CN214458276U

CN214458276U - 一种低温真空镀膜装置

Info

Publication number: CN214458276U
Application number: CN202120241878.XU
Authority: CN
Inventors: 王平倬; 李向新
Original assignee: Shenyang Nuosi Vacuum Technology Co ltd
Current assignee: Shenyang Nuosi Vacuum Technology Co ltd
Priority date: 2021-01-28
Filing date: 2021-01-28
Publication date: 2021-10-22
Anticipated expiration: 2031-01-28

Abstract

本实用新型公开了一种低温真空镀膜装置，包括装置本体，所述装置本体顶部表面安装有镀膜室，所述镀膜室内部底端贯通开设有沉头孔，所述装置本体内部竖直安装有丝杆。本实用新型中，在镀膜室对塑料制品镀膜时，工作人员通过控制面板启动步进电机，之后步进电机带动丝杆转动，然后螺纹套在丝杆的转动下通过连接杆带动上固定座向上移动，之后使上固定座带动循环管穿过沉头孔进入到镀膜室内部，然后工作人员再通过进水管向循环管内部注入冷水，对镀膜室内部进行降温，在对塑料制品镀膜完成后，工作人员再通过相同的方式把上固定座移动到装置本体内部即可，此方式操作简单，便于提高镀膜室的工作空间，方便工作人员进行操作。

Description

一种低温真空镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种低温真空镀膜装置。

背景技术

真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。在真空沉积腔室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。真空镀膜是真空应用领域的一个重要方面，它是以真空技术为基础，利用物理或化学方法，并吸收电子束、分子束、离子束、等离子束、射频和磁控等一系列新技术，为科学研究和实际生产提供薄膜制备的一种新工艺。简单地说，在真空中把金属、合金或化合物(称靶材)进行蒸发或溅射，使其在被涂覆的物体(称基材)上凝固并沉积的方法，称为真空镀膜。

现有的技术存在以下问题：

常见的真空镀膜的被镀产品一般都是金属制品，而在真空镀膜的过程中镀膜室内的温度都比较高，部分塑料制品等不能耐受高温，容易在高温度的情况下出现变形的情况，不便于实际使用，因此工作人员通常采用水冷的方式对镀膜室内部进行降温，此方式虽然效果很好，但塑料制品镀膜毕竟较少，大部分还是金属制品镀膜，这样就会导致水冷管固定在镀膜室内部，严重影响镀膜室的空间，不利于对金属制品的镀膜。

我们为此，提出了一种低温真空镀膜装置解决上述弊端。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，常见的真空镀膜的被镀产品一般都是金属制品，而在真空镀膜的过程中镀膜室内的温度都比较高，部分塑料制品等不能耐受高温，容易在高温度的情况下出现变形的情况，不便于实际使用，因此工作人员通常采用水冷的方式对镀膜室内部进行降温，此方式虽然效果很好，但塑料制品镀膜毕竟较少，大部分还是金属制品镀膜，这样就会导致水冷管固定在镀膜室内部，严重影响镀膜室的空间，不利于对金属制品的镀膜，而提出的一种低温真空镀膜装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：一种低温真空镀膜装置，包括装置本体，所述装置本体顶部表面安装有镀膜室，所述镀膜室内部底端贯通开设有沉头孔，所述装置本体内部竖直安装有丝杆，所述丝杆外侧表面螺旋套接有螺纹套，所述螺纹套一侧通过连接杆连接有上固定座，所述上固定座顶部表面竖直安装有支撑柱，所述支撑柱顶端安装有下固定座，所述上固定座顶部表面安装有循环管，所述丝杆底端通过联轴器与步进电机输出端连接。

