CN214279914U - 光伏全工序pl检测模块 - Google Patents
光伏全工序pl检测模块 Download PDFInfo
- Publication number
- CN214279914U CN214279914U CN202120561461.1U CN202120561461U CN214279914U CN 214279914 U CN214279914 U CN 214279914U CN 202120561461 U CN202120561461 U CN 202120561461U CN 214279914 U CN214279914 U CN 214279914U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- conveying
- line
- camera
- detection
- detection module
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种光伏全工序PL检测模块，包括壳体、面阵相机、LED光源组、大功率线激光源、线扫相机、硅片传送定位平台、陶瓷底板、面阵数据线、线扫数据线、图像控制处理一体机；本实用新型充分利用了光伏不同工序PL激发方式的特点，线扫相机与大功率线激光组合实现原硅片、制绒片的运动中检测，并通过激光垂直照射，皮带预留检测空隙，下方放置陶瓷底板的方式，保证高能量下的检测安全；面阵相机与LED光源组合实现扩散后工序硅片停顿状态的检测；在光伏全工序PL检测的同时，实现各工序PL检测效果最佳化。
Description
技术领域
本实用新型涉及光伏硅片PL检测领域，具体涉及一种光伏全工序PL检测模块。
背景技术
光伏行业的品质管控越来越严格，PL(光致发光)作为检测内部缺陷最有效的方式，在光伏行业得到了越来越广泛地应用。目前的PL检测设备，由于激发光源的限制，可检测的工序有限，只能检测扩散工序后的硅片，光伏的前两道工序：原硅片、制绒片的缺陷无法得到有效的监控。
本实用新型提供的技术方案，实现了原硅片、制绒片工序的PL检测，具备从原硅片到电池片光伏全工序的PL检测功能。为激发原硅片、制绒片发光，使用大功率线激光聚集更高能量，线扫相机捕捉硅片发光，并通过激光垂直照射，皮带预留检测空隙，下方放置陶瓷底板的方式，规避大功率激光的安全风险。扩散工序后的硅片，需要激发能量小，使用LED作为激发光源检测，面阵相机捕捉硅片发光，在实现光伏全工序PL检测的同时，使得PL检测效果最佳化。
实用新型内容
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案为：本实用新型的一种光伏全工序PL检测模块，包括壳体、面阵相机、LED光源组、大功率线激光源、线扫相机、硅片传送定位平台、陶瓷底板、面阵数据线、线扫数据线、图像控制处理一体机，其特征在于：所述面阵相机安装在壳体顶部中央，面阵相机朝向正下方，面阵相机通过面阵数据线与图像控制处理一体机相连。
根据本实用新型的一种实施方式，所述LED光源组安装在壳体顶部，LED光源组包含多组光源，环绕均布在面阵相机周围，且发光面朝向下方。
根据本实用新型的一种实施方式，所述大功率线激光源安装在壳体顶部，位于面阵相机左侧，发光线束朝向正下方。
根据本实用新型的一种实施方式，所述线扫相机安装在壳体顶部，位于面阵相机右侧，线扫相机的采集线朝向左下方，线扫相机通过线扫数据线与图像控制处理一体机相连。
根据本实用新型的一种实施方式，所述硅片传送定位平台安装壳体底板上，包括传送基板、传送电机、传送驱动轮组、传送惰轮组、传片皮带；传送基板安装在壳体上，传送电机固定在传送基板上，传送驱动轮组安装在传送电机两端轴上，传送惰轮组按规则安装在传送基板上，传片皮带按规则绕在传送驱动轮组和传送惰轮组上，传片皮带的传送面存在检测空隙，且检测空隙位于大功率线激光源正下方。
根据本实用新型的一种实施方式，所述陶瓷底板安装在硅片传送定位平台中的传送基板上，陶瓷底板位于大功率线激光源正下方。
根据本实用新型的一种实施方式，所述大功率线激光源的发光线束与线扫相机采集线的交汇点，恰好位于传片皮带的检测空隙中。
附图说明
图1为本实用新型的总体结构示意图。
图2为本实用新型的平面前视图。
图3为本实用新型的硅片传送定位平台6、陶瓷底板7结构示意图。
图4为本实用新型的激发光源与相机位置关系平面示意图，包括2面阵相机、3LED光源组、4大功率线激光源、5线扫相机。
图5为本实用新型的散后工序硅片PL检测示意图。
图6为本实用新型的原硅片、制绒片PL检测示意图。
附图标记说明：1壳体、2面阵相机、3LED光源组、4大功率线激光源、5线扫相机、6硅片传送定位平台、7陶瓷底板、8面阵数据线、9线扫数据线、10图像控制处理一体机、61传送基板、62传送电机、63传送驱动轮组、64传送惰轮组、65传片皮带、T硅片。
具体实施方式
下面结合附图详细叙述本实用新型的具体实施方式。
