CN214175979U - 一种用于晶圆清洗的甩干设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于晶圆生产领域，具体为一种用于晶圆清洗的甩干设备，包括机体、排水槽、甩干机门、门把手、门体控制机构、甩干驱动机构，还包括晶圆片固定机构，所述晶圆片固定机构包括固定框架、泄水孔、滑槽、活动底板、滚轮、底板推杆、前挡板，所述固定框架下方内部两侧设置有所述滑槽，所述固定框架侧壁和顶部设置有所述泄水孔，所述活动底板设置在所述滑槽之间，所述滚轮设置在所述活动底板两侧。通过本实用新型采用的一种底板可以伸出的晶圆片固定机构，需要放置晶圆时，底板伸出，此时将晶圆托盘从上而下放到底板上，不用再伸长手臂将晶圆托盘向甩干装置内部进行放置，减少晶圆的磕碰风险，提高生产良品率。

Description

一种用于晶圆清洗的甩干设备

技术领域

本实用新型属于晶圆生产领域，具体是涉及一种用于晶圆清洗的甩干设备。

背景技术

晶圆在生产过程中需要经历清洗和甩干。当前市面上晶圆的甩干设备由于其体积较大，需要人力将晶圆托盘伸进机体内部来放置，其晶圆质量较大，在进行放置时产生造成磕碰从而对晶圆造成损害影响良品率。

实用新型内容

本实用新型的目的就在于提供一种用于晶圆清洗的甩干设备。

本实用新型所采用的的技术方案如下：

一种用于晶圆清洗的甩干设备，包括机体、排水槽、甩干机门、门把手、门体控制机构、甩干驱动机构，还包括晶圆片固定机构，所述晶圆片固定机构包括固定框架、泄水孔、滑槽、活动底板、滚轮、底板推杆、前挡板，所述固定框架下方内部两侧设置有所述滑槽，所述固定框架侧壁和顶部设置有所述泄水孔，所述活动底板设置在所述滑槽之间，所述滚轮设置在所述活动底板两侧，所述底板推杆设置在所述固定框架一侧，所述前挡板设置在所述活动底板前方。

优选地：所述机体的内部下方设置有所述排水槽，所述机体前方设置有所述甩干机门，所述甩干机门前方一侧设置有所述门把手。

优选地：所述固定框架下方成型有所述滑槽，所述固定框架上成型有所述泄水孔，所述滚轮与所述活动底板通过轴承连接，所述底板推杆与所述滑槽滚动连接，所述底板推杆的固定部与所述固定框架通过螺栓连接，所述前挡板与所述活动底板通过螺栓连接，所述底板推杆的伸缩部与所述前挡板通过螺栓连接。

优选地：所述机体下方成型有所述排水槽，所述甩干机门与所述门把手通过螺栓连接。

优选地：所述门体控制机构包括合页、推杆固定座、门体推杆、门体转轴、伸缩部固定座，所述合页设置在所述机体和所述甩干机门的一侧，所述推杆固定座设置在所述机体内侧底部，所述门体推杆的固定部设置在所述推杆固定座上方，所述门体转轴设置在所述门体推杆的伸缩部一侧，所述伸缩部固定座设置在所述甩干机门后部，所述门体转轴在所述伸缩部固定座内侧。

优选地：所述合页与所述机体通过螺栓连接，所述合页与所述甩干机门通过螺栓连接，所述推杆固定座与所述机体通过螺栓连接，所述门体推杆的固定部与所述推杆固定座通过轴承连接，所述门体转轴成型在所述门体推杆的伸缩部上，所述伸缩部固定座与所述甩干机门通过螺栓连接，所述门体转轴与所述伸缩部固定座通过轴承连接。

优选地：所述门体控制机构包括机体转轴固定座、门体长转轴、门体连接座、门体电机、门体主动齿轮、门体从动齿轮，所述机体转轴固定座设置在所述机体外部一侧，所述门体长转轴设置在所述机体转轴固定座内侧，所述门体连接座设置在所述甩干机门一侧在所述机体转轴固定座上方，所述门体电机设置在所述机体一侧在所述门体连接座后部，所述门体主动齿轮设置在所述门体电机的输出轴外侧，所述门体从动齿轮设置在所述门体主动齿轮前方在所述门体长转轴外侧。

