CN214322940U - 一种相变材料化学机械抛光设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种相变材料化学机械抛光设备，包括柜体，所述柜体的顶端固定设有壳体，所述柜体的顶端开设有凹槽，所述凹槽底端内壁的中间位置处固定设有底座，所述底座的顶端固定设有支座，所述支座的一侧顶端固定设有夹板一，所述支座的另一侧顶端滑动设有夹板二，所述柜体内的下部阵列开设有多个容纳腔，所述凹槽的底端内壁上阵列开设有多个落水孔，所述落水孔的底端均与相邻的所述容纳腔的内部空间相通，所述壳体的顶端对称固定设有气缸，所述气缸的输出端均延伸至所述壳体内且固定连接有固定板，所述固定板的底端中间位置处固定设有电机，本实用新型可以快速切换化学试剂，从而方便进行使用，且可以有效的提高抛光的效率。

Description

一种相变材料化学机械抛光设备

技术领域

本实用新型涉及一种化学机械抛光设备，具体为一种相变材料化学机械抛光设备，属于机械抛光设备技术领域。

背景技术

材料化学是一种从现代材料科学、化学和化工领域等中分支出来的新起学科，通过现代材料科学、化学和化工领域中的学科知识以及其三者的实验技能，来解决化工技术问题，而该机械抛光设备则是对一些材料进行抛光打磨，便于进行试验。

现有的化学机械抛光设备在使用时，每次需要灌注不同的化学试剂，在试剂切换时极为不便，使得装置使用较为繁琐，因此有必要设计一种相变材料化学机械抛光设备，用以解决上述问题。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种相变材料化学机械抛光设备，本实用新型结构简单，使用方便，可以快速切换化学试剂，从而方便进行使用，且可以有效的提高抛光的效率。

本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种相变材料化学机械抛光设备，包括柜体，所述柜体的顶端固定设有壳体，所述柜体的顶端开设有凹槽，所述凹槽底端内壁的中间位置处固定设有底座，所述底座的顶端固定设有支座，所述支座的一侧顶端固定设有夹板一，所述支座的另一侧顶端滑动设有夹板二，所述柜体内的下部阵列开设有多个容纳腔，所述凹槽的底端内壁上阵列开设有多个落水孔，所述落水孔的底端均与相邻的所述容纳腔的内部空间相通，所述壳体的顶端对称固定设有气缸，所述气缸的输出端均延伸至所述壳体内且固定连接有固定板，所述固定板的底端中间位置处固定设有电机，所述电机的输出端固定连接有抛光盘，所述抛光盘位于所述支座的正上方，所述固定板底端的一侧固定设有喷嘴。

优选的，所述壳体为U型壳体且U型壳体的后侧设有挡板。

优选的，所述支座内开设有滑槽，所述支座的一侧设有调节螺杆，所述调节螺杆的另一端延伸至所述滑槽内，位于所述滑槽内的所述调节螺杆上螺纹套设有螺纹座，所述螺纹座的顶端与所述夹板二的底端固定连接。

优选的，所述柜体的前侧中部阵列固定嵌设有多个进液管，所述进液管的另一端均与相邻的所述容纳腔的内部空间相通，所述柜体的后侧下部阵列固定嵌设有多个抽液分管，所述抽液分管的一端均与相邻的所述容纳腔的内部空间相通，所述抽液分管的另一端固定连接有抽液总管，所述抽液分管上均设有阀门，所述柜体的后侧上部固定设有泵体，所述泵体的输入端与所述抽液总管远离所述抽液分管的一端固定连接，所述泵体的输出端固定连接有送液管，所述送液管的另一端延伸至所述壳体内且与所述喷嘴固定连接。

优选的，所述落水孔内均固定设有过滤网，所述落水孔的顶端均合盖设有盖体。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过设置了多个容纳腔，在使用时，将不同种类的化学试剂通过进液管注入至不同的容纳腔内，同时将清洗液注入其中一个空置的容纳腔内，当需要进行抛光时，此时通过打开对应的阀门和盖体，从而可以选择相应的化学试剂，通过气缸推动固定板向下移动，从而使得固定板推动电机和喷嘴向下移动，当抛光盘与工件抵触时，此时电机带动抛光盘进行转动，从而通过抛光盘对工件进行抛光，同时泵体通过抽液总管和对应的抽液分管将化学试剂抽出，并通过喷嘴对工件进行喷射，从而完成抛光，反应后的试剂通过过滤网和落水孔回流至对应的容纳腔内，当抛光完成后，此时关闭对应的阀门，并打开对应清洗液的抽液分管上的阀门，从而使得泵体可以将清洗液抽出并进行喷射，进而可以将抽液总管和喷嘴内多余的化学试剂排出，进而不影响下次使用，本实用新型结构简单，使用方便，可以快速切换化学试剂，从而方便进行使用，且可以有效的提高抛光的效率。

