CN214400700U - 一种具有检测功能的镀膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及镀膜装置技术领域，且公开了一种具有检测功能的镀膜装置，包括箱体、安装板、往复丝杆和滑块，所述箱体下内壁固定设有加热槽，所述安装板开设有通孔且通过通孔固定套接有坩埚，所述往复丝杆杆壁与滑块螺纹连接，所述箱体左内侧壁和右内侧壁之间固定设有第一限位滑杆，所述滑块左、右两侧壁均固定设有L形板，两个所述L形板之间对称固定设有夹持机构，右侧所述夹持机构与往复丝杆杆壁之间固定设有传动机构，所述箱体的左、右两外侧壁分别固定设有真空泵和电机，所述箱体左内侧壁固定设有温度传感器。本实用新型能够检测装置内部的工作温度，且有机物受热蒸发均匀，提高产品质量。

Description

一种具有检测功能的镀膜装置

技术领域

本实用新型涉及镀膜装置技术领域，尤其涉及一种具有检测功能的镀膜装置。

背景技术

许多工业产品表面都镀有功能薄膜以改善产品表面的各种性能，如在光学镜片的表面镀上一层抗反射膜，以降低镜片表面的反射率，降低入射光通过镜片的能量损耗，又如在某些滤光元件表面镀上一层滤光膜，可滤掉某一预定波段的光，制成各种各样的滤光片，一般地，镀膜方法主要包括离子镀膜法、射频磁控溅镀、真空蒸发法、化学气相沉积法等。

现有具有检测功能的镀膜装置可以在镀膜完成后检测装置内部的工作情况，但是有机物受热和蒸发不均匀，导致工件表面镀层不平整，严重影响产品质量，因此，本实用新型设计了一种具有检测功能的镀膜装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中可以在镀膜完成后检测装置内部的工作情况，但是有机物受热和蒸发不均匀，导致工件表面镀层不平整，严重影响产品质量的问题，而提出的一种具有检测功能的镀膜装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种具有检测功能的镀膜装置，包括箱体、安装板、往复丝杆和滑块，所述箱体下内壁固定设有加热槽，所述安装板的左、右两侧壁分别与箱体对应的左内侧壁和右内侧壁固定连接，所述安装板开设有通孔且通过通孔固定套接有坩埚，所述坩埚下侧设于加热槽内部，所述往复丝杆左、右两端分别通过第一轴承转动连接于箱体的左、右内侧壁且杆壁与滑块螺纹连接，所述箱体左内侧壁和右内侧壁之间固定设有第一限位滑杆，所述第一限位滑杆杆壁与滑块活动套接，所述滑块左、右两侧壁均固定设有L形板，两个所述L形板之间对称固定设有夹持机构，右侧所述夹持机构与往复丝杆杆壁之间固定设有传动机构，所述箱体的左、右两外侧壁分别固定设有真空泵和电机，所述往复丝杆右端贯穿箱体右壁且与电机输出端固定连接，所述箱体左内侧壁固定设有温度传感器。

优选的，每个所述夹持机构均包括两个夹持块、转杆、双向丝杆和套管，所述转杆右端杆壁通过第二轴承转动连接于L形板的左侧壁且左端固定设有U形块，所述双向丝杆上、下两端杆壁分别通过第三轴承转动连接于U形块的上内壁和下内壁，所述双向丝杆上、下两侧杆壁分别与对应的夹持块螺纹连接，所述U形块的上内壁和下内壁之间固定设有第二限位滑杆，所述第二限位滑杆上、下两侧杆壁分别与对应的夹持块活动套接，所述套管右端管壁通过第三轴承转动连接于箱体右内侧壁，所述转杆右端贯穿L形板且杆壁与套管内壁活动套接。

优选的，所述传动机构包括两个齿轮，两个所述齿轮分别固定套接于往复丝杆的杆壁和套管的管壁，两个所述齿轮啮合连接。

优选的，所述真空泵抽风口和出风口均固定设有风管，上侧所述风管的右端管壁与箱体左侧壁固定套接。

优选的，所述套管上、下两侧管壁均开设有条形口，所述转杆右端杆壁的上、下两侧均固定设有限位块，两个所述限位块分别与对应的条形口滑动连接。

优选的，两个所述双向丝杆下端均贯穿U形块下壁且固定设有把手。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种具有检测功能的镀膜装置，具备以下有益效果：