优选地：所述机体转轴固定座与所述机体通过螺栓连接，所述门体长转轴与所述机体转轴固定座通过轴承连接，所述门体连接座与所述甩干机门通过螺栓连接，所述门体长转轴与所述门体连接座通过螺栓连接，所述门体电机与所述机体通过螺栓连接，所述门体主动齿轮与所述门体电机的输出轴键连接，所述门体从动齿轮与所述门体主动齿轮相啮合，所述门体从动齿轮成型在所述门体长转轴。

优选地：所述甩干驱动机构包括主轴套筒、主轴、甩干从动齿轮、甩干主动齿轮、甩干电机，所述主轴套筒设置在所述机体内侧后部，所述主轴设置在所述主轴套筒内侧，所述甩干从动齿轮设置在所述主轴前方外侧，所述固定框架设置在所述主轴前方，所述甩干主动齿轮设置在所述甩干从动齿轮下方，所述甩干电机设置在所述甩干主动齿轮后方。

优选地：所述主轴套筒与所述机体通过螺栓连接，所述主轴与所述主轴套筒通过轴承连接，所述甩干从动齿轮与所述主轴通过键连接，所述固定框架与所述主轴通过螺栓连接，所述甩干主动齿轮与所述甩干从动齿轮相啮合，所述甩干电机与所述甩干主动齿轮通过螺栓连接。

上述结构中，需要对晶圆片进行甩干时，所述门体推杆拉伸带动所述甩干机门沿所述合页的转轴转动向外开启，所述晶圆片固定机构中的所述底板推杆拉伸带动所述前挡板、所述活动底板和所述滚轮向前移动，所述活动底板后半部保留在所述固定框架内，将盛放有晶圆片的晶圆托盘放到所述活动底板上方，然后所述底板推杆收缩带动所述活动底板、所述前挡板、所述滚轮以及在所述活动底板上方的晶圆片向后移动，运动至指定位置后所述底板推杆停止收缩，紧接着所述门体推杆收缩带动所述甩干机门沿所述合页的转轴转动将所述机体闭合，然后所述甩干电机转动带动所述甩干主动齿轮、甩干从动齿轮和主轴同步转动，所述主轴带动所述晶圆片固定机构转动利用离心力将所述晶圆片固定机构内部的晶圆片进行甩干。

本实用新型的有益效果为：采用了一种底板可以伸出的晶圆片固定机构，需要放置晶圆时，底板伸出，此时将晶圆托盘从上而下放到底板上，不用再伸出手臂将晶圆托盘往甩干装置内部进行放置，减少晶圆的磕碰风险，提高生产良品率。

附图说明

附图是用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本实用新型，但并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1是本实用新型所述一种用于晶圆清洗的甩干设备的实施例1立体视图；

图2是本实用新型所述一种用于晶圆清洗的甩干设备的实施例2立体视图；

图3是本实用新型所述一种用于晶圆清洗的甩干设备的实施例1内部结构示意图；

图4是本实用新型所述一种用于晶圆清洗的甩干设备的实施例2内部结构示意图；

图5是本实用新型所述一种用于晶圆清洗的甩干设备的门体控制机构实施例1结构示意图；

图6是本实用新型所述一种用于晶圆清洗的甩干设备的门体控制机构实施例2结构示意图；

图7是本实用新型所述一种用于晶圆清洗的甩干设备晶圆片固定机构的爆炸视图；

图8是本实用新型所述一种用于晶圆清洗的甩干设备甩干驱动机构的零件示意图。

附图标记说明如下：

1、机体；2、排水槽；3、甩干机门；4、门把手；5、门体控制机构；51、合页；52、推杆固定座；53、门体推杆；54、门体转轴；55、伸缩部固定座；511、机体转轴固定座；512、门体长转轴；513、门体连接座；514、门体电机；515、门体主动齿轮；516、门体从动齿轮；6、晶圆片固定机构；61、固定框架；62、泄水孔；63、滑槽；64、活动底板；65、滚轮；66、底板推杆；67、前挡板；7、甩干驱动机构；71、主轴套筒；72、主轴；73、甩干从动齿轮；74、甩干主动齿轮；75、甩干电机。