优选的，所述上固定座顶部表面设置有上密封垫，所述下固定座底端表面设置有下密封垫。

优选的，所述装置本体内部安装有真空泵，且真空泵一端通过导气管与镀膜室贯通连接。

优选的，所述上固定座设置有多个，且多个上固定座通过连接杆与螺纹套连接，并且每个上固定座顶部均安装有循环管，多个所述循环管通过管道贯通连接，并且其中两个循环管一端分别与进水管和出水管连接。

优选的，所述上密封垫和下密封垫与沉头孔过盈配合。

优选的，所述镀膜室表面安装有控制面板，且控制面板一端通过电源线与步进电机、真空泵电性连接，所述镀膜室表面安装有密封门，且密封门上方安装有指示灯。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是；

1、本实用新型，通过设置沉头孔、上固定座、下固定座、支撑柱、连接杆、螺纹套、丝杆和步进电机的配合使用，便于对循环管的移动，在镀膜室对塑料制品镀膜时，工作人员通过控制面板启动步进电机，之后步进电机带动丝杆转动，然后螺纹套在丝杆的转动下通过连接杆带动上固定座向上移动，之后使上固定座带动循环管穿过沉头孔进入到镀膜室内部，然后工作人员再通过进水管向循环管内部注入冷水，对镀膜室内部进行降温，在对塑料制品镀膜完成后，工作人员再通过相同的方式把上固定座移动到装置本体内部即可，此方式操作简单，便于提高镀膜室的工作空间，方便工作人员进行操作。

2、本实用新型，在上固定座和下固定座的端部设置有上密封垫和下密封垫，通过上密封垫和下密封垫便于对沉头孔的密封，从而提高镀膜室的密封性，保证镀膜室正常工作。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型提出的一种低温真空镀膜装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种低温真空镀膜装置镀膜室示意图；

图3为本实用新型提出的一种低温真空镀膜装置正视图；

图4为本实用新型提出的一种低温真空镀膜装置沉头孔示意图；

图5为本实用新型提出的一种低温真空镀膜装置支撑柱示意图；

图6为本实用新型提出的一种低温真空镀膜装置螺纹套示意图。

图例说明：

1、装置本体；2、真空泵；3、镀膜室；4、循环管；5、丝杆；6、步进电机；7、螺纹套；8、连接杆；9、下固定座；10、进水管；11、上固定座；12、密封门；13、指示灯；14、控制面板；15、沉头孔；16、上密封垫；17、下密封垫；18、支撑柱。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制；术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性；此外，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参照图1-6，一种低温真空镀膜装置，包括装置本体1，所述装置本体1顶部表面安装有镀膜室3，所述镀膜室3内部底端贯通开设有沉头孔15，所述装置本体1内部竖直安装有丝杆5，所述丝杆5外侧表面螺旋套接有螺纹套7，所述螺纹套7一侧通过连接杆8连接有上固定座11，所述上固定座11顶部表面竖直安装有支撑柱18，所述支撑柱18顶端安装有下固定座9，所述上固定座11顶部表面安装有循环管4，所述丝杆5底端通过联轴器与步进电机6输出端连接，上固定座11设置有多个，且多个上固定座11通过连接杆8与螺纹套7连接，并且每个上固定座11顶部均安装有循环管4，多个所述循环管4通过管道贯通连接，并且其中两个循环管4一端分别与进水管10和出水管连接。

本实施方案中：通过设置沉头孔15、上固定座11、下固定座9、支撑柱18、连接杆8、螺纹套7、丝杆5和步进电机6的配合使用，便于对循环管4的移动，在镀膜室3对塑料制品镀膜时，工作人员通过控制面板14启动步进电机6，之后步进电机6带动丝杆5转动，然后螺纹套7在丝杆5的转动下通过连接杆8带动上固定座11向上移动，之后使上固定座11带动循环管4穿过沉头孔15进入到镀膜室3内部，然后工作人员再通过进水管10向循环管4内部注入冷水，对镀膜室3内部进行降温，在对塑料制品镀膜完成后，工作人员再通过相同的方式把上固定座11移动到装置本体1内部即可，此方式操作简单，便于提高镀膜室3的工作空间，方便工作人员进行操作。

