CN214500588U - 一种分子泵横向安装机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种分子泵横向安装机构，包括减震部件、第二安装底座、第二阀岛、第二分子泵、第二检漏接管和支撑件；所述减震部件设置在第二安装底座的底端上；所述第二检漏接管固定第二阀岛上；所述第二分子泵与第二阀岛固定连接；所述第二分子泵横向固定于第二安装底座上；所述支撑件固定于第二安装底座上，所述第二安装底座和第二分子泵连接，所述第二安装底座和第二阀岛连接。本实用新型将分子泵横置，降低了检漏接管到分子泵固定点的高度，明显减小了震动力矩，降低了震动对分子泵的影响。

Description

一种分子泵横向安装机构

技术领域

本实用新型涉及氦质谱检漏仪中所使用的分子泵安装领域，具体涉及一种分子泵横向安装机构。

背景技术

分子泵作为氦质谱检漏仪中的核心部件，其安全可靠的工作对仪器的性能至关重要。在实际使用中，经常会遇到与分子泵刚性连接的检漏处，会出现震动的情形。而分子泵属于高精密设备，在工作时转速高达90000r/min，即使是轻微的震动也会对分子泵产生很大的冲击。分子泵一般采用竖装的方式，在其底部设置一个减震胶垫，与其连接的阀岛上设置的检漏接管位于其固定支撑区域的外面，并且距离固定点距离较远。当检漏接管处产生震动时，由于分子泵减震面积小，震动点在支撑区域外且远离固定支撑点，会产生较大的力矩，对分子泵产生很大的影响。

如图1所示，本图为常用的分子泵安装机构，包括第一安装底座1、第一减震胶垫2、第一分子泵3、第一阀岛4和第一检漏接管5。第一分子泵3通过其底部的安装孔竖直安装在第一安装底座1上，在第一安装底座1与第一分子泵3之间设置有第一减震胶垫2进行减震。第一阀岛4固定在第一分子泵的一侧，第一检漏接管5固定在第一阀岛4的顶部。从图可以看出，当第一检漏接管5处有震动时，震动点远离第一分子泵3的固定点且震动点在支撑减震区域之外，产生的力矩较大，严重影响第一分子泵3工作时的稳定性和安全性。

鉴于上述缺陷，本实用新型创作者经过长时间的研究和实践终于获得了本实用新型。

实用新型内容

本实用新型所要解决的问题在于：如何降低检漏接管处的震动对分子泵的损害，保证分子泵安全稳定的工作，提供一种分子泵横向安装结构。

为解决以上问题，本实用新型采用的技术方案是：提供一种分子泵横向安装机构，包括减震部件、第二安装底座、第二阀岛、第二分子泵和第二检漏接管。所述减震部件安装在第二安装底座底部，所述第二检漏接管固定于第二阀岛上，所述第二分子泵与第二阀岛固定连接，所述第二分子泵横向固定于第二安装底座上，所述第二分子泵底端设置有安装孔，所述第二阀岛设置有装配孔，所述第二安装底座两侧均设置有连接孔。所述连接孔分别与安装孔和装配孔连接，所述第二安装底座和第二分子泵连接，所述第二安装底座和第二阀岛连接。

优选的，所述减震部件设置为第二减震胶垫，数量为4个，分别安装在第二安装底座四个角上，有效减小震动的同时节约了材料。

优选的，所述分子泵和阀岛与第二安装底座的连接均采用螺栓连接，使得连接更紧固。

优选的，所述阀岛对应分子泵顶端的一侧设置有台阶缺口，所述第二安装底座在台阶缺口处设置有支撑件，使得安装更为紧固，并改善了系统的受力情况。

与现有技术比较，本实用新型的有益效果在于：通过将分子泵横置，降低了检漏接管到分子泵固定点的高度，减小了震动力矩，并增加了减震支撑面积，使得震动点处于支撑区域内，再次减小了震动对分子泵的影响。

