CN214271027U - 一种在线式镀膜均匀性调整机构 - Google Patents

Abstract

本申请涉及一种在线式镀膜均匀性调整机构，属于镀膜设备领域，包括：调节组件，调节组件包括从外到内依次同轴设置的且能够相对旋转的若干个调节杆；若干个传动组件，传动组件的数量与调节杆的数量相同，若干个传动组件与若干个调节杆位于镀膜腔室内部的部分一一对应传动连接；挡板组件，与若干个传动组件传动连接，挡板组件包括若干个子挡板，子挡板的数量与传动组件的数量相同且一一对应，子挡板能够在调节杆和传动组件的带动下运动从而调节子挡板与设置于镀膜腔室内的固定挡板之间的开口范围。本申请提供的一种在线式镀膜均匀性调整机构具有结构简单、紧凑的优点。

Description

一种在线式镀膜均匀性调整机构

技术领域

本申请涉及镀膜设备技术领域，尤其涉及一种在线式镀膜均匀性调整机构。

背景技术

物理气相沉积（PVD）技术是在真空条件下，通过物理的方法将材料源（固体或液体）表面轰击出或气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过电场、磁场或等离子体的作用，在基体表面沉积具有某种特殊功能的薄膜。在相关技术中，以磁控溅射镀膜为例，为了提高基体表面所形成的薄膜的均匀性，通常采用具有多个平行轴的调整机构来带动挡板运动，挡板运动时能够改变溅射宽度范围，从而进一步调节膜材在基板上的沉积量，达到对膜层厚度进行在线调整的目的。

针对上述中的相关技术，发明人认为膜厚均匀性调整机构存在结构复杂、占用空间大的缺陷。

实用新型内容

为了改善相关技术中膜厚均匀性调整机构存在的结构复杂、占用空间大的缺陷，本申请提供一种在线式镀膜均匀性调整机构。

本申请提供的一种在线式镀膜均匀性调整机构采用如下的技术方案：

一种在线式镀膜均匀性调整机构，包括：

调节组件，所述调节组件包括从外到内依次同轴设置且能够相对旋转的若干个调节杆，在镀膜腔室内部，位于内层的调节杆从位于外层的调节杆内伸出，位于最外层的所述调节杆的一端从镀膜腔室的侧壁穿出；在镀膜过程中，所述调节组件能够使镀膜腔室内保持密闭状态；

若干个传动组件，所述传动组件的数量与所述调节杆的数量相同，若干个所述传动组件与若干个所述调节杆位于镀膜腔室内部的部分一一对应传动连接；

挡板组件，与若干个传动组件传动连接，所述挡板组件包括若干个子挡板，所述子挡板的数量与所述传动组件的数量相同且一一对应，所述子挡板能够在调节杆和传动组件的带动下运动从而调节子挡板与设置于镀膜腔室内的固定挡板之间的开口范围。

通过采用上述技术方案，提高了镀膜均匀性调整机构的结构紧凑性，简化了结构。

可选的，位于最外层的所述调节杆与镀膜腔室侧壁之间以及相邻的调节杆之间均设置有密封结构。

通过采用上述技术方案，在镀膜过程中，在调节子挡板与固定挡板之间的开口范围时能够保持镀膜腔室内的真空气氛。

可选的，若干个所述子挡板沿着固定挡板长度方向的尺寸相同。

可选的，当子挡板的数量为三个时，位于中间的子挡板沿着固定挡板长度方向的尺寸大于位于两端的子挡板沿着固定挡板长度方向的尺寸，并且位于两端的子挡板的尺寸相同。

可选的，所述传动组件包括设置于调节杆外表面的齿轮，所述子挡板靠近调节组件的一侧表面设置有齿条，所述齿轮与所述齿条啮合。

可选的，所述传动组件包括曲柄和连杆，所述曲柄垂直于调节杆外表面并与调节杆固定连接，所述连杆的一端与所述曲柄远离调节杆的一端铰接，所述连杆的另一端与子挡板靠近调节杆的一侧表面铰接。

可选的，相邻的两个所述调节杆中，内层的所述调节杆的远离传动组件的一端位于外层的所述调节杆的内部；

所述调节杆远离传动组件的一端的端部设置有槽口。

通过采用上述技术方案，便于对调节杆进行旋转。

可选的 ，所述调节杆远离传动组件的一端的端部设置有刻度。

可选的 ，相邻的两个所述调节杆中，内层的所述调节杆远离传动组件的一端从外层的所述调节杆伸出。

可选的，所述调节杆远离传动组件的一端的外侧表面压制有平面或设置有螺母。

综上所述，在本申请提供的在线式镀膜均匀性调整机构中，调节组件所包括的若干个调节杆为同轴设置，具有结构简单、紧凑性强的优点。

附图说明

图1是本申请在线式镀膜均匀性调整机构的结构示意图；

图2是传动组件、子挡板和固定挡板的位置关系示意图。

附图标记说明：1、调节组件；11、调节杆；12、槽口；13、轴承；14、密封结构；2、传动组件；21、齿轮；22、齿条；3、挡板组件；31、子挡板；4、镀膜腔室；5、镀膜源；6、待镀工件；7、固定挡板。

