CN214098110U - 基板冷热处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及基板处理技术领域，具体为一种基板冷热处理装置，包括支撑杆、下支撑板、上支撑板、框架、水箱、加热器以及空调，所述支撑杆位于下支撑板的下端，所述上支撑板位于下支撑板的上端，所述下支撑板上设有第二电热管、支撑部以及冷凝管，并且所述上支撑板与下支撑板之间设有连接杆，通过支撑杆支撑下支撑板，通过连接杆使上支撑板固定在下支撑板的上端，所述框架、水箱、加热器以及空调均位于下支撑板的左侧，所述水箱位于框架的底端，所述加热器安装在水箱的上端，所述空调安装在加热器的上端，通过加热器使第二电热管进行加热，通过水箱使冷凝管具有冷却的效果，通过支撑部支撑基板，使基板固定。

Description

基板冷热处理装置

技术领域

本实用新型涉及基板处理技术领域，具体为一种基板冷热处理装置。

背景技术

众所周知，一般基板在曝光后要进行加热速冷工艺，加热是为了消除驻波效应及进行光酸放大反应，冷却是为了降低光阻温度停止光酸扩散反应，提高制成稳定性。

例如公开号为“CN103426793B”专利名称为：“基板冷热处理装置”的专利，专利公开了“本实用新型涉及对半导体晶片和液晶显示装置用的玻璃基板(以下简称为基板)等基板进行处理的装置，具体地说是一种基板冷热处理装置，包括承载基板的支撑板，该支撑板内埋设有电阻丝并开有供冷却流体流过的冷却槽；所述电阻丝与电源连接，为基板加热；所述支撑板的上表面均布有多个的支撑部，基板支撑在该支撑部上，与所述支撑板的上表面留有间隙。所述支撑板沿高度方向均布有多个贯通孔，每个贯通孔内均插设有支撑杆，所述支撑杆的下端连接在升降机构上，顶端突出于支撑板的上表面。本实用新型的支撑板集加热、冷却功能于一体，使得在实现多工艺处理的同时减小了设备的尺寸(省略了传统的导轨等部件)”。

现有的基板冷热处理装置大多是先将基板放入热盘中加热后再利用导轨将冷盘移动到热盘的上面对基板进行冷却，这样装置的尺寸为热盘加上冷盘的大小，尺寸变得很大，从而使装置的占地面积增加，并且在实际操作中的冷热处理效果一般，实用性低。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种占地面积小，冷热处理一体化，并且处理效率高的基板冷热处理装置。

(二)技术方案

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种基板冷热处理装置，包括支撑杆、下支撑板、上支撑板、框架、水箱、加热器、法兰以及空调，所述支撑杆位于下支撑板的下端，所述上支撑板位于下支撑板的上端，所述下支撑板上设有第二电热管、支撑部以及冷凝管，所述第二电热管以及冷凝管交叉盘绕在下支撑板上，并且下半部分位于下支撑板的内部，所述支撑部位于支撑板的中间部分，并且所述支撑部上用于设置基板，所述上支撑板设有第一电热管以及冷风管，所述第一电热管以及冷风管交叉盘绕在上支撑板上，并且所述第一电热管以及冷风管的上半部分均位于上支撑板的内部，所述框架、水箱、加热器以及空调均位于下支撑板的左侧，所述水箱位于框架的底端，所述加热器安装在水箱的上端，所述空调安装在加热器的上端，所述空调上设有进风管，所述进风管通过法兰连接冷风管，所述冷风管上设有冷风孔，所述加热器上设有导线管，所述导线管的内部设有导线，所述导线管通过导线分别连接第一电热管以及第二电热管。

为使得处理效率进一步提高，本实用新型的改进有，所述上支撑板与下支撑板之间设有连接杆；所述水箱设有制冷器、进水管、回水管以及水泵，所述制冷器安装在水箱的内部。

为使得装置结构更加紧凑，本实用新型的改进有，所述进水管连接冷凝管的一端，所述回水管连接冷凝管的另一端，所述水泵通过螺栓安装在进水管上。

为了提高空调、加热器以及水箱的稳定性，本实用新型的改进有，所述框架上设有存放板，并且设有多个，所述存放板上设有卡槽，所述空调、加热器以及水箱的底端均设有卡块，所述空调、加热器以及水箱通过卡块安装在存放板上。

