CN214352226U - 一种半导体加工车间加工用工作台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及半导体加工技术领域，且公开了一种半导体加工车间加工用工作台，包括台板，所述台板的顶部开设有放置槽，所述放置槽内部设置有防尘罩，所述防尘罩的左右两侧均固定连接有固定条，所述防尘罩的左右两侧均开设有插槽，所述放置槽的左右两侧内壁均开设有活动槽。该半导体加工车间加工用工作台，通过将拉块向槽口方向移动，并带动活动板向活动槽的内部移动，当活动板位于活动槽的内部后，将限位杆与限位孔插接，从而可以防止活动板从活动槽的内部出来，然后将防尘罩向上移动，便可以将防尘罩从放置槽的内部取出，便于将防尘罩从台板上拆卸下来，从而可以对防尘罩的内部进行清理，操作简单便捷，省时省力。

Description

一种半导体加工车间加工用工作台

技术领域

本实用新型涉及半导体加工技术领域，具体为一种半导体加工车间加工用工作台。

背景技术

半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料，且半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用，如二极管就是采用半导体制作的器件。

在工作台上对半导体进行加工时，容易产生灰尘，影响工作人员，从而需要对工作台设置防尘装置，而现有的防尘装置大多都是固定在工作台上，不便于对防尘装置进行拆除清洗，使得防尘装置的内部吸附大量灰尘，影响半导体的加工效率，因此需要提出一种半导体加工车间加工用工作台来解决上述所出现的问题。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种半导体加工车间加工用工作台，具备便于对防尘装置进行拆除，可以对防尘装置的内部进行清洗等优点，解决了防尘装置大多都是固定在工作台上，不便于对防尘装置进行拆除清洗，使得防尘装置的内部吸附大量灰尘，影响半导体的加工效率的问题。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体加工车间加工用工作台，包括台板，所述台板的顶部开设有放置槽，所述放置槽内部设置有防尘罩，所述防尘罩的左右两侧均固定连接有固定条，所述防尘罩的左右两侧均开设有插槽，所述放置槽的左右两侧内壁均开设有活动槽，所述活动槽的内部活动连接有活动板，所述活动板远离防尘罩的一侧固定连接有弹簧，所述活动板的顶部固定连接有拉块，所述台板的顶部开设有槽口，所述台板的顶部开设有限位孔和放置孔，所述放置孔的内部活动插接有限位杆，所述防尘罩的右侧设置有出尘口，所述出尘口的内部螺纹连接有除尘管，所述防尘罩的正面开设有方形槽，所述方形槽的内部活动连接有密封门，所述方形槽的内顶壁开设有限位槽，所述密封门的顶部开设有凹槽，所述凹槽的内部活动连接有限位块，所述限位块的底部固定连接有压缩弹簧。

优选的，所述活动槽内壁的一侧固定连接有导向柱，所述活动板的内部开设有左右贯穿的导向孔，所述导向柱与导向孔的内部活动插接，所述弹簧远离活动板的一端与活动槽内壁的一侧固定连接，所述弹簧与导向柱活动套接。

优选的，所述限位块的正面固定连接有活动杆，所述密封门的正面开设有条型槽，所述条型槽与凹槽相互连通，所述活动杆与条型槽的内部活动连接。

优选的，所述放置槽的内底壁固定连接有密封垫，所述防尘罩和固定条的底部均与密封垫的顶部搭接，所述固定条的顶部与活动板的底部搭接。

优选的，所述拉块与槽口相互适配，所述槽口与放置槽连通，所述限位孔与活动槽连通，所述限位杆与限位孔相互适配。

优选的，所述压缩弹簧的底端与凹槽的内底壁固定连接，所述限位块的顶部与限位槽的内部活动插接。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种半导体加工车间加工用工作台，具备以下有益效果：

1、该半导体加工车间加工用工作台，通过防尘罩、固定条、插槽、活动槽、活动板、弹簧、拉块、槽口、限位孔和限位杆之间的相互配合，将拉块向槽口方向移动，并带动活动板向活动槽的内部移动，当活动板位于活动槽的内部后，将限位杆与限位孔插接，从而可以防止活动板从活动槽的内部出来，然后将防尘罩向上移动，便可以将防尘罩从放置槽的内部取出，便于将防尘罩从台板上拆卸下来，从而可以对防尘罩的内部进行清理，操作简单便捷，省时省力。

2、该半导体加工车间加工用工作台，通过方形槽、密封门、限位槽、凹槽、限位块、压缩弹簧、活动杆和条型槽之间的相互配合，将活动杆向下移动，从而可以带动限位块在凹槽的内部一同向下移动，并使得限位块的顶部从限位槽的内部移动出来，进而可以将密封门进行打开，便于将半导体材料放到防尘罩内部的加工装置上进行加工，也可以将加工后的半导体材料从防尘罩中取出。