具体实施方式

以下结合附图1-2对本申请作进一步详细说明。

参照图1和图2，本申请实施例公开一种在线式镀膜均匀性调整机构，包括调节组件1、若干个传动组件2以及挡板组件3。其中调节组件1包括从外到内依次同轴设置的若干个调节杆11，位于最外层的调节杆11的一端从镀膜腔室4的侧壁穿出，在镀膜过程中，调节组件1能够使镀膜腔室4内保持密闭状态；传动组件2的数量与调节杆11的数量相同且一一对应；挡板组件3包括若干个子挡板31，子挡板31的数量与调节杆11的数量相同且一一对应，调节杆11能够通过传动组件2带动子挡板31运动，从而调节子挡板31与镀膜腔室4内的固定挡板7之间的开口范围。本申请提供的一种在线式镀膜均匀性调整机构，采用同轴设置的若干个调节杆11驱动子挡板31运动，对子挡板31和固定挡板7之间的开口进行调节，简化了均匀性调整机构的结构，使其结构更紧凑。

参照图1，在调节组件1中，位于最内层的调节杆11的两端为封闭端，位于最内层的调节杆11外侧的若干个调节杆11均为筒状结构且两端开口。最外层的调节杆11伸出镀膜腔室4的侧壁外部。相邻的两个调节杆11中，内层的调节杆11远离传动组件2的一端位于外层调节杆11的内部。例如，当调节杆11的数量为三个时，中间层的调节杆11远离传动组件2的一端位于最外层调节杆11的内部，最内层的调节杆11远离传动组件2的一端位于中间层调节杆11的内部。在本申请中，本领域技术人员可以根据需要设定调节杆11的数量，此处不作具体限定。

为了便于对调节杆11进行旋转，在调节杆11远离传动组件2的一端的端部可以设置有槽口12，该槽口12能够与外部的螺丝刀或摇杆等设备配合。由此，当旋转调节杆11时，能够通过传动组件2带动相应的子挡板31运动。此外，为了提高子挡板31与固定挡板7之间开口范围调整的准确度，在调节杆11远离传动组件2的一端的端部还可以设置有刻度。

在本申请中，调节组件1还可以采用另一种方式设置。此处，在调节组件1远离传动组件2的一端，在相邻的两个调节杆11中，内层调节杆11的端部均从外层调节杆11的端部穿出。每个调节杆11的外表面可设置有螺母或压制出平面，便于采用扳手等对调节杆11进行旋转操作。

参照图1，最外层的调节杆11采用轴承13支撑于镀膜腔室4的侧壁上，使得最外层的调节杆11能够相对于镀膜腔室4的侧壁旋转。在相邻的两个调节杆11中，外层的调节杆11内部设置有若干个轴承13，若干个轴承13沿着调节杆11的轴向设置，用于对内层的调节杆11进行支撑，由此，相邻的调节杆11之间可以相对旋转。

参照图1，最外层的调节杆11与镀膜腔室4侧壁之间设置有密封结构14，相邻的调节杆11之间也设置有密封结构14。密封结构14可以是套设于调节杆11外部的回转密封圈，由此，在镀膜过程中，通过旋转调节杆11调节子挡板31与固定挡板7之间的距离时，能够阻断镀膜腔室4内部与外部的气体交换。

参照图1和图2，在镀膜腔室4内，相邻的两个调节杆11中，内层调节杆11从外层调节杆11伸出。传动组件2包括设置于调节杆11外部并与调节杆11同轴的齿轮21，相应的子挡板31靠近调节组件1的一侧表面设置有齿条22，齿轮21与齿条22相啮合。当转动调节杆11时，齿轮21能够通过齿条22带动挡板组件3靠近或远离固定挡板7，从而调整子挡板31与固定挡板7之间的开口范围。

容易理解的是，在本申请中，传动组件2并不限于采用前述的齿轮21和齿条22配合的形式，也可以采用其他的传动形式，只要能够在调节杆11旋转时带动相应的子挡板31运动即可。例如，传动组件2可以包括曲柄和连杆，曲柄与调节杆11的外表面垂直固定连接，连杆的一端与曲柄远离调节杆11的一端铰接，连杆的另一端与相应的子挡板31靠近调节杆11的表面铰接。当调节杆11旋转时，通过曲柄带动连杆运动，从而进一步带动子挡板31运动。

参照图1，挡板组件3包括若干个子挡板31。在本申请中，子挡板31的数量可以根据需要进行设置，子挡板31沿着固定挡板7的长度方向依次设置，每个子挡板31在镀膜腔室4内可以沿着其所在平面作靠近或远离固定挡板7的运动，每个子挡板31均与一个调节杆11对应。在沿着固定挡板7的长度方向上，子挡板31设置的数量越多，则每个子挡板31沿着固定挡板7的长度方向的尺寸越小，此时，可以将每个子挡板31设置为相同的尺寸，由此，可以提高膜层厚度的均匀性调整的精度。

