲形滑槽20，锲形滑轮18滑动安装在锲形滑槽20内，通过锲形滑轮18和锲形滑槽20之间的相互作用保证底座10的滑动稳定性，避免底座10掉落。
本实用新型中，第一连动杆8和第二连动杆9上转动套接有同一个连接轴12，连接轴12的两端均固定安装有限位板13，通过限位板13确保连接轴12不会从第一连动杆8和第二连动杆9上脱落。
本实用新型中，保护板16上固定安装有滑动块15，滑动块15滑动安装在两个夹持杆6之间，通过两个夹持杆6与滑动块15的相互作用控制保护板16不会在滑动中发生偏移，导致毛刷14不能将玻璃挡板3内侧的硅尘全部刷去，保证了工作人员内的视线清晰。
本实用新型中，外壳2上开设有观察孔21，玻璃挡板3固定套接在观察孔21内，工作人员通过玻璃挡板3和观察孔21观察装置本体1的工作进程，不仅能掌握抛光机的工作状态，同时能保证抛光产生的硅尘不会随着空气进入工作人员的工作空间，导致工作人员患病。
本实用新型工作原理：
在装置本体1启动后，其对硅片进行加工产生的硅尘会被外壳2挡住，使其不会飘散在空气中，并且工作人员可以通过观察孔21隔着玻璃挡板3观察装置本体1的工作状态，在玻璃挡板3上沾有硅尘后，电机7启动带动第一连动杆8转动，而通过第一连动杆8的活动带动第二连动杆9的活动，进而第二连动杆9来回活动带动底座10来回活动，进而带动保护板16和毛刷14来回刷动，将粘在玻璃挡板3内侧的硅尘全部刷去，保证了工作人员的实现不会收到遮挡，其中，连接轴12用于连接第一连动杆8和第二连动杆9，并使得两者可以自由转动，限位板13用于防止连接轴12从第一连动杆8和第二连动杆9上脱落，造成毛刷14工作的停止，滑动块15用于控制毛刷14和保护板16的滑动方向，防止两者在滑动过程中发生偏移，通过锲形滑轮18和锲形滑槽20之间的相互作用保证底座10的滑动稳定性，避免底座10掉落。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种半导体加工用环保安全的抛光装置，包括装置本体（1），其特征在于：所述装置本体（1）上固定套接有外壳（2），所述外壳（2）上固定套接有玻璃挡板（3），所述外壳（2）的一侧内壁上固定安装有第一固定杆（4）和第二固定杆（5），第一固定杆（4）和第二固定杆（5）之间固定安装有两个夹持杆（6），两个夹持杆（6）上滑动安装有底座（10），底座（10）上固定安装有保护板（16），保护板（16）上固定安装有毛刷（14），毛刷（14）与玻璃挡板（3）相接触，所述外壳（2）的内壁上固定安装有电机（7），电机（7）上固定套接有第一连动杆（8），第一连动杆（8）上转动套接有第二连动杆（9），第二连动杆（9）上固定套接有安装轴（11），安装轴（11）固定安装在底座（10）上。
2.根据权利要求1所述的一种半导体加工用环保安全的抛光装置，其特征在于：所述底座（10）的底部固定安装有轮轴（17），轮轴（17）上转动套接有锲形滑轮（18）。
3.根据权利要求2所述的一种半导体加工用环保安全的抛光装置，其特征在于：所述轮轴（17）上固定安装有定位板（19），定位板（19）与锲形滑轮（18）相接触。
4.根据权利要求1所述的一种半导体加工用环保安全的抛光装置，其特征在于：所述外壳（2）的一侧内壁上开设有锲形滑槽（20），锲形滑轮（18）滑动安装在锲形滑槽（20）内。
5.根据权利要求1所述的一种半导体加工用环保安全的抛光装置，其特征在于：所述第一连动杆（8）和第二连动杆（9）上转动套接有同一个连接轴（12），连接轴（12）的两端均固定安装有限位板（13）。
6.根据权利要求1所述的一种半导体加工用环保安全的抛光装置，其特征在于：所述保护板（16）上固定安装有滑动块（15），滑动块（15）滑动安装在两个夹持杆（6）之间。
7.根据权利要求1所述的一种半导体加工用环保安全的抛光装置，其特征在于：所述外壳（2）上开设有观察孔（21），玻璃挡板（3）固定套接在观察孔（21）内。
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