1、该具有检测功能的镀膜装置，通过设置在双向丝杆下端的把手，转动把手，把手带动双向丝杆旋转，进而带动两个夹持块往相靠近的一侧同时移动，可以将工件夹持牢固，防止在镀膜过程中脱落。

2、该具有检测功能的镀膜装置，通过设置在往复丝杆右端的电机，启动电机，电机带动双向丝杆旋转，进而带动滑块左、右横移，从而带动两个L形板左、右横移，两个L形板分别通过转杆带动两个U形块左、右横移，进而通过夹持块带动工件左、右横移，可以使工件表面的镀层更加均匀，提高产品质量。

该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型能够检测装置内部的工作温度，且有机物受热蒸发均匀，提高产品质量。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种具有检测功能的镀膜装置的结构示意图；

图2为图1中局部A部分的结构放大图；

图3为图1中局部B部分的剖视结构放大图。

图中：1箱体、2安装板、3往复丝杆、4滑块、5加热槽、6坩埚、7第一限位滑杆、8 L形板、9真空泵、10电机、11温度传感器、12夹持块、13转杆、14双向丝杆、15套管、16 U形板、17第二限位滑杆、18齿轮、19风管、20限位块、21把手。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

参照图1-3，一种具有检测功能的镀膜装置，包括箱体1、安装板2、往复丝杆3和滑块4，箱体1下内壁固定设有加热槽5，安装板2的左、右两侧壁分别与箱体1对应的左内侧壁和右内侧壁固定连接，安装板2开设有通孔且通过通孔固定套接有坩埚6，坩埚6下侧设于加热槽5内部，往复丝杆3左、右两端分别通过第一轴承转动连接于箱体1的左、右内侧壁且杆壁与滑块4螺纹连接，箱体1左内侧壁和右内侧壁之间固定设有第一限位滑杆7，第一限位滑杆7杆壁与滑块4活动套接，滑块4左、右两侧壁均固定设有L形板8，两个L形板8之间对称固定设有夹持机构，右侧夹持机构与往复丝杆3杆壁之间固定设有传动机构，箱体1的左、右两外侧壁分别固定设有真空泵9和电机10，往复丝杆3右端贯穿箱体1右壁且与电机10输出端固定连接，箱体1左内侧壁固定设有温度传感器11。

每个夹持机构均包括两个夹持块12、转杆13、双向丝杆14和套管15，转杆13右端杆壁通过第二轴承转动连接于L形板8的左侧壁且左端固定设有U形块16，双向丝杆14上、下两端杆壁分别通过第三轴承转动连接于U形块16的上内壁和下内壁，双向丝杆14上、下两侧杆壁分别与对应的夹持块12螺纹连接，U形块16的上内壁和下内壁之间固定设有第二限位滑杆17，第二限位滑杆17上、下两侧杆壁分别与对应的夹持块12活动套接，套管15右端管壁通过第三轴承转动连接于箱体1右内侧壁，转杆13右端贯穿L形板8且杆壁与套管15内壁活动套接，两个夹持机构可以将工件夹持牢固，防止在镀膜过程中脱落。

传动机构包括两个齿轮18，两个齿轮18分别固定套接于往复丝杆3的杆壁和套管15的管壁，两个齿轮18啮合连接，传动机构可以带动夹持机构和工件旋转，使工件表面镀膜更全面。

真空泵9抽风口和出风口均固定设有风管19，上侧风管19的右端管壁与箱体1左侧壁固定套接，真空泵9可以通过风管19将装置内部抽真空。

套管15上、下两侧管壁均开设有条形口，转杆13右端杆壁的上、下两侧均固定设有限位块20，两个限位块20分别与对应的条形口滑动连接，两个限位块20可以使转杆13不但能够在套管15内伸缩，而且可以跟随套管15一同旋转。

