CN214276819U - 一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于测厚技术领域，尤其为一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置，由吹气法兰、测距传感器、测距传感器固定座、吹风口、罐体法兰和环状气流罩组成；测距传感器安装在测距传感器固定座内部，测距传感器固定座上在测距传感器的发射面通过螺钉安装有吹风口，测距传感器固定座与罐体法兰形成一圈环形间隙，吹气法兰的一端通过气体主入口注入惰性气体，在罐体法兰的出气端连接有环状气流罩。本实用新型在罐体法兰的出气端增加气体保护的环状气流罩；进一步提高了靶材涂层厚度的测量准确性环，可进一步提高测厚的精度，又对靶材表面进行冷却，达到提升靶材涂层品质的作用。

Description

一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置

技术领域

本实用新型属于测厚技术领域，具体涉及一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置。

背景技术

靶材涂层厚度测量是利用光线反射的原理来测量距离,由于喷涂时产生的粉尘会对测距传感的光路产生干扰,经常会出现测量不稳定的情况。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置，进一步提高测厚的精度，又对靶材表面进行冷却，达到提升靶材涂层品质的作用。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置，由吹气法兰、测距传感器、测距传感器固定座、吹风口、罐体法兰和环状气流罩组成；测距传感器安装在测距传感器固定座内部，测距传感器固定座上在测距传感器的发射面通过螺钉安装有吹风口，测距传感器固定座与罐体法兰形成一圈环形间隙，吹气法兰的一端通过气体主入口注入惰性气体，在罐体法兰的出气端连接有环状气流罩，测距传感器固定座通过螺钉固定在吹气法兰上，吹气法兰通过螺栓固定安装在罐体法兰上。

作为优选，所述吹气法兰和罐体法兰设置有两个，且分别设置在靶材的两侧。

作为优选，所述测距传感器设置有两个，两个的测距传感器分别设置在靶材的两侧，测距传感器与靶材的两侧面的距离为d。

作为优选，所述吹气法兰的一端穿入罐体法兰的内部。

作为优选，所述吹气法兰上开设有吹气孔，测距传感器固定座上开设有与吹气孔相连通的通气孔，通气孔与吹风口相连通。

作为优选，所述吹气法兰的另一端设置有惰性气体通入口。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型在罐体法兰的出气端增加气体保护的环状气流罩；惰性气体通过测距传感器固定座与罐体法兰形成的一圈环形间隙吹出，由环状气流罩吹出，罐体内部的粉尘不易进入环状气流罩内，从而使得测距传感器的光路内的粉尘减少，从而进一步提高了靶材涂层厚度的测量准确性环，可进一步提高测厚的精度，又对靶材表面进行冷却，达到提升靶材涂层品质的作用。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置的结构示意图；

图2为本实用新型一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置中吹气法兰的结构示意图；

图3为本实用新型一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置中测距传感器的结构示意图；

图4为本实用新型一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置中测距传感器固定座的结构示意图。

图中：

1、吹气法兰；2、测距传感器；3、测距传感器固定座；4、吹风口；5、罐体法兰；6、靶材；7、环状气流罩。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示（诸如上、下、左、右、前、后……），则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态（如附图所示）下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

实施例1

请参阅图1-4，本实用新型提供以下技术方案：一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置，由吹气法兰1、测距传感器2、测距传感器固定座3、吹风口4、罐体法兰5和环状气流罩7组成；测距传感器2安装在测距传感器固定座3内部，测距传感器固定座3上在测距传感器2的发射面通过螺钉安装有吹风口4，测距传感器固定座3与罐体法兰5形成一圈环形间隙，吹气法兰1的一端通过气体主入口注入惰性气体，在罐体法兰5的出气端连接有环状气流罩7，测距传感器固定座3通过螺钉固定在吹气法兰1上，吹气法兰1通过螺栓固定安装在罐体法兰5上。

具体的，所述吹气法兰1和罐体法兰5设置有两个，且分别设置在靶材6的两侧。

具体的，所述测距传感器2设置有两个，两个的测距传感器2分别设置在靶材6的两侧，测距传感器2与靶材6的两侧面的距离为d。

具体的，所述吹气法兰1的一端穿入罐体法兰5的内部。

具体的，所述吹气法兰1上开设有吹气孔，测距传感器固定座3上开设有与吹气孔相连通的通气孔，通气孔与吹风口4相连通。

具体的，所述吹气法兰1的另一端设置有惰性气体通入口。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型在使用时，由吹气法兰1、测距传感器2、测距传感器固定座3、吹风口4、罐体法兰5和环状气流罩7组成；测距传感器2安装在测距传感器固定座3内部，测距传感器固定座3上在测距传感器2的发射面通过螺钉安装有吹风口4，测距传感器固定座3与罐体法兰5形成一圈环形间隙，吹气法兰1的一端通过气体主入口注入惰性气体，在罐体法兰5的出气端连接有环状气流罩7；惰性气体通过测距传感器固定座3与罐体法兰5形成的一圈环形间隙吹出，由环状气流罩7吹出，罐体内部的粉尘不易进入环状气流罩7内，从而使得测距传感器2的光路内的粉尘减少，从而进一步提高了靶材6涂层厚度的测量准确性，能使靶材6涂层厚度控制在合理范围内，太厚会浪费成本，太薄不能加工出符合图纸要求的靶材产生报废。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置，其特征在于：由吹气法兰（1）、测距传感器（2）、测距传感器固定座（3）、吹风口（4）、罐体法兰（5）和环状气流罩（7）组成；测距传感器（2）安装在测距传感器固定座（3）内部，测距传感器固定座（3）上在测距传感器（2）的发射面通过螺钉安装有吹风口（4），测距传感器固定座（3）与罐体法兰（5）形成一圈环形间隙，吹气法兰（1）的一端通过气体主入口注入惰性气体，在罐体法兰（5）的出气端连接有环状气流罩（7），测距传感器固定座（3）通过螺钉固定在吹气法兰（1）上，吹气法兰（1）通过螺栓固定安装在罐体法兰（5）上。

2.根据权利要求1所述的一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置，其特征在于：所述吹气法兰（1）和罐体法兰（5）设置有两个，且分别设置在靶材（6）的两侧。

3.根据权利要求1所述的一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置，其特征在于：所述测距传感器（2）设置有两个，两个的测距传感器（2）分别设置在靶材（6）的两侧，测距传感器（2）与靶材（6）的两侧面的距离为d。

4.根据权利要求1所述的一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置，其特征在于：所述吹气法兰（1）的一端穿入罐体法兰（5）的内部。

5.根据权利要求1所述的一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置，其特征在于：所述吹气法兰（1）上开设有吹气孔，测距传感器固定座（3）上开设有与吹气孔相连通的通气孔，通气孔与吹风口（4）相连通。

6.根据权利要求1所述的一种通过气环保护提升光电传感器测厚精度的装置，其特征在于：所述吹气法兰（1）的另一端设置有惰性气体通入口。

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