CN214372975U - 监测热偶固定装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体器件加工制造领域，具体涉及一种监测热偶固定装置，包括：套管，具有用于容纳所述监测热偶的管腔,所述套管的外壁面上标有刻度；工装卡具，包括本体，所述本体具有套管孔以及安装孔，所述套管孔用于容纳所述套管；支撑杆，所述工装卡具通过所述安装孔安装在所述支撑杆上，以将所述工装卡具吊装在待测温石英管的上方。通过使用带刻度的套管固定监测热偶，并通过工装卡具固定在靠近石英管外表面的位置，解决了监测热偶位置不准确，重复性较差的问题，使得监测热偶得以精确固定，提高了监测热偶的测温的准确性。

Description

监测热偶固定装置

技术领域

本实用新型涉及半导体器件加工制造领域，具体涉及一种监测热偶固定装置。

背景技术

垂直梯度凝固(VGF)法以其工艺简单、重复性好，整个生长过程可以完全实现程序自动化控制，生长过程中具备较小的温度梯度，生长出的晶体热应力小、缺陷少等优点而被广泛应用于砷化镓单晶生长中。但是，由于界面不可观察性，对于监控热偶的精确性也提出了高要求，对此精确固定监测热偶就十分重要了。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的上述技术问题。为此，本实用新型提出一种监测热偶固定装置，解决上述至少一个技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型第一方面提供了一种监测热偶固定装置，包括：

套管，具有用于容纳所述监测热偶的管腔,所述套管的外壁面上标有刻度；

工装卡具，包括本体，所述本体具有套管孔以及安装孔，所述套管孔用于容纳所述套管；

支撑杆，所述工装卡具通过所述安装孔安装在所述支撑杆上。

另外，根据本实用新型上述监测热偶固定装置还可以具有如下附加的技术特征：

根据本实用新型的一个实施例，所述本体呈方块状，且所述本体的侧面纵向贯穿设置有半圆形或圆形缺口，所述半圆形或圆形缺口与所述石英管外轮廓的位置对应，所述套管孔环绕所述半圆形或圆形缺口而设。

根据本实用新型的一个实施例，所述套管与所述本体通过螺丝锁紧。

根据本实用新型的一个实施例，所述监测热偶与所述套管通过螺丝锁紧。

根据本实用新型的一个实施例，所述工装卡具与所述支撑杆通过螺丝锁紧。

根据本实用新型的一个实施例，所述本体的长度为40-45cm，厚度为15-20cm，所述半圆形或圆形缺口的半径为10-12cm。

根据本实用新型的一个实施例，所述套管的内径为1.6-1.8cm，所述套管的外径为2-2.4cm。

根据本实用新型的一个实施例，所述套管孔的直径为2-2.4cm，所述安装孔的直径为2-2.4cm。

根据本实用新型的一个实施例，所述套管孔纵向贯穿所述本体，所述安装孔横向贯穿所述本体。

根据本实用新型的一个实施例，所述支撑杆为可伸缩支撑杆。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

通过使用带刻度的套管固定监测热偶，并通过工装卡具固定在靠近石英管外表面的位置，解决了监测热偶位置不准确，重复性较差的问题，使得监测热偶得以精确固定，提高了监测热偶的测温的准确性。

附图说明

通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本实用新型的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：

图1为本实用新型一个实施例中监测热偶固定装置的主视图；

图2为图1套管的主视图；

图3为图2套管的俯视图；

图4为图2套管的侧视图；

图5为图1工装卡具的立体图；

图6为图5工装卡具的俯视图；

图7为图5工装卡具的侧视图。

具体实施方式

下面将参照附图更详细地描述本公开的示例性实施方式。虽然附图中显示了本公开的示例性实施方式，然而应当理解，可以以各种形式实现本公开而不应被这里阐述的实施方式所限制。相反，提供这些实施方式是为了能够更透彻地理解本公开，并且能够将本公开的范围完整的传达给本领域的技术人员。

应理解的是，文中使用的术语仅出于描述特定示例实施方式的目的，而无意于进行限制。除非上下文另外明确地指出，否则如文中使用的单数形式“一”、“一个”以及“”也可以表示包括复数形式。术语“包括”、“包含”以及“具有”是包含性的，并且因此指明所陈述的特征、元件和/或部件的存在，但并不排除存在或者添加一个或多个其它特征、元件、部件、和/或它们的组合。

在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体式连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

为了便于描述，可以在文中使用空间相对关系术语来描述如图中示出的一个元件或者特征相对于另一元件或者特征的关系，这些相对关系术语例如为“底”、“前”、“上”、“倾斜”、“下”、“顶”、“内”、“水平”、“外”等。这种空间相对关系术语意于包括除图中描绘的方位之外的在使用或者操作中机构的不同方位。例如，如果在图中的机构翻转，那么描述为“在其它元件或者特征下面”或者“在其它元件或者特征下方”的元件将随后定向为“在其它元件或者特征上面”或者“在其它元件或者特征上方”。因此，示例术语“在……下方”可以包括在上和在下的方位。

参照图1-7所示，本实用新型的一些实施例提供了一种监测热偶固定装置100，该监测热偶固定装置100包括：套管10、工装卡具11以及支撑杆12，其中，该套管10具有用于容纳监测热偶的管腔,套管10的外壁面上标有刻度；该工装卡具11包括本体110，本体110具有套管孔111以及安装孔112，该套管孔111用于容纳套管10，工装卡具11通过所述安装孔112安装在所述支撑杆12上，以将所述工装卡具11吊装在待测温石英管的上方，以将监测热偶输送至贴合待测温石英管外表面的位置。