附图说明

图1为现有的分子泵安装机构的立体结构示意图；

图2为本实用新型的前侧立体结构示意图；

图3为本实用新型的后侧立体结构示意图。

附图标记：

1-第一安装底座；2-第一减震胶垫；3-第一分子泵；4-第一阀岛；5-第一检漏接管；6-第二安装底座；7-第二减震胶垫；8-支撑件；9-第二分子泵；10-第二阀岛；11-第二检漏接管。

具体实施方式

下面对本实用新型的实施例作详细说明，本实施例在以本实用新型技术方案为前提下进行实施，给出了详细的实施方式和具体的操作过程，但本实用新型的保护范围不限于下述的实施例。

实施例1：

图2和图3为本实施例的分子泵横向安装机构，本实施例的分子泵横向安装机构包括第二安装底座6、第二减震胶垫7、第二分子泵9、第二阀岛10和第二检漏接管11。第二分子泵9与第二阀岛10固定连接，第二分子泵9底部设置有安装孔，第二阀岛10顶端设置有装配孔。将第二分子泵9横置，其底部的安装孔与第二安装底座6一侧的连接孔用螺栓连接固定，第二阀岛10顶端的装配孔与第二安装底座6另一侧的连接孔用螺栓连接固定，第二阀岛10对应第二分子泵9顶端的一侧设置有台阶缺口，所述第二安装底座6在台阶缺口处安装支撑件8，所述与第二阀岛10连接的连接孔设置于支撑件8上。一般的，支撑件选择第二检漏接管11固定在第二阀岛10上，第二减震胶垫7安装在第二安装底座6的底部四角上。

在分子泵工作时，若第二检漏接管11处产生震动，震动点靠近第二分子泵9的固定点且震动点位于减震区域内，所产生力矩小，对第二分子泵9产生影响较小。并且第二阀岛10上增加了台阶缺口，在台阶缺口内装配有支撑件8，支撑件8上设置连接孔与第二阀岛10通过螺栓连接。改善了系统的受力情况，进一步减小震动对分子泵产生的不良影响。

所述仅为本实用新型的较佳实施例，对本实用新型而言仅仅是说明性的，而非限制性的。本专业技术人员理解，在本实用新型权利要求所限定的精神和范围内可对其进行改变，修改，甚至等效，都将落入本实用新型的保护范围内。

Claims (9)

1.一种分子泵横向安装机构，其特征在于：包括减震部件、第二安装底座、第二阀岛、第二分子泵、第二检漏接管和支撑件；

所述减震部件设置在第二安装底座的底端上；所述第二检漏接管固定于第二阀岛上；所述第二分子泵与第二阀岛固定连接；所述第二分子泵横向固定于第二安装底座上；所述支撑件固定于第二安装底座上。

2.根据权利要求1所述的一种分子泵横向安装机构，其特征在于：所述减震部件为第二减震胶垫。

3.根据权利要求2所述的一种分子泵横向安装机构，其特征在于：所述第二减震胶垫数量为4个，分别布置在第二安装底座的底端四角上。

4.根据权利要求1所述的一种分子泵横向安装机构，其特征在于：所述第二安装底座两侧设置有连接孔，所述连接孔的内壁设置有螺纹。

5.根据权利要求4所述的一种分子泵横向安装机构，其特征在于：所述连接孔分别设置于支撑件上和第二安装底座的外壁上。

6.根据权利要求5所述的一种分子泵横向安装机构，其特征在于：所述第二分子泵的底端设置有安装孔，所述安装孔与第二安装底座的外壁上的连接孔连接；所述第二阀岛上设置有装配孔，所述装配孔与第二安装底座的支撑件上的连接孔连接。

7.根据权利要求6所述的一种分子泵横向安装机构，其特征在于：所述安装孔和第二安装外壁上的连接孔通过螺栓连接，所述装配孔和第二安装底座的支撑件上的连接孔通过螺栓连接。

8.根据权利要求1所述的一种分子泵横向安装机构，其特征在于：所述第二阀岛上设置有台阶缺口。

9.根据权利要求8所述的一种分子泵横向安装机构，其特征在于：所述支撑件安装在台阶缺口处。

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