CN211901415U - 一种超精密测量仪器减震器 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种超精密测量仪器减震器，包括壳体，所述壳体设置为空心圆柱体结构，所述壳体侧面开设有充气螺栓孔，所述壳体顶部设置有环形压圈，所述环形压圈顶部设置有盖板，所述盖板上固定有上固定座，所述壳体一侧设置有下固定座，所述上固定座底端固定有控制气阀，所述控制气阀上设置有控制气阀螺栓孔，所述下固定座上固定有水平调节螺栓，水平调节螺栓位于控制气阀下方。本实用新型，结构简单，安全稳定，巧妙的运用气浮原理，通过控制气阀和水平调节螺栓，在减震的基础上，可不影响装置的精度，通过将盖板设置为橡胶结构，从而可进一步提高减震性能。

Description

一种超精密测量仪器减震器

技术领域

本实用新型涉及减震器技术领域，具体是一种超精密测量仪器减震器。

背景技术

气浮式减振器是一种安装在设备的底部用于减振的装置，目前市场上常用气浮式减振器则存在以下问题：设备安装之后没法调整水平问题、设备精度要求没法满足；

申请号为CN201320788491.1提出一种用于液晶面板的金相显微镜的空气减振装置，其记载所述主体为一空心圆柱体，主体侧壁顶端设有环状压圈，环状压圈顶端密 封有上盖板，主体侧壁向外凸设有第一固定块，上盖板向外凸设有第二固定块， 第一固定块与第二固定块位置对应。

虽然上述解决了水平无法调整的问题，但上述发明调节精度任然不足，为此，我们提出一种超精密测量仪器减震器。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种超精密测量仪器减震器，以解决现有技术中的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种超精密测量仪器减震器，包括壳体，所述壳体设置为空心圆柱体结构，所述壳体侧面开设有充气螺栓孔，所述壳体顶部设置有环形压圈，所述环形压圈顶部设置有盖板，所述盖板上固定有上固定座，所述壳体一侧设置有下固定座，所述上固定座底端固定有控制气阀，所述控制气阀上设置有控制气阀螺栓孔，所述下固定座上固定有水平调节螺栓，水平调节螺栓位于控制气阀下方。

优选的，所述盖板设置为橡胶结构，所述环形压圈上表面设置有橡胶垫。

优选的，所述环形压圈和壳体之间通过螺栓固定，所述盖板上设置有固定螺栓孔，所述盖板与环形压圈之间通过螺栓固定。

优选的，所述控制气阀通过充气管道与壳体连接。

优选的，所述壳体、环形压圈和盖板安装后的高度设置为145mm。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：结构简单，安全稳定，巧妙的运用气浮原理，通过控制气阀和水平调节螺栓，在减震的基础上，可不影响装置的精度，通过将盖板设置为橡胶结构，从而可进一步提高减震性能。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型的结构示意图。

图2为本实用新型的主视图。

图3为本实用新型的左视图。

图4为本实用新型的俯视图。

图中：1、壳体；2、充气螺栓孔；3、环形压圈；4、盖板；5、固定螺栓孔；6、上固定座；7、控制气阀螺栓孔；8、控制气阀；9、下固定座；10、水平调节螺栓。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型实施例中，一种超精密测量仪器减震器，包括壳体1，所述壳体1设置为空心圆柱体结构，所述壳体1侧面开设有充气螺栓孔2，所述壳体1顶部设置有环形压圈3，所述环形压圈3顶部设置有盖板4，所述盖板4上固定有上固定座6，所述壳体1一侧设置有下固定座9，所述上固定座6底端固定有控制气阀8，所述控制气阀8上设置有控制气阀螺栓孔7，所述下固定座9上固定有水平调节螺栓10，水平调节螺栓10位于控制气阀8下方，所述盖板4设置为橡胶结构，所述环形压圈3上表面设置有橡胶垫，所述环形压圈3和壳体1之间通过螺栓固定，所述盖板4上设置有固定螺栓孔5，所述盖板4与环形压圈3之间通过螺栓固定，所述控制气阀8通过充气管道与壳体1连接，所述壳体1、环形压圈3和盖板4安装后的高度设置为145mm，通过控制气阀和水平调节螺栓，在减震的基础上，可不影响装置的精度，通过将盖板设置为橡胶结构，从而可进一步提高减震性能。

本实用新型的工作原理是：本申请通过控制气阀和水平调节螺栓，在减震的基础上，可不影响装置的精度，通过将盖板设置为橡胶结构，从而可进一步提高减震性能。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种超精密测量仪器减震器，包括壳体（1），其特征在于：所述壳体（1）设置为空心圆柱体结构，所述壳体（1）侧面开设有充气螺栓孔（2），所述壳体（1）顶部设置有环形压圈（3），所述环形压圈（3）顶部设置有盖板（4），所述盖板（4）上固定有上固定座（6），所述壳体（1）一侧设置有下固定座（9），所述上固定座（6）底端固定有控制气阀（8），所述控制气阀（8）上设置有控制气阀螺栓孔（7），所述下固定座（9）上固定有水平调节螺栓（10），水平调节螺栓（10）位于控制气阀（8）下方。

2.根据权利要求1所述的一种超精密测量仪器减震器，其特征在于：所述盖板（4）设置为橡胶结构，所述环形压圈（3）上表面设置有橡胶垫。

3.根据权利要求1所述的一种超精密测量仪器减震器，其特征在于：所述环形压圈（3）和壳体（1）之间通过螺栓固定，所述盖板（4）上设置有固定螺栓孔（5），所述盖板（4）与环形压圈（3）之间通过螺栓固定。

4.根据权利要求1所述的一种超精密测量仪器减震器，其特征在于：所述控制气阀（8）通过充气管道与壳体（1）连接。

5.根据权利要求1所述的一种超精密测量仪器减震器，其特征在于：所述壳体（1）、环形压圈（3）和盖板（4）安装后的高度设置为145mm。

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