CN214177514U

CN214177514U - 压电式麦克风

Info

Publication number: CN214177514U
Application number: CN202023285666.6U
Authority: CN
Inventors: 沈宇; 王凯杰; 石正雨; 童贝
Original assignee: AAC Acoustic Technologies Shenzhen Co Ltd
Current assignee: AAC Technologies Holdings Shenzhen Co Ltd
Priority date: 2020-12-30
Filing date: 2020-12-30
Publication date: 2021-09-10
Anticipated expiration: 2030-12-30

Abstract

本实用新型提供了一种压电式麦克风，包括具有腔体的基底、压电部以及支撑部。压电部设有贯穿其上的缝隙，缝隙将压电部分隔为至少一个可自由振动的压电单元，每一压电单元包括固定部和振动部。振动部具有远离固定部的振动端。压电式麦克风还包括设置于振动端的挡板，挡板包括沿第二方向延伸的主体部，主体部覆盖至少一部分振动端，且主体部靠近缝隙，第二方向垂直于第一方向和压电单元的振动方向。通过在振动端设置挡板，可使压电单元振动过程中，流过缝隙的气体量减少，从而作用在压电单元上的气体量增加，进而提高压电式麦克风的低频灵敏度。

Description

压电式麦克风

【技术领域】

本实用新型涉及声电转换装置技术领域，具体涉及一种压电式麦克风。

【背景技术】

现有技术的悬臂梁式麦克风，压电部为3层(电极/压电层/电极)或5层(电极/压电层/电极/压电层/电极)的悬臂梁结构，压电部设有贯穿其上的缝隙，该缝隙将压电部分隔为至少一个可自由振动的压电单元，缝隙形成于两个压电单元或压电单元与相邻的固定结构之间。现有的结构在声压的作用下，压电膜片振动的过程中，缝隙位置的宽度会变大，导致气体从缝隙中间流过，而作用在压电膜片的气体减少，导致麦克风低频灵敏度降低。

因此，有必要提供一种新的麦克风来解决上述问题。

【实用新型内容】

本实用新型的目的在于提供一种压电式麦克风，可提高压电式麦克风的低频灵敏度。

本实用新型的技术方案如下：一种压电式麦克风，包括具有腔体的基底、压电部以及连接所述基底和所述压电部的支撑部；所述压电部设有贯穿其上的缝隙，所述缝隙将所述压电部分隔为至少一个可自由振动的压电单元，每一所述压电单元包括与所述支撑部连接的固定部和自所述固定部沿第一方向朝所述缝隙延伸出且悬置于所述腔体的振动部，所述第一方向垂直于所述压电单元的振动方向；所述振动部具有远离所述固定部的振动端；所述压电式麦克风还包括设置于所述振动端的挡板，所述挡板包括沿第二方向延伸的主体部，所述主体部覆盖至少一部分所述振动端，且所述主体部靠近所述缝隙；所述第二方向垂直于所述第一方向和所述压电单元的振动方向。

可选的，所述振动部还包括连接所述振动端与所述固定部的连接部，所述连接部包括沿所述第二方向相对且间隔设置的两个侧壁；所述挡板还包括自所述主体部的相对两端沿所述第一方向延伸的两个延伸部，每一所述延伸部覆盖至少一部分所述连接部，且每一所述延伸部靠近一个所述侧壁。

可选的，所述压电单元包括朝向所述腔体的第一侧面和背向所述腔体的第二侧面，所述挡板设置于所述第一侧面和/或所述第二侧面。

可选的，所述挡板包括固定于所述压电单元的上表面、与所述上表面相对间隔设置的下表面以及连接所述上表面和所述下表面的侧表面，所述侧表面包括朝向所述缝隙的第一侧表面，所述第一侧表面为弧型面或为自所述上表面向所述下表面倾斜延伸的斜面。

