CN214092369U - 分子泵防震装置 - Google Patents

Abstract

本申请公开了一种分子泵防震装置，包括防震机构，所述防震机构设置于分子泵与闸板阀之间，所述防震机构与分子泵和闸板阀均可拆卸连接。本申请具有提高在闸板阀作用时分子泵的稳定性的效果。

Description

分子泵防震装置

技术领域

本申请涉及分子泵保护设备的技术领域，尤其是涉及分子泵防震装置。

背景技术

分子泵为真空泵的一种，其利用高速旋转的转子将动量传输给气体分子，使气体分子获得定向速度，压缩气体分子，将气体分子驱向排气口。由于其转子转速较高，因此其使用过程中的稳定性有严格要求。

参照图1，为现有一种分子泵1，分子泵1包括排气口11，排气口11表面可拆卸连接有闸板阀2，排气口11穿设有连接螺栓12，连接螺栓12穿过排气口11的一端与闸板阀2螺纹连接，连接螺栓12沿排气口11的周向间隔均匀设置有多个，连接螺栓12与闸板阀2螺纹连接，将分子泵1与闸板阀2连接稳定。

上述中的现有技术方案存在以下缺陷：闸板阀开启时，分子泵进行工作可以进行抽真空操作，闸板阀关闭时，分子泵一端封闭，保持分子泵内的真空环境。但闸板阀开启或关闭的过程中有较大震动，导致分子泵也随之震动，影响分子泵的稳定性。

实用新型内容

为了提高在闸板阀作用时分子泵的稳定性，本申请提供分子泵防震装置。

本申请提供的分子泵防震装置采用如下的技术方案：

分子泵防震装置，包括防震机构，所述防震机构设置于分子泵与闸板阀之间，所述防震机构与分子泵和闸板阀均可拆卸连接。

通过采用上述技术方案，在闸板阀开启或关闭的过程中，闸板阀的震动由减震装置进行缓冲，震动作用到分子泵时，震动幅度减小，分子泵的稳定性提高。

优选的，所述防震机构为弹性减震型补偿器，所述防震机构两端均穿设有安装螺栓；

朝向分子泵的所述安装螺栓穿过排气口并螺纹连接有安装螺母；

朝向闸板阀的所述安装螺栓与闸板阀螺纹连接。

通过采用上述技术方案，使用弹性减震型补偿器作为减震机构，并且通过安装螺纹与分子泵和闸板阀连接，结构简单且安装简便，同时具有较好的减震效果。

优选的，所述安装螺栓沿防震机构周向间隔均匀设置有多个。

通过采用上述技术方案，多个安装螺栓能够提高防震机构与分子泵和闸板阀连接的稳定性，减少由于防震机构自身震动导致分子泵震动，进一步提高防震机构的减震效果。

优选的，所述防震机构包括连接头，所述连接头沿防震机构周向间隔均匀设置有多个，所述防震机构可拆卸连接有支撑机构。

通过采用上述技术方案，支撑机构能够将防震机构进一步固定，提高其稳定性，并可以将闸板阀传递到防震机构的震动由支撑机构部分吸收，进而使分子泵的稳定性更好。

优选的，所述支撑机构包括支撑杆，所述支撑杆与连接头可拆卸连接，所述支撑杆设置有与连接头一一对应的多个，多个所述支撑杆固定连接有一底架，所述底架固定连接有托盘，分子泵与所述托盘固定连接。

通过采用上述技术方案，将底架放置在地面后，将支撑杆与连接头连接，闸板阀开启或关闭过程中的震动通过支撑杆传递到底架，底架与地面稳定连接，减小闸板阀震动对分子泵造成的影响。

优选的，所述支撑机构包括底板，所述底板上固设有挡板，分子泵与所述底板可拆卸连接，所述挡板与分子泵接触并限制分子泵移动。

通过采用上述技术方案，将底板放置于地面并将分子泵与底板连接后，分子泵的外侧面与挡板的内侧面接触，在闸板阀启动或关闭过程中，闸板阀传递到分子泵的震动由挡板阻挡，减小分子泵的震动幅度。

优选的，所述挡板上固设有减震垫，所述减震垫设置于挡板与分子泵之间。

通过采用上述技术方案，分子泵震动时将震动传递至减震垫，减震垫能够有效的减少分子泵的震动幅度，进一步提高分子泵的稳定性。

优选的，所述挡板和减震垫上均开设有能容纳连接头插入的插接槽，所述插接槽设置有与连接头一一对应的多个。

通过采用上述技术方案，将分子泵与底板连接时，连接头均位于插接槽内，插接槽能够限制防震机构绕自身轴线的转动，并且减小其沿径向方向的移动；另外只需插接，由于重力作用即可使防震机构与支撑机构保持稳定连接，安装方便。

综上所述，本申请包括以下至少一种有益技术效果：

1.在分子泵和闸板阀之间设置减震机构进行缓冲，减小分子泵的震动幅度，提高分子泵稳定性；

2.使用弹性减震型补偿器作为减震机构，与分子泵和闸板阀连接方便且易于采购更换；

3.设置支撑机构对弹性减震型补偿器进行支撑，进一步减小分子泵的震动幅度。

附图说明

图1是现有分子泵与闸板阀连接的整体结构示意图；

图2是实施例一中减震装置的整体结构示意图；

图3是实施例二中支撑机构的结构示意图。

附图标记说明：1、分子泵；11、排气口；12、连接螺栓；13、散热器；2、闸板阀；3、防震机构；31、安装螺栓；32、安装螺母；33、连接头；4、支撑机构；41、支撑杆；411、支撑螺栓；42、底架；43、托盘；44、底板；45、挡板；451、插接槽；46、减震垫。