为了使本结构能自由移动，本实用新型的改进有，所述支撑杆的下端设有底轮，并且所述底轮通过螺栓连接支撑杆。

为了提高本结构在移动时的减震性，本实用新型的改进有，所述底轮为万向轮，并且所述底轮的上端安装有减震弹簧。

为了提高本结构的安全系数，本实用新型的改进有，所述第一电热管以及冷风管的下端设有第一防尘网，所述第二电热管以及冷凝管的上端设有第二防尘网。

为了方便拆卸第一防尘网以及第二防尘网，本实用新型的改进有，所述第一防尘网的两端设有滑块，所上支撑板的内侧设有凹槽，并且所述滑块位于凹槽的内部，所述第二防尘网的下端设有固定块，所述固定块安装在下支撑板的内侧。

为了方便控制第一电热管，本实用新型的改进有，所述导线管上设有开关，所述开关通过螺栓连接在线管上，并且靠近第一电热管。

为了提高方便操作，本实用新型的改进有，所述开关为按钮开关，并且所述开关的内部设有无线接收控制器。

(三)有益效果

与现有技术相比，本实用新型提供了一种基板冷热处理装置，具备以下有益效果：

该基板冷热处理装置，所述下支撑板上设有第二电热管、支撑部以及冷凝管，所述第二电热管以及冷凝管交叉盘绕在下支撑板上，并且下半部分位于下支撑板的内部，所述第一电热管以及冷风管交叉盘绕在上支撑板上，并且所述第一电热管以及冷风管的上半部分均位于上支撑板的内部，通过第一电热管以及第二电热管同时加热，提高了基板热处理的效率，所述框架、水箱、加热器以及空调均位于下支撑板的左侧，通过水箱、空调、冷凝管以及冷风管，提高了基板冷处理时的效率，通过第二电热管以及冷凝管交叉盘绕，使基板在冷热处理时，受热以及冷却的更加均匀。

附图说明

图1为本实用新型的正视刨面图；

图2为本实用新型图1中下支撑板的俯视图；

图3为本实用新型图1中进风管的局部放大结构示意图；

图4为本实用新型图1中底轮的局部放大结构示意图；

图5为本实用新型图1中A处的局部放大结构示意图；

图中：1、支撑杆；2、下支撑板；3、上支撑板；4、底轮；5、连接杆；6、框架；7、水箱；8、加热器；9、空调；10、进风管；11、第一电热管；12、第二电热管；13、支撑部；14、第一防尘网；15、第二防尘网；16、冷凝管；17、进水管；18、回水管；19、制冷器；20、冷风管；21、冷风孔；22、减震弹簧；23、开关；24、导线管；25、水泵；

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-5，本实用新型的一种基板冷热处理装置，包括支撑杆1、下支撑板2、上支撑板3、框架6、水箱7、加热器8、法兰以及空调9。

所述支撑杆1位于下支撑板2的下端，并且通过螺栓连接下支撑板2。支撑杆1可以包括竖杆和连接竖杆之间的横杆。下支撑板2连接在相应的所述多个竖杆上端。

所述上支撑板3位于下支撑板2的上端，并且所述上支撑板3与下支撑板2之间设有连接杆5。连接杆5保证了上支撑板3位于下支撑板2之间具有相应的空间。

所述下支撑板2上设有第二电热管12、支撑部13以及冷凝管16。所述第二电热管12以及冷凝管16交叉盘绕在下支撑板2上，并且第二电热管12以及冷凝管16下半部分位于下支撑板2的内部，所述支撑部13位于下支撑板2的中间部分，支撑部13具有多个(图1中显示两个为代表)，并且所述支撑部13上用于设置基板(图1中未标注)。

