CN214361689U - 一种电路和气路双用的高压馈入电极 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种电路和气路双用的高压馈入电极，包括内部连通的外壳，所述外壳上下两端分别装配有密封固定在开口处的上真空法兰和下真空法兰，所述下真空法兰底部装有一端延伸至所述外壳内部的高压航空插座，所述上真空法兰上方插入有若干高压输出接线柱，所述高压输出接线柱一端延伸至所述外壳内部且与所述高压航空插座电性连接，所述外壳内部还穿插有气管，所述气管两端分别往所述上真空法兰上方和所述下真空法兰下方延伸。采用电路和气路整合一起的方式，使安装过程更简单，操作更方便，有益于后续的保养。
Description
技术领域
本实用新型涉及光学镀膜技术领域，具体为一种电路和气路双用的高压馈入电极。
背景技术
射频离子源因离子能量大，离子密度重复性好等优点，被广泛应用于工业镀膜。但是射频离子源需要多路高压和气体引入真空系统内部，往往大多数真空系统并未预留足够数量的馈入孔。结果导致不仅安装过程复杂，后期维护也比较麻烦。
发明内容
为了克服现有技术方案的不足，本实用新型提供一种电路和气路双用的高压馈入电极，能有效的解决背景技术提出的问题。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：
一种电路和气路双用的高压馈入电极，包括内部连通的外壳，所述外壳上下两端分别装配有密封固定在开口处的上真空法兰和下真空法兰，所述下真空法兰底部装有一端延伸至所述外壳内部的高压航空插座，所述上真空法兰上方插入有若干高压输出接线柱，所述高压输出接线柱一端延伸至所述外壳内部且与所述高压航空插座电性连接，所述外壳内部还穿插有气管，所述气管两端分别往所述上真空法兰上方和所述下真空法兰下方延伸。
进一步地，所述上真空法兰表层覆有密封圈。
进一步地，所述高压航空插座底部设有与外部设备电性连接的电接头。
进一步地，所述高压输出接线柱顶部分别连接有源栅极和加速极。
进一步地，所述高压输出接线柱插入所述外壳内部一端与所述高压航空插座之间连接有导线。
进一步地，所述气管插入所述外壳内部一端呈钝角多处弯折结构。
进一步地，所述上真空法兰上方设有同时与所述高压输出接线柱、所述气管穿插滑动连接的固定垫圈，所述固定垫圈两侧设有穿插并调整固定在所述上真空法兰上方的固定螺杆。
进一步地，所述外壳内部还设有同时固定连接所述上真空法兰和所述下真空法兰的连接杆。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型高压输出接线柱不仅可以将射频离子源栅极和加速极所需要引压引入真空室内部，用于提供等离子体发射的高压，而且附带一根不锈钢气管，提供所需的离化气体，通过将电路和气路整合一起，安装过程变得相对简单，而且整体有益于后续的保养，底部电路使用高压航空插座，在检修和维护时拆装非常容易，整体结构简单，操作方便，实用性强。
附图说明
图1为本实用新型内部结构连接第一示意图；
图2为本实用新型内部结构连接第二示意图；
图3为本实用新型实际安装效果示意图。
图中标号：
1-外壳，2-上真空法兰，3-下真空法兰，4-高压航空插座，5-高压输出接线柱，6-气管，7-密封圈，8-电接头，9-源栅极，10-加速极，11-导线，12-固定垫圈，13-固定螺杆，14-连接杆，15-真空室壁。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
如图1-3所示，本实用新型提供了一种电路和气路双用的高压馈入电极，包括内部连通的外壳1，所述外壳1上下两端分别装配有密封固定在开口处的上真空法兰2和下真空法兰3，所述下真空法兰3底部装有一端延伸至所述外壳1内部的高压航空插座4，所述上真空法兰2上方插入有若干高压输出接线柱5，所述高压输出接线柱5一端延伸至所述外壳1内部且与所述高压航空插座4电性连接，所述外壳1内部还穿插有气管6，所述气管6两端分别往所述上真空法兰2上方和所述下真空法兰3下方延伸。