两个双向丝杆14下端均贯穿U形块16下壁且固定设有把手21，把手21旋转可以带动双向丝杆14旋转，进而带动两个夹持块12靠近或者分离。

本实用新型中，使用时，将需要镀膜的工件的两端分别放置在对应的两个夹持块12之间，然后转动把手21，把手21带动双向丝杆14旋转，进而带动两个夹持块12往相靠近的一侧同时移动，可以将工件夹持牢固，防止在镀膜过程中脱落，然后启动加热槽5，加热槽5开始加热，等温度传感器11检测到装置内部温度为合适的工作温度时，坩埚6内的有机物开始蒸发，这时启动电机10，电机10带动往复丝杆3旋转，进而带动滑块4左、右横移，从而带动两个L形板8左、右横移，两个L形板8分别通过转杆13带动两个U形块16左、右横移，进而通过夹持块12带动工件左、右横移，可以使工件表面的镀层更加均匀，提高产品质量，往复丝杆3旋转同时带动上侧齿轮18旋转，进而通过下侧齿轮18带动套管15旋转，从而带动转杆13旋转，转杆13旋转带动U形块16旋转，进而通过夹持块12带动工件旋转，使工件表面镀膜更加全面。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种具有检测功能的镀膜装置，包括箱体(1)、安装板(2)、往复丝杆(3)和滑块(4)，其特征在于，所述箱体(1)下内壁固定设有加热槽(5)，所述安装板(2)的左、右两侧壁分别与箱体(1)对应的左内侧壁和右内侧壁固定连接，所述安装板(2)开设有通孔且通过通孔固定套接有坩埚(6)，所述坩埚(6)下侧设于加热槽(5)内部，所述往复丝杆(3)左、右两端分别通过第一轴承转动连接于箱体(1)的左、右内侧壁且杆壁与滑块(4)螺纹连接，所述箱体(1)左内侧壁和右内侧壁之间固定设有第一限位滑杆(7)，所述第一限位滑杆(7)杆壁与滑块(4)活动套接，所述滑块(4)左、右两侧壁均固定设有L形板(8)，两个所述L形板(8)之间对称固定设有夹持机构，右侧所述夹持机构与往复丝杆(3)杆壁之间固定设有传动机构，所述箱体(1)的左、右两外侧壁分别固定设有真空泵(9)和电机(10)，所述往复丝杆(3)右端贯穿箱体(1)右壁且与电机(10)输出端固定连接，所述箱体(1)左内侧壁固定设有温度传感器(11)。

2.根据权利要求1所述的一种具有检测功能的镀膜装置，其特征在于，每个所述夹持机构均包括两个夹持块(12)、转杆(13)、双向丝杆(14)和套管(15)，所述转杆(13)右端杆壁通过第二轴承转动连接于L形板(8)的左侧壁且左端固定设有U形块(16)，所述双向丝杆(14)上、下两端杆壁分别通过第三轴承转动连接于U形块(16)的上内壁和下内壁，所述双向丝杆(14)上、下两侧杆壁分别与对应的夹持块(12)螺纹连接，所述U形块(16)的上内壁和下内壁之间固定设有第二限位滑杆(17)，所述第二限位滑杆(17)上、下两侧杆壁分别与对应的夹持块(12)活动套接，所述套管(15)右端管壁通过第三轴承转动连接于箱体(1)右内侧壁，所述转杆(13)右端贯穿L形板(8)且杆壁与套管(15)内壁活动套接。

3.根据权利要求1所述的一种具有检测功能的镀膜装置，其特征在于，所述传动机构包括两个齿轮(18)，两个所述齿轮(18)分别固定套接于往复丝杆(3)的杆壁和套管(15)的管壁，两个所述齿轮(18)啮合连接。

4.根据权利要求1所述的一种具有检测功能的镀膜装置，其特征在于，所述真空泵(9)抽风口和出风口均固定设有风管(19)，上侧所述风管(19)的右端管壁与箱体(1)左侧壁固定套接。

5.根据权利要求2所述的一种具有检测功能的镀膜装置，其特征在于，所述套管(15)上、下两侧管壁均开设有条形口，所述转杆(13)右端杆壁的上、下两侧均固定设有限位块(20)，两个所述限位块(20)分别与对应的条形口滑动连接。

6.根据权利要求2所述的一种具有检测功能的镀膜装置，其特征在于，两个所述双向丝杆(14)下端均贯穿U形块(16)下壁且固定设有把手(21)。

Images