CN214237569U - 用于划片机θ转轴调平装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属晶圆划片机调平领域，尤其涉及一种用于划片机θ转轴调平装置，包括滑板（1）；在所述滑板（1）四周分别垂直固定设有4个θ转轴调平部件（2、3）；所述θ转轴调平部件（2、3）上部设有θ转轴基准板（4）；所述θ转轴基准板（4）通过穿过调整地脚锚栓螺栓间隙孔（23）的内六角圆柱头螺柱（5）与滑板（1）固定相接；所述θ转轴基准板（4）之上固定设有DD马达（6）；在所述DD马达（6）动力输出端固定设有转动平台（7）；在所述转动平台（7）之上设有负压吸盘。本实用新型可实现调节负压吸盘的水平度，显著提升晶圆片的成品率和切割质量。

Description

用于划片机θ转轴调平装置

技术领域

本实用新型属晶圆划片机调平领域，尤其涉及一种用于划片机θ转轴调平装置。

背景技术

当前我国自主生产的晶圆划片机主要分为砂轮划片机和激光划片机。待切割晶圆片分为有图形沟槽晶圆片以及无图形晶圆片。无论有无图形晶圆片均需将晶圆片至于负压吸盘上方，当θ转轴随着Ｘ轴直线运动，负压吸盘的水平度影响晶圆片各个位置上的切割深度。

现有的砂轮划片机调节水平的机构安装调平复杂，需要重复的拆装θ转轴，通过磨削调节柱的高度调节水平。因此设计一个便捷、可靠和可重复调整的调整装置是十分必要的。

实用新型内容

本实用新型旨在克服现有技术的不足之处而提供一种可实现调节负压吸盘的水平度，显著提升晶圆片的成品率和切割质量的用于划片机θ转轴调平装置。

为解决上述技术问题，本实用新型是这样实现的：

一种用于划片机θ转轴调平装置，包括滑板，在所述滑板四周分别垂直固定设有4个θ转轴调平部件；所述θ转轴调平部件上部设有θ转轴基准板；所述θ转轴基准板通过穿过调整地脚锚栓螺栓间隙孔的内六角圆柱头螺柱与滑板固定相接；所述θ转轴基准板之上固定设有DD马达；在所述DD马达动力输出端固定设有转动平台；在所述转动平台之上设有负压吸盘。

作为一种优选方案，本实用新型所述θ转轴调平部件包括调整地脚锚栓与调整地脚；所述调整地脚位于调整地脚锚栓之上；所述调整地脚锚栓与所述滑板上的沉孔螺纹相接；所述调整地脚与θ转轴基准板上的基准孔相配合。

进一步地，本实用新型所述调整地脚锚栓的顶部呈球碗面，且其球面直径与调整地脚的球头面直径相等。

本实用新型中调节安放晶圆的转动平台可以通过θ转轴调平部件任意调节转动平台的水平度，通过旋转调整地脚锚栓调节螺纹，使调整地脚锚栓的球碗与调整地脚的球面接触调整θ转轴基准板水平度，不存在现有技术在调整过程中配磨支撑柱的方式调节转动平台的水平度的情况。与现有的划片机的θ转轴调平装置相比，本实用新型在调节的便捷性方面、以及安装后的稳定性方面有良好的实用性。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步说明。本实用新型的保护范围不仅局限于下列内容的表述。

图1为本实用新型整体结构示意图；

图2为本实用新型θ转轴调平部件装配示意图；

图3为本实用新型调整地脚锚栓结构示意图；

图4为本实用新型调整地脚锚栓剖面图；

图5为本实用新型调整地脚剖面图。

图中：1、滑板；2、调整地脚锚栓；3、调整地脚；4、θ转轴基准板；5、内六角圆柱头螺柱；6、DD马达；7、转动平台；21、调整地脚锚栓细牙螺纹；22、调整地脚锚栓调整接触球面；23、调整地脚锚栓螺栓间隙孔；31、调整地脚球头接触面；32、调整地脚销孔配合面；33、调整地脚螺栓间隙孔。

