CN218299743U - 一种长灯丝离化机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于一种长灯丝离化机构,包括灯丝1,其特征在于灯丝接线柱4和阳极接线柱3固定在主体方法兰8上,通过陶瓷绝缘件7隔开,灯丝1两端接在灯丝接线柱4上,阳极2接在阳极接线柱3上,灯丝电源5接在灯丝接线柱4上,阳极电源6分别接在其中一个阳极接线柱3和一个灯丝接线柱4上,本实用新型的有益效果是:结构简单,一根灯丝可覆盖整个真空室,离化均匀,维护方便且可大幅降低成本。
Description
技术领域
本实用新型属于真空离子镀膜设备部件,特别涉及一种长灯丝离化机构。
背景技术
离化机构是使中性原子或分子电离,使其离化并从中得到离子流的装置。灯丝离化机构因其结构简单成本低廉而得到广泛应用,但也有一点的缺点,就是灯丝离化机构一般都做成比较小的模块,一台真空设备需要安装多个才能覆盖整个真空室,需要配备多套电源,成本高昂。
发明内容
本实用新型在于克服上述技术的不足,提供一种长灯丝离化机构。
本实用新型解决技术问题采用的技术方案是:将灯丝设计成长灯丝,灯丝长度可根据真空室高度进行设置。
本实用新型的有益效果是:结构简单,一根灯丝可覆盖整个真空室,维护方便且可大幅降低成本。
附图说明
以下结合附图,以实施例具体说明。
图1是一种长灯丝离化机构的示意图。
图中:1-灯丝;2-阳极;3-阳极接线柱;4-灯丝接线柱;5-灯丝电源;6-阳极电源;7-陶瓷绝缘件,8-主体方法兰。
具体实施方式
实施例,参照附图,一种长灯丝离化机构,包括灯丝1,其特征在于灯丝接线柱4和阳极接线柱3固定在主体方法兰8上,通过陶瓷绝缘件7隔开,灯丝1两端接在灯丝接线柱4上,阳极2接在阳极接线柱 3上,灯丝电源5接在灯丝接线柱4上,阳极电源6分别接在其中一个阳极接线柱3和一个灯丝接线柱4上。
本实用新型的有益效果是:结构简单,一根灯丝可覆盖整个真空室,离化均匀,维护方便且可大幅降低成本。
Claims (1)
1.一种长灯丝离化机构,包括灯丝(1)其特征在于灯丝接线柱(4)和阳极接线柱(3)固定在主体方法兰(8)上,通过陶瓷绝缘件(7)隔开,灯丝(1)两端接在灯丝接线柱(4)上,阳极(2)接在阳极接线柱(3)上,灯丝电源(5)接在灯丝接线柱(4)上,阳极电源(6)分别接在其中一个阳极接线柱(3)和一个灯丝接线柱(4)上。
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CN202222569310.8U CN218299743U (zh) | 2022-09-28 | 2022-09-28 | 一种长灯丝离化机构 |
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Publications (1)
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CN218299743U true CN218299743U (zh) | 2023-01-13 |
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CN202222569310.8U Active CN218299743U (zh) | 2022-09-28 | 2022-09-28 | 一种长灯丝离化机构 |
Country Status (1)
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2022
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