具体实施方式

下面通过实施例结合附图进一步说明本实用新型。

实施例1

如图1、图3、图5、图7、图8所示，一种用于晶圆清洗的甩干设备，包括机体1、排水槽2、甩干机门3、门把手4、门体控制机构5、甩干驱动机构7，还包括晶圆片固定机构6，晶圆片固定机构6包括固定框架61、泄水孔62、滑槽63、活动底板64、滚轮65、底板推杆66、前挡板67，固定框架61下方内部两侧设置有滑槽63，固定框架61侧壁和顶部设置有泄水孔62，活动底板64设置在滑槽63之间，滚轮65设置在活动底板64两侧，底板推杆66设置在固定框架61一侧，前挡板67设置在活动底板64前方，泄水孔62用于在晶圆片固定机构6转动时将晶圆片上的水排出，滑槽63用于使活动底板64两侧的滚轮65能在滑槽63内部活动从而使活动底板64能够向前或向后移动，前挡板67用于连接活动底板64和滚轮65的伸缩部同时起到固定晶圆片托盘的作用，底板推杆66用于控制前挡板67前后移动从而控制活动底板64前后移动；

机体1的内部下方设置有排水槽2，机体1前方设置有甩干机门3，甩干机门3前方一侧设置有门把手4，3用于开启或闭合机体1，门把手4用于在门体控制机构5失效时手动开启或关闭甩干机门3；

门体控制机构5包括合页51、推杆固定座52、门体推杆53、门体转轴54、伸缩部固定座55，合页51设置在机体1和甩干机门3的一侧，推杆固定座52设置在机体1内侧底部，门体推杆53的固定部设置在推杆固定座52上方，门体转轴54设置在门体推杆53的伸缩部一侧，伸缩部固定座55设置在甩干机门3后部，门体转轴54在伸缩部固定座55内侧，合页51用于连接甩干机门3和门把手4并使甩干机门3能够沿合页51的转轴转动，推杆固定座52用于固定门体推杆53的固定部并使门体推杆53的固定部可以沿与推杆固定座52连接部位的的连接轴周向转动，门体转轴54用于连接门体推杆53和伸缩部固定座55并能够在伸缩部固定座55内部转动；

甩干驱动机构7包括主轴套筒71、主轴72、甩干从动齿轮73、甩干主动齿轮74、甩干电机75，主轴套筒71设置在机体1内侧后部，主轴72设置在主轴套筒71内侧，甩干从动齿轮73设置在主轴72前方外侧，固定框架61设置在主轴72前方，甩干主动齿轮74设置在甩干从动齿轮73下方，甩干电机75设置在甩干主动齿轮74后方，主轴套筒71用于固定主轴72并使主轴72可以在主轴套筒71内部转动，主轴72用于连接甩干从动齿轮73和晶圆片固定机构6，甩干电机75用于带动甩干主动齿轮74转动，甩干主动齿轮74用于带动甩干从动齿轮73和主轴72同步转动。

优选地：固定框架61下方成型有滑槽63，固定框架61上成型有泄水孔62，滚轮65与活动底板64通过轴承连接，底板推杆66与滑槽63滚动连接，底板推杆66的固定部与固定框架61通过螺栓连接，前挡板67与活动底板64通过螺栓连接，底板推杆66的伸缩部与前挡板67通过螺栓连接；机体1下方成型有排水槽2，甩干机门3与门把手4通过螺栓连接；合页51与机体1通过螺栓连接，合页51与甩干机门3通过螺栓连接，推杆固定座52与机体1通过螺栓连接，门体推杆53的固定部与推杆固定座52通过轴承连接，门体转轴54成型在门体推杆53的伸缩部上，伸缩部固定座55与甩干机门3通过螺栓连接，门体转轴54与伸缩部固定座55通过轴承连接；主轴套筒71与机体1通过螺栓连接，主轴72与主轴套筒71通过轴承连接，甩干从动齿轮73与主轴72通过键连接，固定框架61与主轴72通过螺栓连接，甩干主动齿轮74与甩干从动齿轮73相啮合，甩干电机75与甩干主动齿轮74通过螺栓连接。

上述结构中，需要对晶圆片进行甩干时，门体推杆53拉伸带动甩干机门3沿合页51的转轴转动向外开启，晶圆片固定机构6中的底板推杆66拉伸带动前挡板67、活动底板64和滚轮65向前移动，活动底板64后半部保留在固定框架61内，将盛放有晶圆片的晶圆托盘放到活动底板64上方，然后底板推杆66收缩带动活动底板64、前挡板67、滚轮65以及在活动底板64上方的晶圆片向后移动，运动至指定位置后底板推杆66停止收缩，紧接着门体推杆53收缩带动甩干机门3沿合页51的转轴转动将机体1闭合，然后甩干电机75转动带动甩干主动齿轮74、甩干从动齿轮73和主轴72同步转动，主轴72带动晶圆片固定机构6转动利用离心力将晶圆片固定机构6内部的晶圆片进行甩干。

实施例2

如图2、图4、图6、图7、图8所示，本实施例与实施例1的区别在于：门体控制机构5包括机体转轴固定座511、门体长转轴512、门体连接座513、门体电机514、门体主动齿轮515、门体从动齿轮516，机体转轴固定座511设置在机体1外部一侧，门体长转轴512设置在机体转轴固定座511内侧，门体连接座513设置在甩干机门3一侧在机体转轴固定座511上方，门体电机514设置在机体1一侧在门体连接座513后部，门体主动齿轮515设置在门体电机514的输出轴外侧，门体从动齿轮516设置在门体主动齿轮515前方在门体长转轴512外侧，机体转轴固定座511用于固定门体长转轴512并使后者可以在前者内部转动，门体电机514用于带动门体主动齿轮515转动，门体从动齿轮516用于将门体主动齿轮515传递来的扭矩传递给门体长转轴512和门体连接座513。

优选地：机体转轴固定座511与机体1通过螺栓连接，门体长转轴512与机体转轴固定座511通过轴承连接，门体连接座513与甩干机门3通过螺栓连接，门体长转轴512与门体连接座513通过螺栓连接，门体电机514与机体1通过螺栓连接，门体主动齿轮515与门体电机514的输出轴键连接，门体从动齿轮516与门体主动齿轮515相啮合，门体从动齿轮516成型在门体长转轴512上。

工作原理：上述结构中，需要对晶圆片进行甩干时，门体电机514运转带动门体主动齿轮515、门体从动齿轮516、门体长转轴512和门体连接座513同步转动，门体连接座513带动甩干机门3沿门体长转轴512周向转动向外开启，晶圆片固定机构6中的底板推杆66拉伸带动前挡板67、活动底板64和滚轮65向前移动，活动底板64后半部保留在固定框架61内，将盛放有晶圆片的晶圆托盘放到活动底板64上方，然后底板推杆66收缩带动活动底板64、前挡板67、滚轮65以及在活动底板64上方的晶圆片向后移动，运动至指定位置后底板推杆66停止收缩，紧接着门体电机514运转带动门体主动齿轮515、门体从动齿轮516、门体长转轴512和门体连接座513同步转动，门体连接座513带动甩干机门3沿门体长转轴512周向转动将机体1闭合，然后甩干电机75转动带动甩干主动齿轮74、甩干从动齿轮73和主轴72同步转动，主轴72带动晶圆片固定机构6转动利用离心力将晶圆片固定机构6内部的晶圆片进行甩干。

以上结合附图对本实用新型的优选实施方式做了详细说明，但本实用新型并不限于上述实施方式，在所属技术领域技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (9)

1.一种用于晶圆清洗的甩干设备，包括机体(1)、排水槽(2)、甩干机门(3)、门把手(4)、门体控制机构(5)、甩干驱动机构(7)，其特征在于：还包括晶圆片固定机构(6)，所述晶圆片固定机构(6)包括固定框架(61)、泄水孔(62)、滑槽(63)、活动底板(64)、滚轮(65)、底板推杆(66)、前挡板(67)，所述固定框架(61)下方内部两侧设置有所述滑槽(63)，所述固定框架(61)侧壁和顶部设置有所述泄水孔(62)，所述活动底板(64)设置在所述滑槽(63)之间，所述滚轮(65)设置在所述活动底板(64)两侧，所述底板推杆(66)设置在所述固定框架(61)一侧，所述前挡板(67)设置在所述活动底板(64)前方。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆清洗的甩干设备，其特征在于：所述机体(1)的内部下方设置有所述排水槽(2)，所述机体(1)前方设置有所述甩干机门(3)，所述甩干机门(3)前方一侧设置有所述门把手(4)。

3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆清洗的甩干设备，其特征在于：所述固定框架(61)下方成型有所述滑槽(63)，所述固定框架(61)上成型有所述泄水孔(62)，所述滚轮(65)与所述活动底板(64)通过轴承连接，所述底板推杆(66)与所述滑槽(63)滚动连接，所述底板推杆(66)的固定部与所述固定框架(61)通过螺栓连接，所述前挡板(67)与所述活动底板(64)通过螺栓连接，所述底板推杆(66)的伸缩部与所述前挡板(67)通过螺栓连接。

4.根据权利要求2所述的一种用于晶圆清洗的甩干设备，其特征在于：所述机体(1)下方成型有所述排水槽(2)，所述甩干机门(3)与所述门把手(4)通过螺栓连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆清洗的甩干设备，其特征在于：所述门体控制机构(5)包括合页(51)、推杆固定座(52)、门体推杆(53)、门体转轴(54)、伸缩部固定座(55)，所述合页(51)设置在所述机体(1)和所述甩干机门(3)的一侧，所述推杆固定座(52)设置在所述机体(1)内侧底部，所述门体推杆(53)的固定部设置在所述推杆固定座(52)上方，所述门体转轴(54)设置在所述门体推杆(53)的伸缩部一侧，所述伸缩部固定座(55)设置在所述甩干机门(3)后部，所述门体转轴(54)在所述伸缩部固定座(55)内侧。

6.根据权利要求5所述的一种用于晶圆清洗的甩干设备，其特征在于：所述合页(51)与所述机体(1)通过螺栓连接，所述合页(51)与所述甩干机门(3)通过螺栓连接，所述推杆固定座(52)与所述机体(1)通过螺栓连接，所述门体推杆(53)的固定部与所述推杆固定座(52)通过轴承连接，所述门体转轴(54)成型在所述门体推杆(53)的伸缩部上，所述伸缩部固定座(55)与所述甩干机门(3)通过螺栓连接，所述门体转轴(54)与所述伸缩部固定座(55)通过轴承连接。

7.根据权利要求1所述的一种用于晶圆清洗的甩干设备，其特征在于：所述门体控制机构(5)包括机体转轴固定座(511)、门体长转轴(512)、门体连接座(513)、门体电机(514)、门体主动齿轮(515)、门体从动齿轮(516)，所述机体转轴固定座(511)设置在所述机体(1)外部一侧，所述门体长转轴(512)设置在所述机体转轴固定座(511)内侧，所述门体连接座(513)设置在所述甩干机门(3)一侧在所述机体转轴固定座(511)上方，所述门体电机(514)设置在所述机体(1)一侧在所述门体连接座(513)后部，所述门体主动齿轮(515)设置在所述门体电机(514)的输出轴外侧，所述门体从动齿轮(516)设置在所述门体主动齿轮(515)前方在所述门体长转轴(512)外侧。

8.根据权利要求7所述的一种用于晶圆清洗的甩干设备，其特征在于：所述机体转轴固定座(511)与所述机体(1)通过螺栓连接，所述门体长转轴(512)与所述机体转轴固定座(511)通过轴承连接，所述门体连接座(513)与所述甩干机门(3)通过螺栓连接，所述门体长转轴(512)与所述门体连接座(513)通过螺栓连接，所述门体电机(514)与所述机体(1)通过螺栓连接，所述门体主动齿轮(515)与所述门体电机(514)的输出轴键连接，所述门体从动齿轮(516)与所述门体主动齿轮(515)相啮合，所述门体从动齿轮(516)成型在所述门体长转轴(512)上。

9.根据权利要求1所述的一种用于晶圆清洗的甩干设备，其特征在于：所述甩干驱动机构(7)包括主轴套筒(71)、主轴(72)、甩干从动齿轮(73)、甩干主动齿轮(74)、甩干电机(75)，所述主轴套筒(71)设置在所述机体(1)内侧后部，所述主轴(72)设置在所述主轴套筒(71)内侧，所述甩干从动齿轮(73)设置在所述主轴(72)前方外侧，所述固定框架(61)设置在所述主轴(72)前方，所述甩干主动齿轮(74)设置在所述甩干从动齿轮(73)下方，所述甩干电机(75)设置在所述甩干主动齿轮(74)后方。

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