CN214544887U - 一种消除残留静电的设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体元器件静电消除设备领域，具体涉及一种消除残留静电的设备，包括：底座，其上设有可滑动部件，所述可滑动部件可沿预设方向来回滑动；静电传导组件，包括固定板和设置在所述固定板上的静电传导件；所述固定板固定在所述可滑动部件上，通过所述可滑动部件来回滑动控制静电传导件与待消电半导体元器件的相对位置。可滑动部件可在底座上来回滑动，进而带动固定在可滑动部件上的静电传导组件来回滑动，最终实现调整静电传导组件与待消电半导体元器件的相对位置，并不需要依靠调整设备来改变静电传导组件与待消电半导体元器件的相对位置，可大大增强设备的适用性。

Description

一种消除残留静电的设备

技术领域

本实用新型涉及半导体元器件静电消除设备领域，具体涉及一种消除残留静电的设备。

背景技术

随着电子产品的高速发展，PCB板的种类越来越多，各个生产商在生产PCB板时的工序也是各不相同，大多为磨板、贴膜、曝光、显影、电镀和褪膜，然后再进行测试。

这一系列生产工序之后，PCB板在堆叠过程中就可能附着了大量的静电，且分布不均匀，部分区域的静电可高达6KV。因为板与板之间的吸合紧密，操作员拿取PCB板时也是戴手套，导致静电无法释放掉。

当在进行电性能测试的过程中，这些携带了大量静电的PCB板可能会在压合测试过程中，通过开关卡释放到大地，从而导致开关卡上的敏感芯片受到能量的冲击，甚至会出现永久性的击穿而损坏,最终导致机器停机维修，影响测试效率和产能。

现有的静电消除设备对诸如待消除静电的PCB板之类的待消电半导体元器件表面的静电消除过程中，在与待消电半导体元器件接触时，通常需要移动静电消除设备的位置来调整与待消电半导体元器件的距离，以使静电消除设备与待消电半导体元器件相接触。在需要消除不同厚度的待消电半导体元器件上的静电时，需要不断调整静电消除设备的位置，操作繁琐，且对于周边空间区域较小的待消除静电设备，可能导致没有足够的空间供静电消除设备移动，从而无法对待消电半导体元器件消除静电，导致静电消除设备的适用性不强。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中静电消除设备的适用性不强的缺陷，从而提供一种消除残留静电的设备，包括：

底座，其上设有可滑动部件，所述可滑动部件可沿预设方向来回滑动；

静电传导组件，包括固定板和设置在所述固定板上的静电传导件；

所述固定板固定在所述可滑动部件上，通过所述可滑动部件来回滑动控制静电传导件与待消电半导体元器件的相对位置。

优选地，所述可滑动部件包括：

I字型通道，设置在所述底座上；

滑动件，可滑动地设置在所述I字型通道内，并与所述固定板固定连接。

优选地，还包括夹持部，所述夹持部上设置有容纳所述固定板的第一容纳槽，所述夹持部与所述滑动件固定连接。

优选地，还包括转接板，所述夹持部和所述滑动件均与所述转接板固定连接。

优选地，所述夹持部上与所述第一容纳槽相反的一侧设有第二容纳槽，所述转接板呈L字型，所述滑动件与所述转接板的其一侧壁固定连接，所述夹持部通过第二容纳槽配合紧固件与转接板的另一侧壁固定连接。

优选地，所述底座呈L字型，所述可滑动部件设置在所述底座的其一侧壁上，另一侧壁上固定有磁性部件。

优选地，还包括驱动装置，所述驱动装置与所述可滑动部件固定连接。

优选地，还包括压力传感器，所述压力传感器设置在所述固定板上，以检测所述固定板与所述待消电半导体元器件的作用力。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的消除残留静电的设备,可滑动部件可在底座上来回滑动，进而带动固定在可滑动部件上的静电传导组件来回滑动，最终实现调整静电传导组件与待消电半导体元器件的相对位置，并不需要依靠调整设备来改变静电传导组件与待消电半导体元器件的相对位置，可大大增强设备的适用性。

2.本实用新型提供的消除残留静电的设备,采用接触式消除静电，静电传导件通过导线可以瞬间将静电导入大地，从而有效的消除静电，且消除静电的方式不受静电分布的影响，也不受PCB板上绝缘区域和导电区域的影响。

在测试时，载有7.6KV静电的PCB板，经过静电传导件后瞬间就降低到130V了。这对测试区域的板卡也起到了保护作用。

3.本实用新型提供的消除残留静电的设备,静电刷的工作不需要供气，也不需要电源，安装方便、安全可靠。不需要清洁灰尘，刷毛材质坚韧，持久耐用，成本上也远远低于静电泵的价格。