具体地，本体110上具有4个套管孔111以及2个安装孔112，但是本实施例并不因此为限，本领域技术人员可以根据需要灵活选择套管孔111以及安装孔112的设置个数。

在本实用新型的一个实施例中，继续参照图5，该本体110可以呈方块状，且本体110的侧面纵向贯穿设置有半圆形缺口113。具体地，半圆形缺口113可以与待测温石英管外轮廓的位置对应，套管孔111环绕所述半圆形缺口113的而设，这样当工装卡具11与支撑杆12装配完成后，工装卡具11位于石英管的正上方，半圆形缺口113与石英管的外轮廓位置对应，这样一来，套管10和其内的监测热偶恰好位于靠近石英管外表面的位置，从而起到准确监测石英管外表面温度的目的。

具体地，该本体110的长度为40cm，厚度为15cm，半圆形缺口的半径为10cm，套管孔111的直径为2cm，安装孔112的直径为2cm，套管10的高度为30cm，套管10的内径为1.6cm，所述套管的外径为2cm。需要说明的是，本实施例对上述各个部件的尺寸不做限定，本领域技术人员可以根据具体的工装需求定制特定的尺寸，以便适应各种供货需求。

在本实用新型的其他实施例中，本体110还可以开设圆形缺口，本实施例对此不做限定。

需要说明的，继续参照图5，套管孔111纵向贯穿本体110，所述安装孔112横向贯穿本体110。

此外，在本实施例中，支撑杆12包括2条，可以是可伸缩滑动的支撑杆，这样可以在使用时，将支撑杆12抽拉出来，不使用时，将其收起来，节约了空间。

值得一提的是，工装卡具11与所述支撑杆12可以通过螺丝锁紧，具体地，工装卡具11上开设有第一螺孔113，支撑杆12上的对应位置也开设有螺孔。套管10和本体110可以通过螺丝锁紧固定，相应地，在本体110的对应位置分别开设第二螺孔114，套管10的对应位置开设螺孔，此外，监测热偶和套管10可以通过螺丝锁紧固定，具体地，可以在套管10上开设第三螺孔101，在监测热偶的对应位置设置与第三螺孔对应的螺孔。

下面结合图1对使用该监测热偶固定装置100的方法进行描述：

将工装卡具11吊装固定在支撑杆12上，此时将工装卡具11的位置与位于其下方的待测温石英管的位置对应，并使用螺丝锁紧，然后将套管10装入套管孔111中，调节到合适位置，用螺丝锁紧，套管10外壁标有刻度，将监测热偶装入套管10内，调整位置并记录数据，最后将装有监测热偶的套管10自套管孔111安装在工装卡具11，并使用螺丝锁紧，此时，安装有监测热偶的套管10凸出于工装卡具11的下表面，并靠近待测温石英管的外表面而设，进而实现对石英管的温度监测。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

通过使用带刻度的套管固定监测热偶，并通过工装卡具固定在靠近石英管外表面的位置，解决了监测热偶位置不准确，重复性较差的问题，使得监测热偶得以精确固定，提高了监测热偶的测温的准确性。

以上，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，可轻易想到的变化或替换，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。因此，本实用新型的保护范围应以权利要求的保护范围为准。

Claims (10)

1.一种监测热偶固定装置，其特征在于，包括：

套管，具有用于容纳所述监测热偶的管腔,所述套管的外壁面上标有刻度；

工装卡具，包括本体，所述本体具有套管孔以及安装孔，所述套管孔用于容纳所述套管；

支撑杆，所述工装卡具通过所述安装孔安装在所述支撑杆上，以将所述工装卡具吊装在待测温石英管的上方。

2.根据权利要求1所述的监测热偶固定装置，其特征在于，所述本体呈方块状，且所述本体的侧面纵向贯穿设置有半圆形或圆形缺口，所述半圆形或圆形缺口与所述石英管外轮廓的位置对应，所述套管孔环绕所述半圆形或圆形缺口而设。

3.根据权利要求2所述的监测热偶固定装置，其特征在于，所述套管与所述本体通过螺丝锁紧。

4.根据权利要求3所述的监测热偶固定装置，其特征在于，所述监测热偶与所述套管通过螺丝锁紧。

5.根据权利要求4所述的监测热偶固定装置，其特征在于，所述工装卡具与所述支撑杆通过螺丝锁紧。

6.根据权利要求2所述的监测热偶固定装置，其特征在于，所述本体的长度为40-45cm，厚度为15-20cm，所述半圆形或圆形缺口的半径为10-12cm。

7.根据权利要求6所述的监测热偶固定装置，其特征在于，所述套管的内径为1.6-1.8cm，所述套管的外径为2-2.4cm。

8.根据权利要求7所述的监测热偶固定装置，其特征在于，所述套管孔的直径为2-2.4cm，所述安装孔的直径为2-2.4cm。

9.根据权利要求2-8任一项所述的监测热偶固定装置，其特征在于，所述套管孔纵向贯穿所述本体，所述安装孔横向贯穿所述本体。

10.根据权利要求9所述的监测热偶固定装置，其特征在于，所述支撑杆为可伸缩支撑杆。

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