具体的，上固定座11顶部表面设置有上密封垫16，所述下固定座9底端表面设置有下密封垫17，装置本体1内部安装有真空泵2，且真空泵2一端通过导气管与镀膜室3贯通连接，上密封垫16和下密封垫17与沉头孔15过盈配合。

本实施方案中：通过上密封垫16和下密封垫17便于对沉头孔15的密封，从而提高镀膜室3的密封性，保证镀膜室3正常工作。

具体的，镀膜室3表面安装有控制面板14，且控制面板14一端通过电源线与步进电机6、真空泵2电性连接，所述镀膜室3表面安装有密封门12，且密封门12上方安装有指示灯13。

本实施方案中：通过设置控制面板14，便于对装置本体1内部的用电元件进行控制，控制面板14控制电路通过本领域的技术人员简单的编程即可实现，属于本领域的公知常识，仅对其进行使用，不进行改造，故不再详细描述控制方式和电路连接。

工作原理：通过设置沉头孔15、上固定座11、下固定座9、支撑柱18、连接杆8、螺纹套7、丝杆5和步进电机6的配合使用，便于对循环管4的移动，在镀膜室3对塑料制品镀膜时，工作人员通过控制面板14启动步进电机6，之后步进电机6带动丝杆5转动，然后螺纹套7在丝杆5的转动下通过连接杆8带动上固定座11向上移动，之后使上固定座11带动循环管4穿过沉头孔15进入到镀膜室3内部，然后工作人员再通过进水管10向循环管4内部注入冷水，对镀膜室3内部进行降温，在对塑料制品镀膜完成后，工作人员再通过相同的方式把上固定座11移动到装置本体1内部即可，此方式操作简单，便于提高镀膜室3的工作空间，方便工作人员进行操作，在上固定座11和下固定座9的端部设置有上密封垫16和下密封垫17，通过上密封垫16和下密封垫17便于对沉头孔15的密封，从而提高镀膜室3的密封性，保证镀膜室3正常工作。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims

1.一种低温真空镀膜装置，包括装置本体（1），其特征在于，所述装置本体（1）顶部表面安装有镀膜室（3），所述镀膜室（3）内部底端贯通开设有沉头孔（15），所述装置本体（1）内部竖直安装有丝杆（5），所述丝杆（5）外侧表面螺旋套接有螺纹套（7），所述螺纹套（7）一侧通过连接杆（8）连接有上固定座（11），所述上固定座（11）顶部表面竖直安装有支撑柱（18），所述支撑柱（18）顶端安装有下固定座（9），所述上固定座（11）顶部表面安装有循环管（4），所述丝杆（5）底端通过联轴器与步进电机（6）输出端连接。

2.根据权利要求1所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于，所述上固定座（11）顶部表面设置有上密封垫（16），所述下固定座（9）底端表面设置有下密封垫（17）。

3.根据权利要求1所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于，所述装置本体（1）内部安装有真空泵（2），且真空泵（2）一端通过导气管与镀膜室（3）贯通连接。

4.根据权利要求1所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于，所述上固定座（11）设置有多个，且多个上固定座（11）通过连接杆（8）与螺纹套（7）连接，并且每个上固定座（11）顶部均安装有循环管（4），多个所述循环管（4）通过管道贯通连接，并且其中两个循环管（4）一端分别与进水管（10）和出水管连接。

5.根据权利要求2所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于，所述上密封垫（16）和下密封垫（17）与沉头孔（15）过盈配合。

6.根据权利要求1所述的一种低温真空镀膜装置，其特征在于，所述镀膜室（3）表面安装有控制面板（14），且控制面板（14）一端通过电源线与步进电机（6）、真空泵（2）电性连接，所述镀膜室（3）表面安装有密封门（12），且密封门（12）上方安装有指示灯（13）。