可选的，所述挡板沿所述压电单元的振动方向的投影至少部分落入所述缝隙内。

可选的，所述挡板包括间隔设置的多个子挡板。

可选的，所述挡板沿所述压电单元的振动方向的高度与所述压电单元厚度的比值范围为：0.05至10。

可选的，所述挡板沿所述压电单元的振动方向的高度与所述压电单元厚度的比值范围为：1至6。

可选的，所述振动端具有背向所述固定部的外表面，所述主体部至所述外表面沿所述第一方向的距离和所述振动部沿所述第一方向的长度的比值范围为：0至0.2。

可选的，所述主体部至所述外表面沿所述第一方向的距离和所述振动部沿所述第一方向的长度的比值范围为：0至0.02。

可选的，所述挡板由多晶硅制成。

可选的，所述基底具有围成所述腔体的环形侧壁，所述支撑部包括固定于所述环形侧壁且相对间隔设置的第一支撑部和第二支撑部，所述压电单元包括通过所述第一支撑部固定于所述环形侧壁的第一压电单元以及通过所述第二支撑部固定于所述环形侧壁并与所述第一压电单元间隔形成所述缝隙的第二压电单元，所述第一压电单元包括固定于所述第一支撑部的第一固定部以及自所述第一固定部延伸出且悬置于所述腔体的第一振动部；所述第一振动部具有远离所述第一固定部的第一振动端；

所述第二压电单元包括通过所述第二支撑部连接于所述环形侧壁且与所述第一固定部相对设置的第二固定部和自所述第二固定部延伸出且悬置于所述腔体的第二振动部，所述第二振动部具有远离所述第二固定部的第二振动端，所述第二振动端与所述第一振动端相对且间隔设置以形成所述缝隙；所述挡板包括固定于所述第一振动端的第一挡板以及固定于所述第二振动端的第二挡板。

可选的，所述基底具有环形侧壁和与所述环形侧壁朝向腔体的一面连接且位于所述腔体内的支撑柱，所述固定部通过所述支撑部连接于所述支撑柱，所述压电单元包括自所述固定部的两侧分别朝相反方向延伸且分别与所述环形侧壁间隔设置的两个所述振动部；两个所述振动部分别通过所述缝隙与所述环形侧壁间隔设置。

本实用新型的有益效果在于：本实用新型提供一种压电式麦克风，包括具有腔体的基底、压电部以及支撑部。压电部设有贯穿其上的缝隙，缝隙将压电部分隔为至少一个可自由振动的压电单元，每一压电单元包括与支撑部连接的固定部和自固定部沿第一方向朝缝隙延伸出且悬置于腔体的振动部，第一方向垂直于压电单元的振动方向。振动部具有远离固定部的振动端。压电式麦克风还包括设置于振动端的挡板，挡板包括沿第二方向延伸的主体部，主体部覆盖至少一部分振动端，且主体部靠近缝隙，第二方向垂直于第一方向和压电单元的振动方向。通过在振动端设置挡板，可使压电单元振动过程中，流过缝隙的气体量减少，从而作用在压电单元上的气体量增加，进而提高压电式麦克风的低频灵敏度。

【附图说明】

图1为本实用新型提供的压电式麦克风的一种结构示意图；

图2为图1所示压电式麦克风中一个压电单元的结构示意图；

图3为图1所示压电式麦克风中挡板的第一种结构示意图；

图4为图1所示压电式麦克风中挡板的第二种结构示意图；

图5为图1所示压电式麦克风中挡板的第三种结构示意图；

图6为图1所示压电式麦克风中挡板的第四种结构示意图；

图7为图1所示压电式麦克风中挡板的第五种结构示意图；

图8为图4所示压电式麦克风中沿X-X方向的第一挡板的剖面结构示意图；

图9为图7所示压电式麦克风中沿Y-Y方向的第一挡板的剖面结构示意图；

图10为图1所示压电式麦克风的振动状态图；

图11为本实用新型提供的压电式麦克风的另一种结构示意图。

【具体实施方式】

下面结合附图和实施方式对本实用新型作进一步说明。

示例性地，请参阅图1至图3，图1为本实用新型提供的压电式麦克风的一种结构示意图；图2为图1所示压电式麦克风中一个压电单元的结构示意图；图3为图1所示压电式麦克风中挡板的第一种结构示意图。本实用新型实施例提供一种压电式麦克风100，包括具有腔体12的基底1和压电部2以及连接基底1和压电部2的支撑部。压电部2设有贯穿其上的缝隙21，缝隙21将压电部2分隔为两个可自由振动的压电单元。每一压电单元包括与支撑部连接的固定部和自固定部沿第一方向B朝缝隙21延伸出且悬置于腔体12的振动部，第一方向B垂直于压电单元的振动方向A。例如，基底1具有围成腔体12的环形侧壁14。支撑部包括固定于环形侧壁14且相对间隔设置的第一支撑部32和第二支撑部34。压电部2包括通过第一支撑部32固定于环形侧壁14的第一压电单元22以及通过第二支撑部34固定于环形侧壁14并与第一压电单元22间隔形成缝隙21的第二压电单元24。第一压电单元22包括固定于第一支撑部32的第一固定部222以及自第一固定部222延伸出且悬置于腔体12的第一振动部224。第一振动部224具有远离第一固定部222的第一振动端2242。

