CN214204263U - 一种980nm半导体激光叠阵合束装置 - Google Patents

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李再金
杨隆杰
袁毅
杨云帆
赵志斌
陈浩
李林
乔忠良
曾丽娜
曲轶
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Abstract

本发明公开了一种980nm半导体激光叠阵合束装置,包括第一个980nm半导体激光叠阵模块(1)、第二个980nm半导体激光叠阵模块(2)、第一组准直镜(3)、第二组准直镜(4)、V型棱镜(5)、聚焦镜(6)。V型棱镜(5)包括上底面(5‑1)、第一下底面(5‑2)、第二下底面(5‑3)、第一外侧腰面(5‑4)、第二外侧腰面(5‑5)、第一内侧腰面(5‑6)和第二内侧腰面(5‑7)。980nm半导体激光叠阵模块(1)和(2)分别经过准直镜(3)和(4)通过V型棱镜(5)两次全反射后再通过聚焦镜镜(7),实现980nm半导体激光叠阵合束输出。

Description

一种980nm半导体激光叠阵合束装置
技术领域
本发明涉及高功率半导体激光技术领域,特别涉及一种980nm半导体激光叠阵合束装置。
背景技术
高功率980nm半导体激光以体积小、重量轻、电光转换高等优点,作为光纤放大器、光纤激光器和全固态固体激光器的泵浦源,以及在通讯、军事和医疗等领域的广泛应用。高功率980nm半导体激光因其出光发散角大、成椭圆形高斯光束和光质量差等缺点,不能直接用于加工和军事等领域。为了加快高功率980nm半导体激光直接应用,提出了一种980nm半导体激光叠阵合束装置,能有效地提高980nm半导体激光输出光功率。
发明内容
本发明的目的在于提出一种980nm半导体激光叠阵合束装置。
一种980nm半导体激光叠阵合束装置,包括第一个980nm半导体激光叠阵模块(1)、第二个980nm半导体激光叠阵模块(2)、第一组准直镜(3)、第二组准直镜(4)、V型棱镜(5)、聚焦镜(6)。
其特征在于:
第一个980nm半导体激光叠阵模块(1),包括5个长度为20厘米的bar条,每个bar条发射半导体激光波长为980nm。
第二个980nm半导体激光叠阵模块(2),包括5个长度为20厘米的bar条,每个bar条发射半导体激光波长为980nm。
第一组准直镜(3),前后表面镀有221nm TiO2/117nm SiO2/191nm TiO2/114nmSiO2的光学膜。
第二组准直镜(4),前后表面镀有221nm TiO2/117nm SiO2/191nm TiO2/114nmSiO2的光学膜。
V型棱镜(5)包括上底面(5-1)、第一下底面(5-2)、第二下底面(5-3)、第一外侧腰面(5-4)、第二外侧腰面(5-5)、第一内侧腰面(5-6)和第二内侧腰面(5-7);第一外侧腰面(5-4)和第一下底面(5-2)成45°角;第一内侧腰面(5-6)和第一下底面(5-2)成135°角;第二外侧腰面(5-5)和第二下底面(5-3)成45°角;第二内侧腰面(5-7)和第二下底面(5-3)成135°角;上底面(5-1)、第一下底面(5-2)和第二下底面(5-3)镀有221nm TiO2/117nm SiO2/191nm Ti O2/114nm SiO2的光学膜。
聚焦镜(6)前后表面镀有221nm TiO2/117nm SiO2/191nm TiO2/114nm SiO2的光学膜。
附图说明
图1是本发明具体实施方式的装置图。
图2是V型棱镜的结构图。
具体实施方式
下面结合图1和图2对本发明进一步详细说明。
本发明公开了一种980nm半导体激光叠阵合束装置,包括第一个980nm半导体激光叠阵模块(1)、第二个980nm半导体激光叠阵模块(2)、第一组准直镜(3)、第二组准直镜(4)、V型棱镜(5)、聚焦镜(6)。
V型棱镜(5)包括上底面(5-1)、第一下底面(5-2)、第二下底面(5-3)、第一外侧腰面(5-4)、第二外侧腰面(5-5)、第一内侧腰面(5-6)和第二内侧腰面(5-7)。
第一个980nm半导体激光叠阵模块(1)的每个半导体激光bar条光束通过第一组准直镜(3),经准直后垂直入射到V型棱镜(5)的第一下底面(5-2)上,在V型棱镜(5)的第一外侧腰面(5-4)发生全反射,全反射的光束再通过V型棱镜(5)的第一内侧腰面(5-6)发生全反射,接着通过V型棱镜(5)的上底面(5-1)输出第一部分光束。
第二个980nm半导体激光叠阵模块(2)的每个半导体激光bar条光束通过第二组准直镜(4),经准直后垂直入射到V型棱镜(5)的第二下底面(5-3)上,在V型棱镜(5)的第二外侧腰面(5-5)发生全反射,全反射的光束再通过V型棱镜(5)的第二内侧腰面(5-7)发生全反射,接着通过V型棱镜(5)的上底面(5-1)输出第二部分光束。
第一部分光束和第二部分光束再通过聚焦镜(6)实现980nm半导体激光叠阵合束。

Claims (1)

1.一种980nm半导体激光叠阵合束装置,其特征在于,包括第一个980nm半导体激光叠阵模块(1)、第二个980nm半导体激光叠阵模块(2)、第一组准直镜(3)、第二组准直镜(4)、V型棱镜(5)、聚焦镜(6);第一组准直镜(3),前后表面镀有221nm TiO2/117nm SiO2/191nmTiO2/114nm SiO2的光学膜;第二组准直镜(4),前后表面镀有221nm TiO2/117nm SiO2/191nm TiO2/114nm SiO2的光学膜;V型棱镜(5)包括上底面(5-1)、第一下底面(5-2)、第二下底面(5-3)、第一外侧腰面(5-4)、第二外侧腰面(5-5)、第一内侧腰面(5-6)和第二内侧腰面(5-7),第一外侧腰面(5-4)和第一下底面(5-2)成45°角,第一内侧腰面(5-6)和第一下底面(5-2)成135°角,第二外侧腰面(5-5)和第二下底面(5-3)成45°角,第二内侧腰面(5-7)和第二下底面(5-3)成135°角,上底面(5-1)、第一下底面(5-2)和第二下底面(5-3)镀有221nmTiO2/117nm SiO2/191nm Ti O2/114nm SiO2的光学膜;聚焦镜(6)前后表面镀有221nm TiO2/117nm SiO2/191nm TiO2/114nm SiO2的光学膜。
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