所述上真空法兰2表层覆有密封圈7，所述高压航空插座4底部设有与外部设备电性连接的电接头8，所述高压输出接线柱5顶部分别连接有源栅极9和加速极10，所述高压输出接线柱5插入所述外壳1内部一端与所述高压航空插座4之间连接有导线11，所述气管6插入所述外壳1内部一端呈钝角多处弯折结构，所述上真空法兰2上方设有同时与所述高压输出接线柱5、所述气管6穿插滑动连接的固定垫圈12，所述固定垫圈12两侧设有穿插并调整固定在所述上真空法兰2上方的固定螺杆13，所述外壳1内部还设有同时固定连接所述上真空法兰2和所述下真空法兰3的连接杆14。
与传统技术相比，本技术方案高压输出接线柱4不仅可以将射频离子源栅极和加速极所需要引压引入真空室内部，用于提供等离子体发射的高压，而且附带一根不锈钢气管，提供所需的离化气体，通过将电路和气路整合一起，安装过程变得相对简单，而且整体有益于后续的保养，底部电路使用高压航空插座4，在检修和维护时拆装非常容易。
具体工作原理：通过可以调整的固定垫圈12和固定螺杆13固定在真空室壁15上，多个高压输出接线柱5置于真空室体内部，外部通过高压航空插座4的电接头8输出高压电，高压电在外壳1内部通过导线11输送至高压输出接线柱5的末端，并从末端输送至高压极源栅极9和加速极10，压极源栅极9和加速极10向真空室体内部发射高压，同时，利用一端与真空室体内部连通的气管6提供离化气体，达到了电路和气路同时向真空室体内部馈入高压的效果。
对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
Claims (8)
1.一种电路和气路双用的高压馈入电极，其特征在于：包括内部连通的外壳，所述外壳上下两端分别装配有密封固定在开口处的上真空法兰和下真空法兰，所述下真空法兰底部装有一端延伸至所述外壳内部的高压航空插座，所述上真空法兰上方插入有若干高压输出接线柱，所述高压输出接线柱一端延伸至所述外壳内部且与所述高压航空插座电性连接，所述外壳内部还穿插有气管，所述气管两端分别往所述上真空法兰上方和所述下真空法兰下方延伸。
2.根据权利要求1所述的一种电路和气路双用的高压馈入电极，其特征在于：所述上真空法兰表层覆有密封圈。
3.根据权利要求1所述的一种电路和气路双用的高压馈入电极，其特征在于：所述高压航空插座底部设有与外部设备电性连接的电接头。
4.根据权利要求1所述的一种电路和气路双用的高压馈入电极，其特征在于：所述高压输出接线柱顶部分别连接有源栅极和加速极。
5.根据权利要求1所述的一种电路和气路双用的高压馈入电极，其特征在于：所述高压输出接线柱插入所述外壳内部一端与所述高压航空插座之间连接有导线。
6.根据权利要求1所述的一种电路和气路双用的高压馈入电极，其特征在于：所述气管插入所述外壳内部一端呈钝角多处弯折结构。
7.根据权利要求1所述的一种电路和气路双用的高压馈入电极，其特征在于：所述上真空法兰上方设有同时与所述高压输出接线柱、所述气管穿插滑动连接的固定垫圈，所述固定垫圈两侧设有穿插并调整固定在所述上真空法兰上方的固定螺杆。
8.根据权利要求1所述的一种电路和气路双用的高压馈入电极，其特征在于：所述外壳内部还设有同时固定连接所述上真空法兰和所述下真空法兰的连接杆。
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| CN202120140696.3U CN214361689U (zh) | 2021-01-19 | 2021-01-19 | 一种电路和气路双用的高压馈入电极 |
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2021
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