CN214348111U - 一种快速清理石墨齿轮的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种快速清理石墨齿轮的装置，包括底座，底座上侧活动设置有石墨齿轮固定座，石墨齿轮可拆卸安装在石墨齿轮固定座上，石墨齿轮固定座相对一侧底座上设置有驱动电机，驱动电机输出端通过驱动轴连接石墨齿轮刷，石墨齿轮刷为环形结构，环形结构内壁均布有若干软刷毛，石墨齿轮刷套设与石墨齿轮外侧，用该快速清理石墨齿轮的装置，石墨齿轮表面无沉积物，可以最大限度提高CVD炉每次进行气象沉积过程中石墨齿轮运行稳定性，同时通过包裹式的设计，可以到达更好的清洗效果，同时可以通过移动石墨齿轮固定座的位置，减小齿刷和齿轮的位置误差，提高产品良品率及合格率。

Description

一种快速清理石墨齿轮的装置

技术领域

实用新型涉及一种快速清理石墨齿轮的装置，属于器械清理领域。

背景技术

化学气相沉积(以下简称为CVD)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。目前CVD技术领域中定制化产品种类多，规格也是多种多样，其中快速清理石墨齿轮属于本领域中的一个难点，这是在CVD炉每次进行气象沉积过程中石墨齿轮表面也会有沉积物生成，如每次生产前不彻底将沉积物清理干净，会造成石墨齿轮在下次生产中沉积物掉落及转动不流畅、卡顿，卡死，造成产品报废，严重影响产品的良品率，每个CVD炉所用石墨齿轮从十余个至几十个不等，且石墨齿轮因石墨硬度及强度特性无法用常规金属齿轮清理设备清理，人工清理费时费力且清理不彻底。

中国专利文件CN201820086170.X，提供了一种齿轮清理装置，齿轮的固定装置包括支撑板、固定杆、螺栓、连接杆和环形磁铁，支撑板固定在底座上，支撑板侧端固定有固定杆，固定杆的另一端通过螺栓与连接杆铰接，连接杆上固定有环形磁铁；而齿轮刷洗装置包括条形钢丝刷、套杆、套筒、曲柄滑块机构、电机、框式支架和锁紧螺丝，框式支架固定在底座上，框式支架一侧固定有电机，滑块的一侧固定有套筒，套筒内滑动连接有套杆，套筒通过锁紧螺丝把套杆固定。但是由于在实际使用过程中，整个装置会有抖动和误差，齿轮和齿轮刷直接也会有间隙或错位，导致清洁不彻底不到位，同时由于石墨齿轮本身的材质为石墨，材质较软，采用此装置很有可能会损伤石墨齿轮的外齿。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种快速清理石墨齿轮的装置，可以针对石墨齿轮进行快速的清洗，同时又不会伤害石墨齿轮的外齿。

本实用新型的技术方案如下：

一种快速清理石墨齿轮的装置，包括底座，底座上侧活动设置有石墨齿轮固定座，石墨齿轮可拆卸安装在石墨齿轮固定座上，石墨齿轮固定座相对一侧底座上设置有驱动电机，驱动电机输出端通过驱动轴连接石墨齿轮刷，石墨齿轮刷为环形结构，环形结构内壁均布有若干软刷毛，石墨齿轮刷套设与石墨齿轮外侧。其中石墨齿轮刷通过外壁与驱动轴连接，使用时，石墨齿轮保持固定，石墨齿轮通过中心定位孔与石墨齿轮固定座通过连接件连接，驱动电机转动，带动石墨齿轮刷转动，通过环形结构内壁均布有若干软刷毛，对石墨齿轮的外齿进行清洗，同时，石墨齿轮为可拆卸式安装于石墨齿轮固定座，可以安装不同尺寸的石墨齿轮，同时可以替换对应尺寸的石墨齿轮刷。

根据本实用新型的技术方案，优选的，石墨齿轮通过连接件与石墨齿轮固定座连接，连接件为“L”型。连接件与石墨齿轮连接一端的形状与石墨齿轮中心定位孔相适应。

根据本实用新型的技术方案，优选的，石墨齿轮刷的主体直径为200-3000mm，石墨齿轮刷最低处距离底座高度为100-900mm。

根据本实用新型的技术方案，优选的，石墨齿轮固定座贯穿设置有固定孔，底座上均布有与固定孔尺寸相适应的螺纹孔，固定孔与螺纹孔之间通过螺栓固定。可以根据需要移动石墨齿轮固定座的位置，在到达需要的位置后，通过螺栓与底座进行固定。

根据本实用新型的技术方案，优选的，所述驱动轴外侧套设有驱动轴安全防护网，驱动轴安全防护网一端与驱动电机连接。驱动轴安全防护网与驱动轴之间有间隙，不接触，用于对驱动轴进行安全防护，防止产生危险。