第二压电单元24包括通过第二支撑部34连接于环形侧壁14且与第一固定部222相对设置的第二固定部242和自第二固定部242延伸出且悬置于腔体12的第二振动部244。第二振动部244具有远离第二固定部242的第二振动端2442。第二振动端2442与第一振动端2242相对且间隔设置以形成缝隙21。挡板包括固定于第一振动端2242的第一挡板41以及固定于第二振动端2442的第二挡板42。

在不设置挡板的情况下，在第一压电单元22和第二压电单元24振动过程中，第一压电单元22和第二压电单元24之间的缝隙21会随着第一压电单元22和第二压电单元24的振幅增大而变宽。通过将第一挡板41设置于第一振动端2242，将第二挡板42设置于第二振动端2442，可使第一挡板41随着第一振动端2242一起振动，第二挡板42随着第二振动端2442一起振动。在第一压电单元22和第二压电单元24振幅增大的过程中，第一挡板41和第二挡板42能够起到限制缝隙21宽度变大、阻挡气流的作用，从而增大气体分别流过第一振动端2242和第二振动端2442的距离，使得作用在第一压电单元22和第二压电单元24上的气体量增加，进而提高压电式麦克风100的低频灵敏度。

其中，基底1具有相对设置的第一内壁17和第二内壁18，可以理解的是，第二振动部244自第二固定部242朝向第一内壁17的方向延伸，第一振动部224自第一固定部222朝向第二内壁18的方向延伸，以形成相对且间隔设置的第一振动端2242和第二振动端2442。

下面以第一压电单元22和第一挡板41为例进行具体说明。

示例性的，请结合图1并参阅图2，图1中的第一压电单元22和第二压电单元24沿缝隙21的延伸方向对称设置，图2为图1所示压电式麦克风中一个压电单元的结构示意图。第一压电单元22包括朝向腔体12的第一侧面223和背向腔体12的第二侧面225。第一挡板41设置于第一侧面223和/或第二侧面225。例如，请参阅图2，第一挡板41设置于第一侧面223。当然，在其他一些实施例中，第一挡板41也可以设置在第二侧面225。或者第一挡板41的数量为两个，一个第一挡板41设置于第一侧面223，另一个第一挡板41设置于第二侧面225。可以理解的是，第一挡板41可以只设置在第一侧面223，也可以只设置在第二侧面225，还可以在第一侧面223和第二侧面225均设置第一挡板41。另外，值得说明的是，第二挡板42与第一挡板41可以设置在同一侧面或者不同的侧面，本实施例以第二挡板42和第一挡板41设置在同一侧面，即设置于朝向腔体12的第一侧面223为例进行说明。此外，本实施方式中，第一挡板41和第二挡板42在结构、尺寸和材质上均是相同的，下面对于挡板结构的说明以第一挡板41为例进行说明。当然，在其他一些实施例中，第一挡板41和第二挡板42在结构、尺寸和材质上也可以不同。

示例性的，请继续参阅图2，为了使第一挡板41起到阻挡气流的作用，挡板41沿第一压电单元22振动方向A的高度H₁与第一压电单元22厚度h₁的比值范围为：0.05至10。例如，第一压电单元22的厚度h₁为1微米，则第一挡板41的高度H₁为50纳米至10微米范围内的任意一个厚度值。

其中，优选的，第一挡板41沿第一压电单元22振动方向的高度H₁与第一压电单元22厚度h₁的比值范围为：1至6。可以理解的是，第一挡板41沿第一压电单元22振动方向的高度H₁与第一压电单元22厚度h₁的比值范围处于上述的范围内，H₁：h₁过小，第一挡板41起不到阻挡气流的作用，H₁：h₁过大，第一挡板41和第二挡板42在压电单元工作过程中会碰撞在一起。