附图说明

图1为本实用新型正面结构剖视图；

图2为本实用新型图1中A处结构放大图；

图3为本实用新型俯视结构示意图；

图4为本实用新型正面结构示意图；

图5为本实用新型防尘罩正面结构剖视图；

图6为本实用新型图5中B处结构放大图。

其中：1、台板；2、放置槽；3、防尘罩；4、固定条；5、插槽；6、活动槽；7、活动板；8、弹簧；9、导向柱；10、导向孔；11、拉块；12、槽口；13、限位孔；14、放置孔；15、限位杆；16、出尘口；17、除尘管；18、方形槽；19、密封门；20、限位槽；21、凹槽；22、限位块；23、压缩弹簧；24、活动杆；25、条型槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-6，一种半导体加工车间加工用工作台，包括台板1，台板1的顶部开设有放置槽2，放置槽2设置为回形，放置槽2内部设置有防尘罩3，防尘罩3的前后两侧分别与放置槽2的前后两侧内壁搭接，台板1的顶部设置有半导体加工装置，且半导体加工装置位于防尘罩3的内部，从而可以防止半导体加工时所产生的灰尘飘散出来影响操作人员，防尘罩3的左右两侧均固定连接有固定条4，固定条4位于放置槽2的内部，且固定条4远离防尘罩3的一侧与放置槽2的左右两侧内壁相互搭接，防尘罩3的左右两侧均开设有插槽5，放置槽2的左右两侧内壁均开设有活动槽6，活动槽6与插槽5位于同一水平高度，活动槽6的内部活动连接有活动板7，放置槽2的内底壁固定连接有密封垫，通过设置密封垫，可以提高防尘罩3与放置槽2之间的密封性，防止灰尘飘散出去，防尘罩3和固定条4的底部均与密封垫的顶部搭接，固定条4的顶部与活动板7的底部搭接，活动板7远离防尘罩3的一侧固定连接有弹簧8，弹簧8的数量为多个，活动槽6内壁的一侧固定连接有导向柱9，活动板7的内部开设有左右贯穿的导向孔10，导向柱9和导向孔10的数量均与弹簧8的数量相同，导向柱9与导向孔10的内部活动插接，弹簧8远离活动板7的一端与活动槽6内壁的一侧固定连接，弹簧8与导向柱9活动套接，在弹簧8的作用下，使得活动板7远离弹簧8的一侧与插槽5的内部插接，并使得活动板7的底部与固定条4的顶部搭接，从而可以将防尘罩3固定在放置槽2的内部。

活动板7的顶部固定连接有拉块11，每个活动板7的顶部均固定连接有两个拉块11，台板1的顶部开设有槽口12，槽口12的数量为四个，台板1的顶部开设有限位孔13和放置孔14，限位孔13和放置孔14的数量均为六个，限位孔13和放置孔14的大小高度均相同，限位孔13的底部延伸到活动槽6的内底壁上，放置孔14的内部活动插接有限位杆15，拉块11与槽口12相互适配，当拉块11位于槽口12的内部时，使得活动板7远离弹簧8的一侧位于活动槽6的内部，从而使得限位孔13漏出，从而可以将放置孔14内部的限位杆15取出并插入限位孔13的内部，从而使得活动板7远离弹簧8的一侧与限位杆15的侧表面搭接，进而可以防止活动板7从活动槽6的内部移动出来，槽口12与放置槽2连通，限位孔13与活动槽6连通，限位杆15与限位孔13相互适配，防尘罩3的右侧设置有出尘口16，出尘口16的内部螺纹连接有除尘管17，除尘管17远离出尘口16的一端与外接的除尘风机连通，通过除尘风机可以将防尘罩3内部的灰尘从出尘口16处吸入到除尘管17的内部，并从除尘管17处排出，防尘罩3的正面开设有方形槽18，方形槽18与防尘罩3的内部连通，方形槽18的内部活动连接有密封门19，密封门19的侧表面设置有密封条，从而可以防止防尘罩3内部的灰尘从方形槽18处飘散出来。