4.强磁铁可产生局部磁场，从而吸收空间区域悬浮的静电粉尘，也能达到辅助消除静电的作用。强磁铁吸附静电粉尘后，可以直接通过导线把静电导向大地。并且，强磁铁设置在PCB板下方，当PCB板滑过的瞬间，因为距离很近，所以可以吸附部分缺陷PCB板上掉落的铁屑等金属物。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型消除残留静电的设备的一种结构示意图；

图2为本实用新型消除残留静电的设备的另一种结构示意图；

图3为本实用新型消除残留静电的设备的又一种结构示意图；

图4为本实用新型消除残留静电的设备去掉端盖和静电传导组件的结构示意图；

图5为本实用新型消除残留静电的设备去掉端盖、导线和静电传导组件的结构示意图。

附图标记说明：

10、设备；101、底座；1011、I字型通道；102、磁性部件；103、转接板；1031、滑动件；104、夹持部；1041、端盖；1042、夹持本体；1043、第一容纳槽；1044、第二容纳槽；1045、紧固件；105、静电传导组件；1051、静电传导件；1052、固定板；106、导线；1061、导电转接件。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

很多半导体元器件在制造过程中会存在大量的静电，例如印刷电路板(PCB板)、晶体管等。静电的存在会导致很多不良问题，例如PCB板在测试过程中，静电会导致测试机器的开关卡损坏。

目前有的测试机器采用静电泵来消除静电，静电泵以与水平呈45度、距离被测PCB板10CM的形式安装，静电泵在工作中，通过电离技术产生大量的正负静电荷来中和PCB板上的静电，一般需要2.5秒的消散时间才能达到正常离子平衡度，从而减少对机器的开关卡的损坏。

同时，也有采用接触导电的形式来消除静电。但这类静电消除设备在面对不同待消电半导体元器件、不同厚度的待消电半导体元器件时，需要来回移动静电消除设备的位置来调整与待消电半导体元器件的相对距离，这导致静电消除设备的适用性不强。下面以PCB板为例，来阐述本实施例提供的消除残留静电的设备10。

实施例1

本实施例提供了一种消除残留静电的设备，如图1-图3所示，所述消除残留静电的设备10包括底座101和静电传导组件105，底座101上设置有可在底座101上沿预设方向来回滑动的可滑动部件，静电传导组件105包括固定板1052和设置在固定板1052上的静电传导件1051。其中，预设方向可以为垂直底座101边缘方向，也可以为与底座101边缘成夹角方向，本领域技术人员可根据实际情况进行合理选择，在此不作限制。

在本实施例中，固定板1052可以为一块矩形板，静电传导件1051可以为采用超导体材质/碳纤维材质的静电刷，在矩形板的一端面上设置有静电刷。在一些实施例中，固定板1052也可以为多边形板，静电传导件1051也可以为柔性、毛状的导电材质。

固定板1052固定在可滑动部件上，可滑动部件在底座101上来回滑动，进而驱动固定板1052和固定板1052上的静电传导件1051朝向或者远离待消电半导体元器件(如PCB板)运动，即通过可滑动部件来调整静电传导件1051与PCB板的相对位置。

在上述实施例中，可滑动部件可在底座101上来回滑动，进而带动固定在可滑动部件上的静电传导组件105来回滑动，最终实现调整静电传导组件105与待消电半导体元器件的相对位置，并不需要依靠调整设备10来改变静电传导组件105与待消电半导体元器件的相对位置，可大大增强设备10的适用性。

如图1-图3所示，在本实施例中，可滑动部件包括I字型通道1011和可滑动地设置在I字型通道1011内的滑动件1031，I字型通道1011设置在底座101上，滑动件1031可与固定板1052固定连接。滑动件1031可以为销钉、螺钉等，滑动件1031可在I字型通道1011内来回滑动，进而带动静电传导组件105沿通道方向来回运动，以调整静电传导件1051与PCB板的相对位置。

在一些实施例中，可滑动部件也可以为滑轨和滑块、伸缩气缸等运动机构。

为了增强设备10在不同环境下的适用性，如图1-图5所示，设备10还包括夹持部104，夹持部104上设置有容纳固定板1052的第一容纳槽1043，固定板1052通过第一容纳槽1043镶嵌在夹持部104上，夹持部104与滑动件1031固定连接，即固定板1052通过夹持部104与滑动件1031固定连接。

可以采用固定板1052与第一容纳槽1043过盈配合或紧固装置的形式将固定板1052可拆卸地固定在夹持部104上，在静电传导组件105出现损坏或者需要使用其他材质的静电毛刷时，可将静电传导组件105从夹持部104上取下进行更换。

为了进一步增强设备10的适用性，如图1-图5所示，还包括转接板103，夹持部104和滑动件1031均与转接板103固定连接，转接板103可以呈T字型、L字型或倒U字型等，可以通过更换转接板103来调节静电传导组件105与待消电半导体元器件(未示出)的相对位置。