示例性的，请继续参阅图2，第一振动端2242具有背向第一固定部222的外表面2242a，第一挡板41包括沿第二方向C延伸的主体部411，主体部411靠近缝隙21。其中，第二方向C垂直于第一方向B和第一压电单元22的振动方向A。具体的，主体部411至外表面2242a沿第一方向B的距离D₁和第一振动部224沿第一方向B的长度L₁的比值范围为：0至0.2，以使得第一挡板41更好的阻挡气流，从而使得作用在第一压电单元22的气体量增加，以提高压电式麦克风的低频灵敏度。

例如，若第一振动部224的长度L₁为400微米，则主体部411至外表面2242a的距离D₁的范围为0至80微米。

其中，优选的，主体部411至外表面2242a沿第一方向B的距离D₁和第一振动部224沿第一方向B的长度L₁的比值范围为：0至0.02。可以理解的是，主体部411至外表面2242a沿第一方向B的距离D₁和第一振动部224沿第一方向B的长度L₁的比值范围越小，第一挡板41所能阻挡的气流量越大，提高压电式麦克风的低频灵敏度的效果越好。

示例性的，第一挡板41的主体部411覆盖至少一部分第一振动端2242。请结合图4并继续参阅图3，图4为图1所示压电式麦克风中挡板的第二种结构示意图。例如，图3和图4中，主体部411沿第一方向B覆盖第一振动端2242的情形。需要说明的是，在其他实施例中，主体部411也可以沿第一方向B覆盖一部分第一振动端2242。

其中，第一振动部224还包括连接第一振动端2242与第一固定部222的连接部2244。连接部2244包括沿第二方向C相对且间隔设置的两个侧壁2244a。第一挡板41还包括自主体部411的相对两端沿第一方向B延伸的两个延伸部412，每一延伸部412覆盖至少一部分连接部2244，且每一延伸部412靠近一个侧壁2244a。例如，请参阅图3，以第一挡板41和放置第一挡板41的第一压电单元22为例，每一延伸部412可以覆盖一部分连接部2244。在其他一些实施例中，如图4，以第一挡板41和放置第一挡板41的第一压电单元22为例，每一延伸部412还可以覆盖连接部2244。相比于延伸部412未覆盖连接部224的情况，本实用新型实施例可以使挡板同时覆盖压电单元的振动端和连接部，进而使得挡板更大程度的发挥阻挡气流的作用。

示例性的，请参阅图5和图6，图5为图1所示压电式麦克风中挡板的第三种结构示意图；图6为图1所示压电式麦克风中挡板的第四种结构示意图。第一挡板41包括固定于第一压电单元22的上表面413、与上表面413相对间隔设置的下表面414以及连接上表面413和下表面414的侧表面。侧表面包括朝向缝隙21的第一侧表面415。其中，如图5所示，第一侧表面415为弧型面，且第一挡板41沿第一压电单元22的振动方向A的投影部分落入缝隙21内。当然，第一侧表面415的形状还可以为其他形状，例如，请参阅图6，第一侧表面415为自上表面413向下表面414倾斜延伸的斜面，且第一挡板41沿第一压电单元22的振动方向A的投影部分落入缝隙21内。第二挡板42的第一侧表面415设置方式可以参照第一挡板41的第一侧表面415，在此不再赘述。

相比于挡板未落入缝隙的情况，本实用新型实施例减小了气体流过缝隙的宽度，从而使作用在压电单元上的气流量增加，进而提高压电式麦克风的低频灵敏度。

示例性的，请参阅图7，图7为图1所示压电式麦克风中挡板的第五种结构示意图。第一挡板41包括间隔设置的多个子挡板416，以减小挡板对压电单元翘曲状态的影响。

在其他一些实施例中，请参阅图4，第一挡板41也可以为一体结构。需要说明的是，第一挡板41结构还可以有其他情形，这里不再赘述。

请参阅图8和图9，图8为图4所示压电式麦克风中沿X-X方向的第一挡板的剖面结构示意图；图9为图7所示压电式麦克风中沿Y-Y方向的第一挡板的剖面结构示意图。以第一压电单元22和第一挡板41为例。其中，第一压电单元22由电极层226和压电薄膜层228构成，每一压电薄膜层228夹设于两个电极层226之间。第一压电单元22可以为三层以上构成的层叠结构，图8和图9中所示的第一压电单元22为五层的层叠结构，加工时可采用刻蚀形成压电单元的这种层叠结构。

