CN214529311U - 一种电化学沉积槽药量控制装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种电化学沉积槽药量控制装置，它包括：药液浓度分析仪，药液浓度分析仪与槽体相连接，且从槽体接收药液进行浓度分析；药水供应组件，药水供应组件包括用于检测药液量的称重传感器，还包括气动隔膜泵以输送药水；药水添加组件，药水添加组件连接在药水供应组件和槽体之间，药水添加组件包括加液桶和连接在加液桶上的进液管路和出液管路，进液管路连接气动隔膜泵，出液管路连接槽体。由于设置有药液浓度分析仪，从而可以实时从槽体中取出药液进行浓度分析，当药液浓度不够时通过药水供应组件和药水添加组件向槽体中加入药液，且药水供应组件中的称重传感器可以控制加药量。使得药液浓度控制更为实时。

Description

一种电化学沉积槽药量控制装置

技术领域

本实用新型属于平板玻璃行业，涉及电化学沉积槽药量控制装置，用于平板玻璃的电化学沉积工艺。

背景技术

目前，公知的液晶显示行业，电化学沉积药液量控制方式多为人工取样口取样，通过实验室滴定测试，进而调整药水补加配比。此种方式，人工介入工作过多，危险性较高，且分析完毕后，再调整药液比例，存在延时。特别在全自动运行时，严重影响产能。

实用新型内容

本实用新型目的是要提供一种电化学沉积槽药量控制装置，解决了如何更方便地控制药液浓度的问题。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

本实用新型提供了一种电化学沉积槽药量控制装置，它包括：

药液浓度分析仪，所述药液浓度分析仪与槽体相连接，且从所述槽体接收药液进行浓度分析；

药水供应组件，所述药水供应组件包括用于检测药液量的称重传感器，还包括气动隔膜泵以输送药水；

药水添加组件，所述药水添加组件连接在所述药水供应组件和所述槽体之间，所述药水添加组件包括加液桶和连接在所述加液桶上的进液管路和出液管路，所述进液管路连接所述气动隔膜泵，所述出液管路连接所述槽体。

优选地，所述加液桶内设置有液位计，所述进液管路连接在所述加液桶底部。

优选地，所述出液管路中设置有气动阀，所述气动阀的出液端设置有节流片。

优选地，它还包括溢流管路，所述溢流管路连接在所述加液桶顶部和所述气动阀出液端之间。

优选地，所述进液管路的出口设置有分流器。

优选地，它还包括控制器，所述控制器的输入端与所述药液浓度分析仪相连接，所述控制器的输出端与所述药水添加组件以及所述药水供应组件相连接。

由于上述技术方案运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：

本实用新型的电化学沉积槽药量控制装置，由于设置有药液浓度分析仪，从而可以实时从槽体中取出药液进行浓度分析，当药液浓度不够时通过药水供应组件和药水添加组件向槽体中加入药液，使得药液浓度控制更为实时。

附图说明

后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本实用新型的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解，这些附图未必是按比例绘制的。附图中：

图1是本实用新型电化学沉积槽药量控制装置优选实施例的结构示意图；

图2是图1中药水添加组件的结构示意图；

其中，附图标记说明如下：

1、加液桶；

2、磁致伸缩液位计；

3、进液管路；

4、出液管路；

5、溢流管路；

6、分流器；

7、节流片；

8、泄压管路；

9、高液位保护传感器；

10、气动阀；

11、旁路管；

12、药液浓度分析仪；

13、回路；

14、药水供应组件；

15、气动隔膜泵；

16、药水添加组件；

17、称重传感器；

18、槽体。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

此外，下面所描述的本实用新型不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。

如图1所示电化学沉积槽药量控制装置，包括药液浓度分析仪12、药水供应组件14和药水添加组件16。

药液浓度分析仪12与电化学沉积槽的槽体18之间通过回路13相连接，药液浓度分析仪12从槽体18中实时提取药液进行浓度分析。

药水供应组件14中设置有称重传感器17，称重传感器17用于称重药液原料，以控制输出的药水量，并通过气动隔膜泵15将药水输送到药水添加组件16。药水添加组件16包括加液桶1和连接在加热桶1上的进液管路3与出液管路4。加液管路3连接气动隔膜泵15，出液管路4连接槽体18。