同时，图2显示了横向截面示意图，显示了下支撑板2的俯视图，显示了冷凝管16和第二电热管12可以是环形设置在下支撑板2。

所述上支撑板3设有第一电热管11以及冷风管20，所述第一电热管11以及冷风管20交叉盘绕在上支撑板3上，并且所述第一电热管11以及冷风管20的上半部分均位于上支撑板3的内部。

第一电热管11和冷风管20的设置与第二电热管12和冷凝管16的设置可以是上下对称的，如图1所示。这样，后续加热和冷却更加均匀。

所述框架6、水箱7、加热器8以及空调9均位于下支撑板2的左侧，所述水箱7位于框架6的底端，并且位于框架6的其中一个框内。所述加热器8安装在水箱7的上端，位于另一个框内。所述空调9安装在加热器8的上端，空调9位于具有上开口的另一个框内。所述空调9上设有进风管10，进风管10从上部引出，进风管10通过法兰连接冷风管20，所述冷风管20上设有冷风孔21，请结合参考图1和图3。

所述加热器8上设有导线管24，导线管24从加热器8侧面导出，并穿过框架6。所述导线管24的内部设有导线，所述导线管24通过导线分别连接第一电热管11以及第二电热管12。

所述水箱7设有制冷器19、进水管17、回水管18以及水泵25，所述制冷器19安装在水箱7的内部。

进水管17和回水管18均穿过框架6，所述进水管17连接冷凝管16的一端，所述回水管18连接冷凝管16的另一端，所述水泵25通过螺栓安装在进水管17上。

本实用新型的基板冷热处理装置在使用时，支撑板通过支撑杆1支撑，支撑杆1设有多个，并且中间部分设有横杆，通过横杆使支撑杆1更加稳定。

使用时，首先将基板放在支撑部13上，支撑部13上设有卡板，通过卡板固定基板，使基板在处理时更加稳定，这时基板的上方是上支撑板3，基板的下方是下支撑板2，连接杆5使上支撑板3与下支撑板2连接的更加牢固；

当基板进行热处理时，加热器8启动，加热器8通过导线给第一电热管11以及第二电热管12内部的电阻丝通电，使电阻丝产生热量，从而进行基板的热处理，第一电热管11以及第二电热管12都是盘绕安装，使基板的受热更加均匀；

当进行冷处理时，制冷器19启动给水箱7内部的水进行降温，水经过水泵25从进水管17进入到冷凝管16中，经过冷凝管16后，再通过回水管18回到水箱7的内部，通过冷凝管16，从而给基板进行冷却处理；

当冷凝管16的冷却效果达不到要求时，这时启动空调9，空调9产生的冷风通过进风管10，进入冷风管20中，之后通过冷风孔21向基板吹出，进而到达冷却的效果。

为了提高空调9、加热器8以及水箱7的稳定性，本实用新型的改进有，所述框架6上设有存放板，并且设有多个，所述存放板上设有卡槽，所述空调9、加热器8以及水箱7的底端均设有卡块，所述空调9、加热器8以及水箱7通过卡块安装在存放板上，通过卡块与卡槽的配合，使空调9、加热器8以及水箱7在存放板上安装的更加牢固。

为了使本结构能自由移动，本实用新型的改进有，所述支撑杆1的下端设有底轮4，并且所述底轮4通过螺栓连接支撑杆1。

为了提高本结构在移动时的减震性，本实用新型的改进有，所述底轮4为万向轮，并且所述底轮4的上端安装有减震弹簧22，请结合参考图1和图4，通过减震弹簧22使本结构在移动时，减小自身的晃动。

为了提高本结构的安全系数，本实用新型的改进有，所述第一电热管11以及冷风管20的下端设有第一防尘网14，所述第二电热管12以及冷凝管16的上端设有第二防尘网15，通过防尘网，防止杂物触碰到电热管，从而降低安全隐患。

为了方便拆卸第一防尘网14以及第二防尘网15，本实用新型的改进有，所述第一防尘网14的两端设有滑块，所上支撑板3的内侧设有凹槽，并且所述滑块位于凹槽的内部，请结合参考图1和图5。所述第二防尘网15的下端设有固定块，所述固定块安装在下支撑板2的内侧，通过滑块与凹槽的配合，方便了防尘网的清理，当需要清理时，直接抽出防尘网即可。