附图说明

图1是本实用新型的主视图。

图2是本实用新型的内部结构图。

图3是本实用新型的后视图。

图4是本实用新型的图2中A处的放大图。

图中标号：1、柜体；2、壳体；3、凹槽；4、底座；5、支座；6、夹板一；7、夹板二；8、容纳腔；9、落水孔；10、气缸；11、固定板；12、电机；13、抛光盘；14、喷嘴；15、滑槽；16、调节螺杆；17、螺纹座；18、进液管；19、抽液分管；20、抽液总管；21、阀门；22、泵体；23、送液管；24、过滤网；25、盖体。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例，基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4所示，一种相变材料化学机械抛光设备，包括柜体1，所述柜体1的顶端固定设有壳体2，所述柜体1的顶端开设有凹槽3，所述凹槽3底端内壁的中间位置处固定设有底座4，所述底座4的顶端固定设有支座5，所述支座5的一侧顶端固定设有夹板一6，所述支座5的另一侧顶端滑动设有夹板二7，所述柜体1内的下部阵列开设有多个容纳腔8，所述凹槽3的底端内壁上阵列开设有多个落水孔9，所述落水孔9的底端均与相邻的所述容纳腔8的内部空间相通，所述壳体2的顶端对称固定设有气缸10，所述气缸10的输出端均延伸至所述壳体2内且固定连接有固定板11，所述固定板11的底端中间位置处固定设有电机12，所述电机12的输出端固定连接有抛光盘13，所述抛光盘13位于所述支座5的正上方，所述固定板11底端的一侧固定设有喷嘴14。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述壳体2为U型壳体且U型壳体的后侧设有挡板，所述支座5内开设有滑槽15，所述支座5的一侧设有调节螺杆16，所述调节螺杆16的另一端延伸至所述滑槽15内，位于所述滑槽15内的所述调节螺杆16上螺纹套设有螺纹座17，所述螺纹座17的顶端与所述夹板二7的底端固定连接，将工件放置在支座5上，然后转动调节螺杆16，使得调节螺杆16带动螺纹座17进行移动，进而使得螺纹座17带动夹板二7进行移动，从而通过夹板一6和夹板二7将工件夹持固定。

作为本实用新型的一种优选技术方案，所述柜体1的前侧中部阵列固定嵌设有多个进液管18，所述进液管18的另一端均与相邻的所述容纳腔8的内部空间相通，所述柜体1的后侧下部阵列固定嵌设有多个抽液分管19，所述抽液分管19的一端均与相邻的所述容纳腔8的内部空间相通，所述抽液分管19的另一端固定连接有抽液总管20，所述抽液分管19上均设有阀门21，所述柜体1的后侧上部固定设有泵体22，所述泵体22的输入端与所述抽液总管20远离所述抽液分管19的一端固定连接，所述泵体22的输出端固定连接有送液管23，所述送液管23的另一端延伸至所述壳体2内且与所述喷嘴14固定连接，所述落水孔9内均固定设有过滤网24，所述落水孔9的顶端均合盖设有盖体25，将不同种类的化学试剂通过进液管18注入至不同的容纳腔8内，同时将清洗液注入其中一个空置的容纳腔8内，当需要进行抛光时，此时通过打开对应的阀门21和盖体25，从而可以选择相应的化学试剂，通过气缸10推动固定板11向下移动，从而使得固定板11推动电机12和喷嘴14向下移动，当抛光盘13与工件抵触时，此时电机12带动抛光盘13进行转动，从而通过抛光盘13对工件进行抛光，同时泵体22通过抽液总管20和对应的抽液分管19将化学试剂抽出，并通过喷嘴25对工件进行喷射，从而完成抛光，反应后的试剂通过过滤网35和落水孔9回流至对应的容纳腔8内，当抛光完成后，此时关闭对应的阀门21，并打开对应清洗液的抽液分管19上的阀门21，从而使得泵体22可以将清洗液抽出并进行喷射，进而可以将抽液总管20和喷嘴14内多余的化学试剂排出，进而不影响下次使用。