夹持部104可以为长方体、正方体或棱柱等，在本实施例中，转接板104呈L字型、夹持部104为长方体，夹持部104上与第一容纳槽1043相反的一侧设有第二容纳槽1044。滑动件1031与转接板103的其一侧壁固定连接，夹持部104通过第二容纳槽1044配合紧固件1045与转接板103的另一侧壁固定连接。在一些实施例中，转接件103也可以通过销钉、螺钉等固定方式可拆卸地固定在夹持部104上。

如图1-图5所示，夹持部104包括夹持本体1042和端盖1041，夹持本体1042具有通孔(即第一容纳槽1043和第二容纳槽1044贯穿夹持本体1042)，夹持本体1042的两端设置有端盖1041，取下端盖1041后，紧固件1045可通过夹持部104的两端进入到第二容纳槽1044内。

底座101可以呈L字型或倒T字型。如1-图5所示，在本实施例中，底座101呈L字型，I字型通道和滑动件1031(即可滑动部件)设置在底座101的其一侧壁上，底座101的另一侧壁上固定有磁性部件102，例如可以通过螺钉、销钉、胶水或焊接等形式固定在底座101的另一侧壁上，磁性部件102可以为圆磁铁(强磁铁)或电磁铁等。底座101可通过磁性部件102方便地固定，例如固定在PCB板的测试机器上。从而无需在测试机器的外壳上钻孔安装螺丝，拆装非常方便、强磁永久且实用性广泛。并且，底座101上可固定多个强磁铁，例如三个、四个或五个等。

在本实施例中，底座101上固定有三个强磁铁。三个强磁铁可产生局部磁场，从而吸收空间区域悬浮的静电粉尘，也能达到辅助消除静电的作用。强磁铁吸附静电粉尘后，可以直接通过导线把静电导向大地。并且，三个强磁铁设置在PCB板下方，当PCB板滑过的瞬间，因为距离很近，所以可以吸附部分缺陷PCB板上掉落的铁屑等金属物。

如图1-图5所示，还包括导线106和导电转接件1061，导电转接件1061设置在夹持本体1042上，导线106与导电转接件1061连接。当静电传导件1052与带有静电的PCB板接触时，静电传导件1052可将静电经导电转接件1061和导线106传导至大地。

本实施例所提供的设备10还可以包括驱动装置(未示出)，驱动装置可与可滑动部件固定连接，例如伸缩气缸与滑动件1031连接、电机与滑动件1031连接。通过设置驱动装置，使静电传导组件105与PCB板相对位置的调整实现自动化。

本实施例所提供的设备10还可以包括压力传感器(未示出)，压力传感器可设置在固定板1052上，从而用于检测固定板1052与PCB板的作用力，防止固定板1052与PCB板之间的作用力过大，对PCB板造成损害。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (8)

1.一种消除残留静电的设备，其特征在于，包括：

底座(101)，其上设有可滑动部件，所述可滑动部件可沿预设方向来回滑动；

静电传导组件(105)，包括固定板(1052)和设置在所述固定板(1052)上的静电传导件(1051)；

所述固定板(1052)固定在所述可滑动部件上，通过所述可滑动部件来回滑动控制静电传导件(1051)与待消电半导体元器件的相对位置。

2.如权利要求1所述的消除残留静电的设备，其特征在于，所述可滑动部件包括：

I字型通道(1011)，设置在所述底座(101)上；

滑动件(1031)，可滑动地设置在所述I字型通道(1011)内，并与所述固定板(1052)固定连接。

3.如权利要求2所述的消除残留静电的设备，其特征在于，还包括夹持部(104)，所述夹持部(104)上设置有容纳所述固定板(1052)的第一容纳槽(1043)，所述夹持部(104)与所述滑动件(1031)固定连接。

4.如权利要求3所述的消除残留静电的设备，其特征在于，还包括转接板(103)，所述夹持部(104)和所述滑动件(1031)均与所述转接板(103)固定连接。

5.如权利要求4所述的消除残留静电的设备，其特征在于，所述夹持部(104)上与所述第一容纳槽(1043)相反的一侧设有第二容纳槽(1044)，所述转接板(103)呈L字型，所述滑动件(1031)与所述转接板(103)的其一侧壁固定连接，所述夹持部(104)通过第二容纳槽(1044)配合紧固件(1045)与转接板(103)的另一侧壁固定连接。

6.如权利要求1-5任一所述的消除残留静电的设备，其特征在于，所述底座(101)呈L字型，所述可滑动部件设置在所述底座(101)的其一侧壁上，另一侧壁上固定有磁性部件(102)。

7.如权利要求1-5任一所述的消除残留静电的设备，其特征在于，还包括驱动装置，所述驱动装置与所述可滑动部件固定连接。

8.如权利要求1-5任一所述的消除残留静电的设备，其特征在于，还包括压力传感器，所述压力传感器设置在所述固定板(1052)上，以检测所述固定板与所述待消电半导体元器件的作用力。

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