为了方便控制第一电热管11，本实用新型的改进有，所述导线管24上设有开关，所述开关通过螺栓连接在线管上，并且靠近第一电热管11，当加热效果理想时，可以通过开关可以选择性的开启或者关闭第一电热管11。

为了提高方便操作，本实用新型的改进有，所述开关23为按钮开关，并且所述开关23的内部设有无线接收控制器，通过无线接收控制器可以连接计算机端，通过计算机进行控制。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (10)

1.一种基板冷热处理装置，其特征在于，包括支撑杆(1)、下支撑板(2)、上支撑板(3)、框架(6)、水箱(7)、加热器(8)、法兰以及空调(9)，所述支撑杆(1)位于所述下支撑板(2)的下端，所述上支撑板(3)位于所述下支撑板(2)的上端；所述下支撑板(2)上设有第二电热管(12)、支撑部(13)以及冷凝管(16)，所述第二电热管(12)以及冷凝管(16)交叉盘绕在所述下支撑板(2)上，并且所述第二电热管(12)以及冷凝管(16)下半部分位于所述下支撑板(2)的内部，所述支撑部(13)位于所述下支撑板(2)的中间部分，并且所述支撑部(13)上用于设置基板；所述上支撑板(3)设有第一电热管(11)以及冷风管(20)，所述第一电热管(11)以及冷风管(20)交叉盘绕在上支撑板(3)上，并且所述第一电热管(11)以及冷风管(20)的上半部分均位于上支撑板(3)的内部；所述框架(6)、水箱(7)、加热器(8)以及空调(9)均位于下支撑板(2)的左侧，所述水箱(7)位于框架(6)的底端，所述加热器(8)安装在水箱(7)的上端，所述空调(9)安装在加热器(8)的上端，所述空调(9)上设有进风管(10)，所述进风管(10)通过法兰连接冷风管(20)，所述冷风管(20)上设有冷风孔(21)；所述加热器(8)上设有导线管(24)，所述导线管(24)的内部设有导线，所述导线管(24)通过导线分别连接所述第一电热管(11)以及第二电热管(12)。

2.根据权利要求1所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述上支撑板(3)与下支撑板(2)之间设有连接杆(5)；所述水箱(7)设有制冷器(19)、进水管(17)、回水管(18)以及水泵(25)，所述制冷器(19)安装在水箱(7)的内部。

3.根据权利要求2所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述进水管(17)连接冷凝管(16)的一端，所述回水管(18)连接冷凝管(16)的另一端，所述水泵(25)通过螺栓安装在进水管(17)上。

4.根据权利要求1所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述框架(6)上设有存放板，并且设有多个，所述存放板上设有卡槽，所述空调(9)、加热器(8)以及水箱(7)的底端均设有卡块，所述空调(9)、加热器(8)以及水箱(7)通过卡块安装在所述存放板上。

5.根据权利要求1所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述支撑杆(1)的下端设有底轮(4)，并且所述底轮(4)通过螺栓连接支撑杆(1)。

6.根据权利要求5所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述底轮(4)为万向轮，并且所述底轮(4)的上端安装有减震弹簧(22)。

7.根据权利要求1所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述第一电热管(11)以及冷风管(20)的下端设有第一防尘网(14)，所述第二电热管(12)以及冷凝管(16)的上端设有第二防尘网(15)。

8.根据权利要求7所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述第一防尘网(14)的两端设有滑块，所上支撑板(3)的内侧设有凹槽，并且所述滑块位于凹槽的内部，所述第二防尘网(15)的下端设有固定块，所述固定块安装在下支撑板(2)的内侧。

9.根据权利要求1所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述导线管(24)上设有开关，所述开关通过螺栓连接在线管上，并且靠近第一电热管(11)。

10.根据权利要求9所述的基板冷热处理装置，其特征在于，所述开关为按钮开关，并且所述开关的内部设有无线接收控制器。

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