方形槽18的内顶壁开设有限位槽20，限位槽20的数量为两个，密封门19的顶部开设有凹槽21，凹槽21的数量为两个，凹槽21的内部活动连接有限位块22，限位块22的底部固定连接有压缩弹簧23，在压缩弹簧23的作用下，可以使得限位块22的顶端与限位槽20的内部插接，压缩弹簧23的底端与凹槽21的内底壁固定连接，限位块22的顶部与限位槽20的内部活动插接，限位块22的正面固定连接有活动杆24，密封门19的正面开设有条型槽25，条型槽25的数量为两个，条型槽25与凹槽21相互连通，活动杆24与条型槽25的内部活动连接，当限位块22的顶部与限位槽20的内部插接时，使得密封门19与方形槽18闭合，将活动杆24在条型槽25的内部向下移动，可以带动限位块22在凹槽21的内部向下移动，从而可以将密封门19进行打开，便可以将半导体材料放入到防尘罩3内部的加工装置上，也可以将加工好的半导体材料从防尘罩3的内部取出。

在使用时，需要将防尘罩3从台板1上拆卸下来对防尘罩3进行清洗，先将左侧的活动板7上的拉块11向左移动，并带动活动板7在活动槽6的内部，使得弹簧8收缩，并使得活动板7远离弹簧8的一侧从插槽5的内部移动出来，然后将拉块11继续向左移动，使得拉块11位于槽口12的内部，并使得活动板7远离弹簧8的一侧位于活动槽6的内部，使得限位孔13漏出，然后将放置孔14内部的限位杆15取出，并将取出后的限位杆15放入到限位孔13的内部，因限位孔13的底部延伸到活动槽6的内底壁上，从而使得限位杆15的底端与活动槽6内底壁插接，并可以对活动板7进行限位，防止活动板7从活动槽6的内部移动出来，然后再将右侧活动板7上的拉块11向右移动，与上述所描述的方式相同，方向相反，使得两个活动板7分别位于两个活动槽6的内部，从而可以将防尘罩3向上移动，便可以将防尘罩3和固定条4从放置槽2的内部取出，从而对防尘罩3的内部进行清洗。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种半导体加工车间加工用工作台，包括台板(1)，其特征在于：所述台板(1)的顶部开设有放置槽(2)，所述放置槽(2)内部设置有防尘罩(3)，所述防尘罩(3)的左右两侧均固定连接有固定条(4)，所述防尘罩(3)的左右两侧均开设有插槽(5)，所述放置槽(2)的左右两侧内壁均开设有活动槽(6)，所述活动槽(6)的内部活动连接有活动板(7)，所述活动板(7)远离防尘罩(3)的一侧固定连接有弹簧(8)，所述活动板(7)的顶部固定连接有拉块(11)，所述台板(1)的顶部开设有槽口(12)，所述台板(1)的顶部开设有限位孔(13)和放置孔(14)，所述放置孔(14)的内部活动插接有限位杆(15)，所述防尘罩(3)的右侧设置有出尘口(16)，所述出尘口(16)的内部螺纹连接有除尘管(17)，所述防尘罩(3)的正面开设有方形槽(18)，所述方形槽(18)的内部活动连接有密封门(19)，所述方形槽(18)的内顶壁开设有限位槽(20)，所述密封门(19)的顶部开设有凹槽(21)，所述凹槽(21)的内部活动连接有限位块(22)，所述限位块(22)的底部固定连接有压缩弹簧(23)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体加工车间加工用工作台，其特征在于：所述活动槽(6)内壁的一侧固定连接有导向柱(9)，所述活动板(7)的内部开设有左右贯穿的导向孔(10)，所述导向柱(9)与导向孔(10)的内部活动插接，所述弹簧(8)远离活动板(7)的一端与活动槽(6)内壁的一侧固定连接，所述弹簧(8)与导向柱(9)活动套接。

3.根据权利要求1所述的一种半导体加工车间加工用工作台，其特征在于：所述限位块(22)的正面固定连接有活动杆(24)，所述密封门(19)的正面开设有条型槽(25)，所述条型槽(25)与凹槽(21)相互连通，所述活动杆(24)与条型槽(25)的内部活动连接。

4.根据权利要求1所述的一种半导体加工车间加工用工作台，其特征在于：所述放置槽(2)的内底壁固定连接有密封垫，所述防尘罩(3)和固定条(4)的底部均与密封垫的顶部搭接，所述固定条(4)的顶部与活动板(7)的底部搭接。

5.根据权利要求1所述的一种半导体加工车间加工用工作台，其特征在于：所述拉块(11)与槽口(12)相互适配，所述槽口(12)与放置槽(2)连通，所述限位孔(13)与活动槽(6)连通，所述限位杆(15)与限位孔(13)相互适配。

6.根据权利要求1所述的一种半导体加工车间加工用工作台，其特征在于：所述压缩弹簧(23)的底端与凹槽(21)的内底壁固定连接，所述限位块(22)的顶部与限位槽(20)的内部活动插接。

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