本实用新型在使用时，将工件放置在支座5上，然后转动调节螺杆16，使得调节螺杆16带动螺纹座17进行移动，进而使得螺纹座17带动夹板二7进行移动，从而通过夹板一6和夹板二7将工件夹持固定，然后将不同种类的化学试剂通过进液管18注入至不同的容纳腔8内，同时将清洗液注入其中一个空置的容纳腔8内，当需要进行抛光时，此时通过打开对应的阀门21和盖体25，从而可以选择相应的化学试剂，通过气缸10推动固定板11向下移动，从而使得固定板11推动电机12和喷嘴14向下移动，当抛光盘13与工件抵触时，此时电机12带动抛光盘13进行转动，从而通过抛光盘13对工件进行抛光，同时泵体22通过抽液总管20和对应的抽液分管19将化学试剂抽出，并通过喷嘴14对工件进行喷射，从而完成抛光，反应后的试剂通过过滤网35和落水孔9回流至对应的容纳腔8内，当抛光完成后，此时关闭对应的阀门21，并打开对应清洗液的抽液分管19上的阀门21，从而使得泵体22可以将清洗液抽出并进行喷射，进而可以将抽液总管20和喷嘴14内多余的化学试剂排出，进而不影响下次使用。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型，因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内，不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。

Claims (5)

1.一种相变材料化学机械抛光设备，包括柜体（1），其特征在于：所述柜体（1）的顶端固定设有壳体（2），所述柜体（1）的顶端开设有凹槽（3），所述凹槽（3）底端内壁的中间位置处固定设有底座（4），所述底座（4）的顶端固定设有支座（5），所述支座（5）的一侧顶端固定设有夹板一（6），所述支座（5）的另一侧顶端滑动设有夹板二（7），所述柜体（1）内的下部阵列开设有多个容纳腔（8），所述凹槽（3）的底端内壁上阵列开设有多个落水孔（9），所述落水孔（9）的底端均与相邻的所述容纳腔（8）的内部空间相通，所述壳体（2）的顶端对称固定设有气缸（10），所述气缸（10）的输出端均延伸至所述壳体（2）内且固定连接有固定板（11），所述固定板（11）的底端中间位置处固定设有电机（12），所述电机（12）的输出端固定连接有抛光盘（13），所述抛光盘（13）位于所述支座（5）的正上方，所述固定板（11）底端的一侧固定设有喷嘴（14）。

2.根据权利要求1所述的一种相变材料化学机械抛光设备，其特征在于：所述壳体（2）为U型壳体且U型壳体的后侧设有挡板。

3.根据权利要求1所述的一种相变材料化学机械抛光设备，其特征在于：所述支座（5）内开设有滑槽（15），所述支座（5）的一侧设有调节螺杆（16），所述调节螺杆（16）的另一端延伸至所述滑槽（15）内，位于所述滑槽（15）内的所述调节螺杆（16）上螺纹套设有螺纹座（17），所述螺纹座（17）的顶端与所述夹板二（7）的底端固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种相变材料化学机械抛光设备，其特征在于：所述柜体（1）的前侧中部阵列固定嵌设有多个进液管（18），所述进液管（18）的另一端均与相邻的所述容纳腔（8）的内部空间相通，所述柜体（1）的后侧下部阵列固定嵌设有多个抽液分管（19），所述抽液分管（19）的一端均与相邻的所述容纳腔（8）的内部空间相通，所述抽液分管（19）的另一端固定连接有抽液总管（20），所述抽液分管（19）上均设有阀门（21），所述柜体（1）的后侧上部固定设有泵体（22），所述泵体（22）的输入端与所述抽液总管（20）远离所述抽液分管（19）的一端固定连接，所述泵体（22）的输出端固定连接有送液管（23），所述送液管（23）的另一端延伸至所述壳体（2）内且与所述喷嘴（14）固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种相变材料化学机械抛光设备，其特征在于：所述落水孔（9）内均固定设有过滤网（24），所述落水孔（9）的顶端均合盖设有盖体（25）。

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