在本申请中，同一个调节杆11也可以与多个传动组件2对应，每个传动组件2对应一个子挡板31，当调节杆11转动时，能够同时带动多个子挡板31运动。

容易理解的是，以磁控溅射镀膜为例，由于镀膜源5的两端的磁力线为发散状态，中部磁力线较为均匀，在镀膜过程中，待镀工件6与镀膜源5两端对应的区域的镀膜速度相对于与镀膜源5中部对应的区域较慢。因此，参照图1，可以将子挡板31的数量设置为三个。其中，位于两端的子挡板31在固定挡板7长度方向上的尺寸小于中间的子挡板31在固定挡板7长度方向上的尺寸，两端子挡板31的尺寸相同。由此，可以通过两端的子挡板31对相应区域的镀膜厚度进行调节，从而降低频繁操作的工作量。本领域技术人员也可以根据需要设定子挡板31的数量和尺寸。

本申请提供的一种在线式镀膜均匀性调整机构的工作原理为：

在真空镀膜过程中，根据膜厚测量系统的测量数据，操作人员可转动调节杆11使相应的子挡板31作靠近或远离固定挡板7的运动，子挡板31与固定挡板7之间的开口范围的变化能够影响膜材通过该开口的量，从而达到调节待镀工件6上膜层厚度的目的。

本申请提供的在线式镀膜均匀性调整机构，采用同轴设置的多个调节杆11带动子挡板31运动，简化了镀膜均匀性调整机构的结构，使其结构更紧凑。

以上为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种在线式镀膜均匀性调整机构，其特征在于，包括：

调节组件（1），所述调节组件（1）包括从外到内依次同轴设置且能够相对旋转的若干个调节杆（11），在镀膜腔室（4）内部，位于内层的调节杆（11）从位于外层的调节杆（11）内伸出，位于最外层的所述调节杆（11）的一端从镀膜腔室（4）的侧壁穿出；在镀膜过程中，所述调节组件（1）能够使镀膜腔室（4）内保持密闭状态；

若干个传动组件（2），所述传动组件（2）的数量与所述调节杆（11）的数量相同，若干个所述传动组件（2）与若干个所述调节杆（11）位于镀膜腔室（4）内部的部分一一对应传动连接；

挡板组件（3），与若干个传动组件（2）传动连接，所述挡板组件（3）包括若干个子挡板（31），所述子挡板（31）的数量与所述传动组件（2）的数量相同且一一对应，所述子挡板（31）能够在调节杆（11）和传动组件（2）的带动下运动从而调节子挡板（31）与设置于镀膜腔室（4）内的固定挡板（7）之间的开口范围。

2.根据权利要求1所述的一种在线式镀膜均匀性调整机构，其特征在于，位于最外层的所述调节杆（11）与镀膜腔室（4）侧壁之间以及相邻的调节杆（11）之间均设置有密封结构（14）。

3.根据权利要求1所述的一种在线式镀膜均匀性调整机构，其特征在于，若干个所述子挡板（31）沿着固定挡板（7）长度方向的尺寸相同。

4.根据权利要求1所述的一种在线式镀膜均匀性调整机构，其特征在于，当子挡板（31）的数量为三个时，位于中间的子挡板（31）沿着固定挡板（7）长度方向的尺寸大于位于两端的子挡板（31）沿着固定挡板（7）长度方向的尺寸，并且位于两端的子挡板（31）的尺寸相同。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种在线式镀膜均匀性调整机构，其特征在于，所述传动组件（2）包括设置于调节杆（11）外表面的齿轮（21），所述子挡板（31）靠近调节组件（1）的一侧表面设置有齿条（22），所述齿轮（21）与所述齿条（22）啮合。

6.根据权利要求1-4任一项所述的一种在线式镀膜均匀性调整机构，其特征在于，所述传动组件（2）包括曲柄和连杆，所述曲柄垂直于调节杆（11）外表面并与调节杆（11）固定连接，所述连杆的一端与所述曲柄远离调节杆（11）的一端铰接，所述连杆的另一端与子挡板（31）靠近调节杆（11）的一侧表面铰接。

7.根据权利要求1所述的一种在线式镀膜均匀性调整机构，其特征在于，相邻的两个所述调节杆（11）中，内层的所述调节杆（11）的远离传动组件（2）的一端位于外层的所述调节杆（11）的内部；

所述调节杆（11）远离传动组件（2）的一端的端部设置有槽口（12）。

8.根据权利要求7所述的一种在线式镀膜均匀性调整机构，其特征在于，所述调节杆（11）远离传动组件（2）的一端的端部设置有刻度。

9.根据权利要求1所述的一种在线式镀膜均匀性调整机构，其特征在于，相邻的两个所述调节杆（11）中，内层的所述调节杆（11）远离传动组件（2）的一端从外层的所述调节杆（11）伸出。

10.根据权利要求9所述的一种在线式镀膜均匀性调整机构，其特征在于，所述调节杆（11）远离传动组件（2）的一端的外侧表面压制有平面或设置有螺母。

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