其中，如图9所示，第一挡板41可以为间隔设置的多个子挡板416。在其他一些实施例中，如图8所示，第一挡板41也可以一体成型。

第二挡板42的结构可以参照第一挡板41，第二挡板42放置于第二压电单元22的位置可参照第一挡板41放置于第一压电单元41的位置，这里不再赘述。

其中，第一挡板41和第二挡板42均可以由多晶硅制成。

请参阅图10，图10为图1所示压电式麦克风的振动状态图。在压电式麦克风100初始状态为第一压电单元22和第二压电单元24沿第一方向B放置，此时，缝隙21的宽度为W₁。当第一压电单元22和第二压电单元24朝远离腔体12的方向振动且第一振动端2242和第二振动端2442翘曲到最大位置时，气流流过的宽度为W₃。分别在第一振动端2242和第二振动端2442设置第一挡板41和第二挡板42，当第一压电单元22和第二压电单元24朝远离腔体12的方向振动且第一振动端2242和第二振动端2442翘曲到最大位置时，此时气流流过的宽度为W₂。可以看出，W₃小于W₂。

可以理解的是，通过合理布置第一挡板41和第二挡板42的大小和位置，可以改善传统压电式麦克风在振动过程中缝隙扩大的问题，放置的第一挡板41和第二挡板42相当于增大了气体流过的距离，进而降低压电式麦克风的低频灵敏度的损失。当声压作用在压电单元上时，气流会沿着翘曲的弧度从缝隙中流出，放置的挡板可以阻挡气流，从而增大了器件的灵敏度。

此外，现有的压电式麦克风的结构在压电薄膜存在残余应力时，应力释放后会造成压电单元与平面形成一个高度差，导致缝隙位置的宽度变大从而导致较低的低频灵敏度。通过调整挡板的结构或者连接状态，可以改变振动部的刚度和等效质量，调整振动系统的谐振频率，且能优化压电单元在残余应力作用下的翘曲高度。

需要说明的是，压电式麦克风100的结构并不限于上述实施例所述，示例性的，请参阅图11，图11为本实用新型提供的压电式麦克风的另一种结构示意图。基底1还可以具有环形侧壁14和与环形侧壁14朝向腔体12的一面连接其位于腔体12内的支撑柱16，固定部201通过支撑部30连接于支撑柱16。缝隙21将压电部2分隔为一个可自由振动的压电单元20。压电单元20包括与支撑部30连接的固定部201和自固定部201沿第一方向B朝缝隙21延伸出且悬置于腔体12的两个振动部202。其中，两个振动部202为自固定部201的两侧分别朝相反方向延伸形成，且每一振动部202与环形侧壁14间隔设置，诸如两个振动部202分别通过缝隙21与环形侧壁14间隔设置。

压电单元20的两个振动部202均具有远离固定部201的振动端2022，缝隙21位于环形侧壁14与振动端2022之间，以使得环形侧壁14与每一振动端2022之间均可以形成供气体通过的通道。比如，基底1具有相对设置的第一内壁17和第二内壁18，缝隙21的一部分形成于第一内壁17与一个振动部202的振动端2022之间，缝隙21的一部分形成于第二内壁18与另一个振动部202的振动端2022之间。可以理解的是，两个振动部202分别自固定部201朝向第一内壁17和第二内壁18延伸，且一个振动部202与第一内壁17间隔设置，另一个振动部202与第二内壁18间隔设置。

挡板40的结构可以为如上所述的第一挡板41的任一种结构，比如，挡板40可以仅包括主体部411，再比如，挡板也可以包括主体部411和两个延伸部412。

本实用新型实施例中，挡板40放置于压电单元20振动端2022的位置可参照上述实施例中第一挡板41放置于第一压电单元22第一振动端2242的位置，在此不再赘述。

其中，每一振动端2022均设置有挡板40，挡板40可以与振动端2022一起振动，相对于未在振动端2022设置挡板40，本实用新型实施例可以增大气体流过振动端2022与环形侧壁14所形成的通道的距离，从而作用在压电单元的气体量增加，进而提高压电式麦克风的低频灵敏度。