具体实施方式

如图所示，用于划片机θ转轴调平装置，包括滑板1，在所述滑板1四周分别垂直固定设有4个θ转轴调平部件；所述θ转轴调平部件上部设有θ转轴基准板4；所述θ转轴基准板4通过穿过调整地脚锚栓螺栓间隙孔23的内六角圆柱头螺柱5与滑板1固定相接；所述θ转轴基准板4之上固定设有DD马达6；在所述DD马达6动力输出端固定设有转动平台7；在所述转动平台7之上设有负压吸盘。

本实用新型所述θ转轴调平部件包括调整地脚锚栓2与调整地脚3；所述调整地脚3位于调整地脚锚栓2之上；所述调整地脚锚栓2与所述滑板1上的沉孔螺纹相接；所述调整地脚3与θ转轴基准板4上的基准孔相配合。

本实用新型所述调整地脚锚栓2的顶部呈球碗面，且其球面直径与调整地脚3的球头面直径相等。

在具体设计时，本实用新型主要包括：滑板1、调整地脚锚栓2、调整地脚3、θ转轴基准板4及内六角圆柱头螺柱5。

本实用新型调整地脚锚栓2的螺纹部分与滑板1的沉头螺纹孔相配合，内六角圆柱头螺柱5下端与滑板1的沉头螺纹孔内部的螺纹孔相配合。θ转轴基准板4的圆柱销孔与调整地脚3的圆柱面相配合，其配合公差为H7/g6配合。

本实用新型所述调整地脚锚栓2上的螺纹为细牙螺纹，并在调整地脚锚栓2的外轮廓加工两个平行的平面便于使用活扳手旋紧或旋松。

本实用新型滑板1与θ转轴基准板4上沉头螺纹孔及圆柱销孔需要均布分别加工在四个角上，方便四角的水平调节。

参考图1～2，用于划片机θ转轴调平装置，其中滑板1需要预先固定在划片机X轴的导轨滑块上，θ转轴调平部件安装在其上。先将调整地脚锚栓2通过螺纹连接拧入滑板1内，将调整地脚3销孔配合一端插入θ转轴基准板4的销孔内。将带有调整地脚3的θ转轴基准板4安放在调整地脚锚栓2的调整地脚锚栓调整接触球面22内。将内六角圆柱头螺柱5套上弹垫和平垫后从θ转轴基准板4一侧穿入到θ转轴基准板4、调整地脚3、调整地脚锚栓2及滑板1内并拧紧内六角圆柱头螺柱5。将调整地脚锚栓2及调整地脚3通过内六角圆柱头螺柱5压紧在θ转轴基准板4与滑板1之间。使用框式水平仪测量X、Y两个方向的水平度。当X、Y的水平度未达到技术要求时，拧松内六角圆柱头螺柱5，使用活扳手卡住调整地脚锚栓2的两个平行的平面，使其旋转调整地脚锚栓2调节滑板1与θ转轴基准板4之间的高度，达到一个调节水平的效果，最后拧紧内六角圆柱头螺柱5。

本实用新型所述θ转轴基准板上方固定DD马达以及防水支撑架，所述的DD马达6上方固定用于安放晶圆的转动平台7。通过调节θ转轴调平部件来达到调平主轴基准板4继而调平用于安放晶圆的转动平台。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (3)

1.一种用于划片机θ转轴调平装置，包括滑板（1），其特征在于：在所述滑板（1）四周分别垂直固定设有4个θ转轴调平部件（2、3）；所述θ转轴调平部件（2、3）上部设有θ转轴基准板（4）；所述θ转轴基准板（4）通过穿过调整地脚锚栓螺栓间隙孔（23）的内六角圆柱头螺柱（5）与滑板（1）固定相接；所述θ转轴基准板（4）之上固定设有DD马达（6）；在所述DD马达（6）动力输出端固定设有转动平台（7）；在所述转动平台（7）之上设有负压吸盘。

2.根据权利要求1所述用于划片机θ转轴调平装置，其特征在于：所述θ转轴调平部件（2、3）包括调整地脚锚栓（2）与调整地脚（3）；所述调整地脚（3）位于调整地脚锚栓（2）之上；所述调整地脚锚栓（2）与所述滑板（1）上的沉孔螺纹相接；所述调整地脚（3）与θ转轴基准板（4）上的基准孔相配合。

3.根据权利要求2所述用于划片机θ转轴调平装置，其特征在于：所述调整地脚锚栓（2）的顶部呈球碗面，且其球面直径与调整地脚（3）的球头面直径相等。

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