如图1、图2所示，一种光伏全工序PL检测模块，包括壳体1、面阵相机2、LED光源组3、大功率线激光源4、线扫相机5、硅片传送定位平台6、陶瓷底板7、面阵数据线8、线扫数据线9、图像控制处理一体机10，其特征在于：所述面阵相机2安装在壳体1顶部中央，面阵相机2朝向正下方，面阵相机2通过面阵数据线8与图像控制处理一体机10相连。
如图1、图2、图4所示，所述LED光源组3安装在壳体1顶部，LED光源组3包含多组光源，环绕均布在面阵相机2周围，且发光面朝向下方。
如图1、图2、图4所示，所述大功率线激光源4安装在壳体1顶部，位于面阵相机2左侧，发光线束朝向正下方。
如图1、图2、图4所示，所述线扫相机5安装在壳体1顶部，位于面阵相机2右侧，线扫相机5的采集线朝向左下方，线扫相机5通过线扫数据线9与图像控制处理一体机10相连。
如图1、图2、图3所示，所述硅片传送定位平台6安装壳体1底板上，包括传送基板61、传送电机62、传送驱动轮组63、传送惰轮组64、传片皮带65；传送基板61安装在壳体1上，传送电机62固定在传送基板61上，传送驱动轮组63安装在传送电机62两端轴上，传送惰轮组64按规则安装在传送基板61上，传片皮带65按规则绕在传送驱动轮组63和传送惰轮组64上，传片皮带65的传送面存在，且检测空隙位于大功率线激光源4正下方。
如图1、图2、图3所示，所述陶瓷底板7安装在硅片传送定位平台6中的传送基板61上，陶瓷底板7位于大功率线激光源4正下方。
如图6所示，所述大功率线激光源4的发光线束与线扫相机5采集线的交汇点，恰好位于传片皮带65的检测空隙中。
一种光伏全工序PL检测模块工作过程如下：来料为原硅片、制绒片工序时，参照图1、图2、图3、图6，传送电机62驱动传送驱动轮组63、传送惰轮组64带动传片皮带65传片，硅片T接近传片皮带65的检测空隙时，大功率线激光源4按检测要求开启，激发硅片T发出近红外光，图像控制处理一体机10通过线扫数据线9触发线扫相机5拍照，捕捉运动中的硅片T发出的光，线扫相机5获取的图像由线扫数据线9传输到图像控制处理一体机10，图像控制处理一体机10对图像进行校正处理并显示，完成原硅片、制绒片的PL检测。
一种光伏全工序PL检测模块工作过程如下：来料为扩散后工序的硅片时，参照图1、图2、图3、图5，传送电机62驱动传送驱动轮组63、传送惰轮组64带动传片皮带65传片，硅片T到达面阵相机2正下方时传送电机62停止，LED光源组按检测要求开启，激发硅片T发出近红外光，图像控制处理一体机10通过面阵数据线8触发面阵相机2拍照，捕捉停顿状态下硅片T发出的光，面阵相机2获取的图像由面阵数据线8传输到图像控制处理一体机10，图像控制处理一体机10对图像进行校正处理并显示，完成扩散后工序硅片的PL检测。
本实用新型的关键技术在于：为实现原硅片、制绒片PL检测，使用大功率线激光聚集更高能量，线扫相机捕捉硅片发光，并通过激光垂直照射，皮带预留检测空隙，下方放置陶瓷底板的方式，实现高能量下的安全检测。扩散工序后的硅片，使用LED作为激发光源检测，面阵相机捕捉硅片发光，硅片停顿状态下检测。该方案充分利用了不同工序PL激发方式的特点，线扫相机与大功率线激光组合实现原硅片、制绒片的运动中检测。面阵相机与LED光源组合实现扩散后工序硅片停顿状态的检测。在光伏全工序PL检测的同时，实现各工序PL检测效果最佳化。
以上实施例仅为本实用新型的示例性实施例，不用于限制本实用新型，各结构之间的组合视为本实用新型的保护范围，本实用新型的具体保护范围有附加的权利要求书限定。本领域技术人员可以在本实用新型的实质保护范围内，对本实用新型做出各种修改或等同替换，这种修改或等同替换也应视为落在本实用新型的保护范围内。
Claims (7)
1.本实用新型公开了一种光伏全工序PL检测模块，包括壳体(1)、面阵相机(2)、LED光源组(3)、大功率线激光源(4)、线扫相机(5)、硅片传送定位平台(6)、陶瓷底板(7)、面阵数据线(8)、线扫数据线(9)、图像控制处理一体机(10)，其特征在于：所述面阵相机(2)安装在壳体(1)顶部中央，面阵相机(2)朝向正下方，面阵相机(2)通过面阵数据线(8)与图像控制处理一体机(10)相连。
2.如权利要求1所述的光伏全工序PL检测模块，其特征在于：所述LED光源组(3)安装在壳体(1)顶部，LED光源组(3)包含多组光源，环绕均布在面阵相机(2)周围，且发光面朝向下方。
3.如权利要求1所述的光伏全工序PL检测模块，其特征在于：所述大功率线激光源(4)安装在壳体(1)顶部，位于面阵相机(2)左侧，发光线束朝向正下方。
4.如权利要求1所述的光伏全工序PL检测模块，其特征在于：所述线扫相机(5)安装在壳体(1)顶部，位于面阵相机(2)右侧，线扫相机(5)的采集线朝向左下方，线扫相机(5)通过线扫数据线(9)与图像控制处理一体机(10)相连。
5.如权利要求1所述的光伏全工序PL检测模块，其特征在于：所述硅片传送定位平台(6)安装壳体(1)底板上，包括传送基板(61)、传送电机(62)、传送驱动轮组(63)、传送惰轮组(64)、传片皮带(65)；传送基板(61)安装在壳体(1)上，传送电机(62)固定在传送基板(61)上，传送驱动轮组(63)安装在传送电机(62)两端轴上，传送惰轮组(64)按规则安装在传送基板(61)上，传片皮带(65)按规则绕在传送驱动轮组(63)和传送惰轮组(64)上，传片皮带(65)的传送面存在检测空隙，且检测空隙位于大功率线激光源(4)正下方。