如图2所示药水添加组件16，包括加液桶1、进液管路3、出液管路4和溢流管路5。

加液桶1内设置有液位计，该液位计为磁致伸缩液位计2。磁致伸缩液位计2通过浮球随液位变化而移动来测量液位。

进液管路3的出口连接在加液桶1底部，从上方进液，从下方出液到加液桶1底部，从而在进液时不会冲击液位而影响磁致伸缩液位计2测量。进液管路3的出口还设置有分流器6，使得药液平稳进入加液桶1。

出液管路4的进口连接在加液桶1底部，出液管路4中设置有气动阀10，通过气动阀10开合而控制出液管路4开闭。气动阀10出液端设置有节流片7，利用节流片7使加液桶1内药液小流量补加进入槽体18（参见图1），可避免气动阀10直接开合而挤压管道内残留的药液继续向槽内补加，造成补加不准的问题。

溢流管路5连接在加液桶1顶部和气动阀10出液端之间，防止液位过高漫桶。溢流管路5顶部设置有泄压管路8，泄压管路8上端开放，泄压管路8能够防止持续进液造成加液桶1内憋压及排放不畅。

加液桶1侧边还设置有旁路管11，旁路管11与加液桶1相连通，从而使旁路管11中液位与加液桶1齐平。旁路管11内设置有高液位保护传感器9，防止液位超高。

通过进液管路3向加液桶1内进液，待到达设定液面高度，开启出液管路4中的气动阀10，达到设定容积后，关闭气动阀10，补液结束。

本例还包括控制器（图未示）。如图1，控制器的输入端与药液浓度分析仪12相连接，控制器的输出端与药水添加组件16以及与药水供应组件14相连接。若药液浓度不足，则信号传输至控制器，控制器控制端启动药水供应组件14，在称重传感器17的作用下，通过气动隔膜泵15输送至药水添加组件16（若加液桶1内仍有余量，则控制器控制端直接启动加液桶1补液）；后在磁致伸缩液位计2的测量下，通过药水添加组件16下方气动阀10向槽体18添加药液，通过磁致伸缩液位计2液位变化控制气动阀10开启时间从而控制补液量。而后，在槽体18内搅拌循环后，输送往药液浓度分析仪12进行再次分析比对，如需调整，则上述过程重复，从而形成药液量闭环控制。

上述实施例只为说明本实用新型的技术构思及特点，其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施，并不能以此限制本实用新型的保护范围，凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种电化学沉积槽药量控制装置，其特征在于，它包括：

药液浓度分析仪（12），所述药液浓度分析仪（12）与槽体（18）相连接，且从所述槽体（18）接收药液进行浓度分析；

药水供应组件（14），所述药水供应组件（14）包括用于检测药液量的称重传感器（17），还包括气动隔膜泵（15）以输送药水；

药水添加组件（16），所述药水添加组件（16）连接在所述药水供应组件（14）和所述槽体（18）之间，所述药水添加组件（16）包括加液桶（1）和连接在所述加液桶（1）上的进液管路（3）和出液管路（4），所述进液管路（3）连接所述气动隔膜泵（15），所述出液管路（4）连接所述槽体（18）。

2.根据权利要求1所述的电化学沉积槽药量控制装置，其特征在于：所述加液桶（1）内设置有液位计，所述进液管路（3）连接在所述加液桶（1）底部。

3.根据权利要求1所述的电化学沉积槽药量控制装置，其特征在于：所述出液管路（4）中设置有气动阀（10），所述气动阀（10）的出液端设置有节流片（7）。

4.根据权利要求3所述的电化学沉积槽药量控制装置，其特征在于：它还包括溢流管路（5），所述溢流管路（5）连接在所述加液桶（1）顶部和所述气动阀（10）出液端之间。

5.根据权利要求1所述的电化学沉积槽药量控制装置，其特征在于：所述进液管路（3）的出口设置有分流器（6）。

6.根据权利要求1所述的电化学沉积槽药量控制装置，其特征在于：它还包括控制器，所述控制器的输入端与所述药液浓度分析仪（12）相连接，所述控制器的输出端与所述药水添加组件（16）以及所述药水供应组件（14）相连接。

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