以上所述的仅是本实用新型的实施方式，在此应当指出，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型创造构思的前提下，还可以做出改进，但这些均属于本实用新型的保护范围。

Claims

1.一种压电式麦克风，包括具有腔体的基底、压电部以及连接所述基底和所述压电部的支撑部；所述压电部设有贯穿其上的缝隙，所述缝隙将所述压电部分隔为至少一个可自由振动的压电单元，每一所述压电单元包括与所述支撑部连接的固定部和自所述固定部沿第一方向朝所述缝隙延伸出且悬置于所述腔体的振动部，所述第一方向垂直于所述压电单元的振动方向；所述振动部具有远离所述固定部的振动端；其特征在于，所述压电式麦克风还包括设置于所述振动端的挡板，所述挡板包括沿第二方向延伸的主体部，所述主体部覆盖至少一部分所述振动端，且所述主体部靠近所述缝隙；所述第二方向垂直于所述第一方向和所述压电单元的振动方向。

2.根据权利要求1所述的压电式麦克风，其特征在于：所述振动部还包括连接所述振动端与所述固定部的连接部，所述连接部包括沿所述第二方向相对且间隔设置的两个侧壁；所述挡板还包括自所述主体部的相对两端沿所述第一方向延伸的两个延伸部，每一所述延伸部覆盖至少一部分所述连接部，且每一所述延伸部靠近一个所述侧壁。

3.根据权利要求1或2所述的压电式麦克风，其特征在于：所述压电单元包括朝向所述腔体的第一侧面和背向所述腔体的第二侧面，所述挡板设置于所述第一侧面和/或所述第二侧面。

4.根据权利要求3所述的压电式麦克风，其特征在于：所述挡板包括固定于所述压电单元的上表面、与所述上表面相对间隔设置的下表面以及连接所述上表面和所述下表面的侧表面，所述侧表面包括朝向所述缝隙的第一侧表面，所述第一侧表面为弧型面或为自所述上表面向所述下表面倾斜延伸的斜面。

5.根据权利要求4所述的压电式麦克风，其特征在于：所述挡板沿所述压电单元的振动方向的投影至少部分落入所述缝隙内。

6.根据权利要求3所述的压电式麦克风，其特征在于：所述挡板包括间隔设置的多个子挡板。

7.根据权利要求3所述的压电式麦克风，其特征在于：所述挡板沿所述压电单元的振动方向的高度与所述压电单元厚度的比值范围为：0.05至10。

8.根据权利要求7所述的压电式麦克风，其特征在于：所述挡板沿所述压电单元的振动方向的高度与所述压电单元厚度的比值范围为：1至6。

9.根据权利要求3所述的压电式麦克风，其特征在于：所述振动端具有背向所述固定部的外表面，所述主体部至所述外表面沿所述第一方向的距离和所述振动部沿所述第一方向的长度的比值范围为：0至0.2。

10.根据权利要求9所述的压电式麦克风，其特征在于：所述主体部至所述外表面沿所述第一方向的距离和所述振动部沿所述第一方向的长度的比值范围为：0至0.02。

11.根据权利要求1或2所述的压电式麦克风，其特征在于：所述挡板由多晶硅制成。

12.根据权利要求3所述的压电式麦克风，其特征在于：所述基底具有围成所述腔体的环形侧壁，所述支撑部包括固定于所述环形侧壁且相对间隔设置的第一支撑部和第二支撑部，所述压电部包括通过所述第一支撑部固定于所述环形侧壁的第一压电单元以及通过所述第二支撑部固定于所述环形侧壁并与所述第一压电单元间隔形成所述缝隙的第二压电单元，所述第一压电单元包括固定于所述第一支撑部的第一固定部以及自所述第一固定部延伸出且悬置于所述腔体的第一振动部；所述第一振动部具有远离所述第一固定部的第一振动端；

13.根据权利要求3所述的压电式麦克风，其特征在于：所述基底具有环形侧壁和与所述环形侧壁朝向腔体的一面连接且位于所述腔体内的支撑柱，所述固定部通过所述支撑部连接于所述支撑柱，所述压电单元包括自所述固定部的两侧分别朝相反方向延伸且分别与所述环形侧壁间隔设置的两个所述振动部；两个所述振动部分别通过所述缝隙与所述环形侧壁间隔设置。