6.如权利要求1所述的光伏全工序PL检测模块，其特征在于：所述陶瓷底板(7)安装在硅片传送定位平台(6)中的传送基板(61)上，陶瓷底板(7)位于大功率线激光源(4)正下方。
7.如权利要求1所述的光伏全工序PL检测模块，其特征在于：所述大功率线激光源(4)的发光线束与线扫相机(5)采集线的交汇点，恰好位于传片皮带(65)的检测空隙中。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120561461.1U CN214279914U (zh) | 2021-03-19 | 2021-03-19 | 光伏全工序pl检测模块 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202120561461.1U CN214279914U (zh) | 2021-03-19 | 2021-03-19 | 光伏全工序pl检测模块 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN214279914U true CN214279914U (zh) | 2021-09-24 |
Family
ID=77798413
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202120561461.1U Active CN214279914U (zh) | 2021-03-19 | 2021-03-19 | 光伏全工序pl检测模块 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN214279914U (zh) |
-
2021
- 2021-03-19 CN CN202120561461.1U patent/CN214279914U/zh active Active
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106153633B (zh) | 视觉检测装置及其视觉检测方法 | |
| CN1631064A (zh) | 用于传输悬浮物品的系统和方法 | |
| CN101055256A (zh) | 缺陷检查装置 | |
| CN106876298A (zh) | 太阳能电池硅片弯曲度和翘曲度检测装置和检测方法 | |
| TW516083B (en) | Optical sensor | |
| EP2284520A1 (en) | Assembly for the inspection in a continuous manner of cells, strings and photovoltaic modules and inspection method thereof | |
| CN110208286A (zh) | 一种检测设备 | |
| JP2011232275A (ja) | トレイ検査装置及び電子部品検査装置 | |
| WO2019117228A1 (ja) | 画像処理システム、検査システム、画像処理方法、及びプログラム | |
| KR20110103195A (ko) | 태양전지 셀 검사장치 | |
| CN113257695A (zh) | 光伏全工序pl检测模块 | |
| KR20130006305A (ko) | 가공 장치 | |
| CN106409716B (zh) | 电子元件的检测系统及检测方法 | |
| CN209911250U (zh) | 电池芯片的外观检测平台和封装装置 | |
| CN214279914U (zh) | 光伏全工序pl检测模块 | |
| CN102113106A (zh) | 用于检测晶片中微小裂纹的装置及其方法 | |
| CN105225991B (zh) | 具有多面检测能力的晶粒挑拣装置及其方法 | |
| KR101216365B1 (ko) | 소자핸들러 및 소자이송방법 | |
| JP2013024722A (ja) | 部品搬送装置 | |
| CN103137502A (zh) | 芯片接合装置 | |
| CN112164662A (zh) | 一种bga植球机取球缺球检测装置及检测方法 | |
| CN116313900A (zh) | 一种晶圆侦测系统及方法 | |
| JP3185858U (ja) | 自動光学検出設備 | |
| CN115985820A (zh) | 芯片自动测试设备及芯片自动测试方法 | |
| CN102788769A (zh) | 晶圆检测装置及使用其的晶圆检测方法 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |