CN214149693U - 一种适用于大型刻蚀设备陶瓷真空泄漏检查装置 - Google Patents

Abstract

一种适用于大型刻蚀设备陶瓷真空泄漏检查装置，包括底座和上密封件，所述底座上对应产品底部设有第一密封圈，所述上密封件上对应产品顶部设有第二密封圈，所述第一密封圈、第二密封圈、产品和底座之间形成待检查的密封空间，所述底座上设有用于连接泄漏检测设备的中连接件，所述密封空间与泄漏检测设备密封式连通。本实用新型具有如下有益效果：（1）通过设置底座和上密封件对产品底部装配面进行密封，方便检测气密性；（2）通过设置带密封的中连接件和底连接件方便与泄漏检测设备连接，通过通孔抽气；（3）通过设置若干燕尾槽方便适配不同尺寸的密封圈，扩大适配范围；（4）操作简单，安装便捷高效。

Description

一种适用于大型刻蚀设备陶瓷真空泄漏检查装置

技术领域

本实用新型涉及陶瓷加工检测领域，尤其涉及一种适用于大型刻蚀设备陶瓷真空泄漏检查装置。

背景技术

随着陶瓷材料的广泛应用，越来越多的产品改为了陶瓷材质，因此陶瓷产品的结构和尺寸也更加多样化，各项要求也在逐步提高。根据陶瓷本身的耐腐蚀性能，半导体刻蚀设备中的核心部件大量的选用了陶瓷材料，其中刻蚀腔体的上密封件选用的就是22英寸以上的陶瓷件，不仅要求陶瓷件本身耐腐蚀，还需要在关键的装配面保证产品密封，对于众多非标型产品，需要根据产品情况设定专用的泄漏治具以保证产品的密封性。而现有技术缺少适用于陶瓷材料密封检测的装置。

例如，一种在中国专利文献上公开的“一种玻璃、陶瓷容器密封性检测装置”，其公开号CN206725172U，包括待检玻璃、陶瓷容器、密封塞、放电尖端、高压电源和导线、数字电流计、声呐传感器、计算机，高压电源、声纳传感器、数字电流计由计算机模块控制连接。通过该装置可以检测陶瓷容器的密封性，但无法适配于氧化铝陶瓷非标型产品，尤其是大型刻蚀设备用的陶瓷。

发明内容

本实用新型是为了克服现有技术检测非标陶瓷产品的密封性难度大，缺少适配装置问题，提供一种适用于大型刻蚀设备陶瓷真空泄漏检查装置，方便快速检测非标陶瓷产品的密封性。

为了实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种适用于大型刻蚀设备陶瓷真空泄漏检查装置，包括底座和上密封件，所述底座上对应产品底部设有第一密封圈，所述上密封件上对应产品顶部设有第二密封圈，所述第一密封圈、第二密封圈、产品和底座之间形成待检查的密封空间，所述底座上设有用于连接泄漏检测设备的中连接件，所述密封空间与泄漏检测设备密封式连通。

本实用新型适用于底部设有对密封性有要求的装配面，且中间设有通孔的陶瓷产品。本实用新型的特点在于在产品底部设置底座，通过底座上设置第一密封圈抵接产品底面对产品底部装配面进行密封，产品顶部设置上密封件，通过上密封件的第二密封圈对产品通孔顶部进行密封，并将产品压紧在上密封件和底座之间，并通过中连接件连接底座和泄漏检测设备，泄漏检测设备通过从待检测的密封空间抽气的方式，检测陶瓷产品装配面的密封性能。

作为优选，底座顶部设有环形槽，所述第一密封圈卡接在环形槽内。

第一密封圈卡接的方式连接在环形槽内，方便定位密封圈安装位置，同时方便更换密封圈。

作为优选，所述环形槽设置多个，多个环形槽同心设置。

通过设置多个环形槽适配不同直径的密封圈，对不同尺寸的产品均能形成密封。

作为优选，所述环形槽为燕尾槽。

燕尾槽卡接牢固，有效防止密封圈脱出。

作为优选，所述中连接件通过螺栓与底座固定连接，所述中连接件顶面卡接有第三密封圈，所述第三密封圈环绕在螺栓外侧。

中连接件通过螺栓与底座稳定固接，由于螺栓与螺孔之间存在缝隙，易影响气密性，通过在螺栓外周的中连接件顶面上设置卡槽，卡槽中卡接第三密封圈保证中连接件与底座的连接处的密封性。

作为优选，所述中连接件底部卡接有底连接件，所述中连接件与底连接件连接处设有第四密封圈。

底连接件用于和抱箍装置与泄漏检测设备的抽气口相连接，并通过第四密封圈密封中连接件和底连接件之间的连接处，底连接件顶面上设置卡槽，卡槽中卡接第四密封圈保证密封性。

作为优选，所述底座、中连接件和底连接件中轴上均设有通孔。

各部分通孔互相连通并连通密封空间，通过通孔从密封空间抽气。

因此，本实用新型具有如下有益效果：（1）通过设置底座和上密封件对产品底部装配面进行密封，方便检测气密性；（2）通过设置带密封的中连接件和底连接件方便与泄漏检测设备连接，通过通孔抽气；（3）通过设置若干燕尾槽方便适配不同尺寸的密封圈，扩大适配范围；（4）操作简单，安装便捷高效。

附图说明

图1是本实用新型的一种结构示意图。

图2是本实用新型的一种爆炸图。

图中：1、上密封件，2、第二密封圈，3、陶瓷产品，4、第三密封圈，5、第一密封圈，6、底座，61、环形槽，7、中连接件，8、螺栓，9、第四密封圈，10、底连接件。

具体实施方式

下面结合附图与具体实施方式对本实用新型做进一步的描述。

如图1、图2所示的实施例中，一种适用于大型刻蚀设备陶瓷真空泄漏检查装置，用于检测中心带孔，底面为装配面的陶瓷产品3的密封性，包括铝合金制成的上密封件1、底座6、中连接件7和底连接件10，底座6整体呈饼状，底座6顶部设有若干同心设置的环形槽61，环形槽61均为燕尾槽，底座中心设有通孔，环形槽61中卡接有第一密封圈5。上密封件1底部卡接有第二密封圈2，第二密封圈2与产品中心孔适配。第一密封圈5、第二密封圈2、产品和底座6顶面之间形成待检查的密封空间。底座6

通过四个螺栓8与中连接件7固定连接，中连接件7包括两个上下圆柱体，上圆柱体直径大于下圆柱体，上圆柱体上设有螺栓8，螺栓8外围设有第三密封圈4，第三密封圈4卡接在中连接件7顶面上，中连接件7中空。中连接件7底部卡接有底连接件10，底连接件10顶部套设有第四密封圈9，底连接件10通过第四密封圈9与中连接件7密封式连接。

螺栓将底座和中连接件进行紧固，分别将对应的不同区域的大小密封圈压入底座相对应的燕尾槽中，底连接件和匹配的密封圈在组装后置于中连接件对应的孔位，再通过底连接件和抱箍装置与泄漏检测设备的抽气口相连接。完成上述动作后，将产品放置于底座上，并将密封区域与第一密封圈相匹配，上密封件在安装了第二密封圈后，压放在产品相对应的上密封区域，启动泄漏检测设备即可完成真空检测。本实用新型结构简单，安装简便，能够有效的改善真空检测的问题。

Claims (7)

1.一种适用于大型刻蚀设备陶瓷真空泄漏检查装置，其特征是，包括底座（6）和上密封件（1），所述底座（6）上对应产品底部设有第一密封圈（5），所述上密封件（1）上对应产品顶部设有第二密封圈（2），所述第一密封圈（5）、第二密封圈（2）、产品和底座（6）之间形成待检查的密封空间，所述底座（6）上设有用于连接泄漏检测设备的中连接件（7），所述密封空间与泄漏检测设备密封式连通。

2.根据权利要求1所述的一种适用于大型刻蚀设备陶瓷真空泄漏检查装置，其特征是，底座（6）顶部设有环形槽（61），所述第一密封圈（5）卡接在环形槽（61）内。

3.根据权利要求2所述的一种适用于大型刻蚀设备陶瓷真空泄漏检查装置，其特征是，所述环形槽（61）设置多个，多个环形槽（61）同心设置。

4.根据权利要求2所述的一种适用于大型刻蚀设备陶瓷真空泄漏检查装置，其特征是，所述环形槽（61）为燕尾槽。

5.根据权利要求1或2或3或4所述的一种适用于大型刻蚀设备陶瓷真空泄漏检查装置，其特征是，所述中连接件（7）通过螺栓（8）与底座（6）固定连接，所述中连接件（7）顶面卡接有第三密封圈（4），所述第三密封圈（4）环绕在螺栓（8）外侧。

6.根据权利要求1或2或3或4所述的一种适用于大型刻蚀设备陶瓷真空泄漏检查装置，其特征是，所述中连接件（7）底部卡接有底连接件（10），所述中连接件（7）与底连接件（10）连接处设有第四密封圈（9）。

7.根据权利要求6所述的一种适用于大型刻蚀设备陶瓷真空泄漏检查装置，其特征是，所述底座（6）、中连接件（7）和底连接件（10）中轴上均设有通孔。

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