根据本实用新型的技术方案，优选的，所述软刷毛的长度大于石墨齿轮齿槽深度。

本实用新型的有益效果在于：

本实用新型提供的用于快速清理石墨齿轮的装置，利用该快速清理石墨齿轮的装置，石墨齿轮表面无沉积物，可以最大限度提高CVD炉每次进行气象沉积过程中石墨齿轮运行稳定性，同时通过包裹式的设计，可以到达更好的清洗效果，同时可以通过移动石墨齿轮固定座的位置，减小齿刷和齿轮的位置误差，提高产品良品率及合格率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2为石墨齿轮清理装置结构示意图；

其中：1-石墨齿轮刷，2-石墨齿轮，3-驱动电机，4-底座，5-石墨齿轮固定座，6-连接件，7-驱动轴，8-驱动轴安全防护网，9、软刷毛。

具体实施方式

下面通过实施例并结合附图对本实用新型做进一步说明，但不限于此。

实施例1：

一种快速清理石墨齿轮的装置，如图所示，包括底座4，底座4上侧活动设置有石墨齿轮固定座5，石墨齿轮2可拆卸安装在石墨齿轮固定座5上，石墨齿轮固定座5相对一侧底座4上设置有驱动电机3，驱动电机3输出端通过驱动轴7连接石墨齿轮刷1，石墨齿轮刷1 为环形结构，环形结构内壁均布有若干软刷毛9，石墨齿轮刷1套设与石墨齿轮2外侧。其中石墨齿轮2刷通过外壁与驱动轴连接，使用时，石墨齿轮2保持固定，石墨齿轮2通过连接件6与石墨齿轮固定座5连接，连接件为“L”型。连接件6与石墨齿轮2连接一端的形状与石墨齿轮2中心定位孔相适应。驱动电机3转动，带动石墨齿轮刷1转动，通过环形结构内壁均布有若干软刷毛9，对石墨齿轮2的外齿进行清洗，同时，石墨齿轮2为可拆卸式安装于石墨齿轮固定座5，可以安装不同尺寸的石墨齿轮2，同时可以替换对应尺寸的石墨齿轮刷1。其中石墨齿轮刷1的主体直径为200mm，石墨齿轮2直径为50mm，石墨齿轮刷1最低处距离底座4高度为100mm。石墨齿轮固定座5贯穿设置有固定孔，底座4上均布有与固定孔尺寸相适应的螺纹孔，固定孔与螺纹孔之间通过螺栓固定。可以根据需要移动石墨齿轮固定座5的位置，在到达需要的位置后，通过螺栓与底座4进行固定。软刷毛9的长度大于石墨齿轮2齿槽深度，软刷毛为硅胶材料。

实施例2：

一种快速清理石墨齿轮的装置，其结构与实施例1相同，与实施例1不同的是：石墨齿轮刷1的主体直径为3000mm，石墨齿轮刷1最低处距离底座高度为900mm。

实施例3：

一种快速清理石墨齿轮的装置，其结构与实施例1相同，与实施例1不同的是：所述驱动轴7外侧套设有驱动轴安全防护网8，驱动轴安全防护网8一端与驱动电机3连接。驱动轴安全防护网8与驱动轴之间有间隙，不接触，用于对驱动轴7进行安全防护，防止产生危险。

实施例4：

一种快速清理石墨齿轮的装置，其结构与实施例1相同，与实施例1不同的是：石墨齿轮的直径为1200mm，环形石墨齿轮刷直径为1350mm，石墨齿轮刷1最低处距离底座高度为680mm。

实施例5：

一种快速清理石墨齿轮的装置，石墨齿轮的直径为400mm，环形石墨齿轮刷直径为550mm，石墨齿轮刷1最低处距离底座高度为250mm。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种快速清理石墨齿轮的装置，其特征在于：包括底座，底座上侧活动设置有石墨齿轮固定座，石墨齿轮可拆卸安装在石墨齿轮固定座上，石墨齿轮固定座相对一侧底座上设置有驱动电机，驱动电机输出端通过驱动轴连接石墨齿轮刷，石墨齿轮刷为环形结构，环形结构内壁均布有若干软刷毛，石墨齿轮刷套设与石墨齿轮外侧。

2.根据权利要求1所述的快速清理石墨齿轮的装置，其特征在于：石墨齿轮通过连接件与石墨齿轮固定座连接，连接件为“L”型。

3.根据权利要求1所述的快速清理石墨齿轮的装置，其特征在于：石墨齿轮刷的主体直径为200-3000mm，石墨齿轮刷最低处距离底座高度为100-900mm。

4.根据权利要求1所述的快速清理石墨齿轮的装置，其特征在于：石墨齿轮固定座贯穿设置有固定孔，底座上均布有与固定孔尺寸相适应的螺纹孔，固定孔与螺纹孔之间通过螺栓固定。

5.根据权利要求1所述的快速清理石墨齿轮的装置，其特征在于：所述驱动轴外侧套设有驱动轴安全防护网，驱动轴安全防护网一端与驱动电机连接。

6.根据权利要求1所述的快速清理石墨齿轮的装置，其特征在于：所述软刷毛的长度大于石墨齿轮齿槽深度。

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