具体实施方式

以下结合附图1-3对本申请作进一步详细说明。

本申请实施例公开分子泵防震装置。

实施例一

参照图2，包括防震机构3，防震机构3为弹性减震型补偿器，弹性减震型补偿器设置于分子泵1与闸板阀2之间，并且弹性减震型补偿器与分子泵1和闸板阀2均可拆卸连接。

防震机构3轴线方向的两端均穿设有安装螺栓31，朝向分子泵1的安装螺栓31一端穿过防震机构3和排气口11，并且安装螺栓31穿过排气口11的一端套设有安装螺母32，安装螺母32与安装螺栓31螺纹连接，安装螺母32设置于分子泵1出气口背向防震机构3的一侧。朝向闸板阀2的安装螺栓31一端穿过防震机构3并与闸板阀2螺纹连接。

防震机构3朝向分子泵1的一端可拆卸连接有支撑机构4，防震机构3包括连接头33，连接头33沿防震机构3的周向间隔均匀设置有四个。支撑机构4包括支撑杆41，连接头33上穿设有支撑螺栓411，支撑螺栓411穿过连接头33的一端与支撑杆41螺纹连接，支撑杆41沿防震机构3周向方向间隔均匀设置有四个。

四个支撑杆41背向防震机构3的一端固定连接有一底架42，底架42为高度方向一端开口的长方体盒体，支撑杆41长度方向的一端与底架42固定连接。底架42朝向分子泵1的表面固设有托盘43，分子泵1固设于托盘43背向底架42的表面。

分子泵1的外侧面上可拆卸连接有散热器13，散热器13为长方体。

本申请实施例分子泵防震装置的实施原理为：在分子泵1和闸板阀2之间设置防震机构3，在闸板阀2开启或关闭时，闸板阀2的震动经由防震机构3进行缓冲，降低分子泵1的震动幅度，提高其稳定性。

将分子泵1稳定安装在底架42和托盘43上后，将支撑杆41与防震机构3稳定连接，支撑杆41可以将防震机构3的震动部分导入底架42，进一步提高分子泵1的稳定性。

实施例二

参照图3，分子泵防震装置，与实施例一不同之处在于，支撑机构4包括底板44，底板44设置于分子泵1背向闸板阀2的一侧，底板44为圆板，底板44的外径大于分子泵1的最大外径。

底板44厚度方向的一端固设有挡板45，挡板45为弧形板，且挡板45的外径与底板44外径相等，挡板45沿底板44的周向方向间隔均匀设置有两个，挡板45轴线方向的高度大于分子泵1轴线方向的高度。

挡板45的内侧面固设有减震垫46，减震垫46为橡胶垫，减震垫46为弧形板，减震垫46的外侧面与挡板45固定连接，减震垫46的内侧面与分子泵1的外侧面相配合且接触。

挡板45和减震垫46背向底板44的一端均开设有插接槽451，插接槽451贯穿挡板45和减震垫46沿自身轴线方向的两个侧壁，且插接槽451于每个挡板45和减震垫46上各间隔设置有两个，插接槽451可以容纳连接头33插入。当分子泵1底面与底板44接触时，防震机构3恰好位于两个密封板之间且连接头33均位于插接槽451内，散热器13位于两个挡板45沿周向方向之间。

上述实施例的实施原理为：将底板44放置于地面，将分子泵1置于两个减震垫46之间，并使连接头33插入插接槽451内，插接槽451限制连接头33沿防震机构3周向方向的转动，进而使防震机构3保持稳定，此时分子泵1的外侧面与减震垫46的内侧面接触，减震垫46可减小分子泵1的震动幅度，对分子泵1起稳定作用。

以上均为本申请的较佳实施例，并非依此限制本申请的保护范围，故：凡依本申请的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本申请的保护范围之内。

Claims (8)

1.分子泵防震装置，其特征在于：包括防震机构(3)，所述防震机构(3)设置于分子泵(1)与闸板阀(2)之间，所述防震机构(3)与分子泵(1)和闸板阀(2)均可拆卸连接。

2.根据权利要求1所述的分子泵防震装置，其特征在于：所述防震机构(3)为弹性减震型补偿器，所述防震机构(3)两端均穿设有安装螺栓(31)；

朝向分子泵(1)的所述安装螺栓(31)穿过排气口(11)并螺纹连接有安装螺母(32)；

朝向闸板阀(2)的所述安装螺栓(31)与闸板阀(2)螺纹连接。

3.根据权利要求2所述的分子泵防震装置，其特征在于：所述安装螺栓(31)沿防震机构(3)周向间隔均匀设置有多个。

4.根据权利要求2所述的分子泵防震装置，其特征在于：所述防震机构(3)包括连接头(33)，所述连接头(33)沿防震机构(3)周向间隔均匀设置有多个，所述防震机构(3)可拆卸连接有支撑机构(4)。

5.根据权利要求4所述的分子泵防震装置，其特征在于：所述支撑机构(4)包括支撑杆(41)，所述支撑杆(41)与连接头(33)可拆卸连接，所述支撑杆(41)设置有与连接头(33)一一对应的多个，多个所述支撑杆(41)固定连接有一底架(42)，所述底架(42)固定连接有托盘(43)，分子泵(1)与所述托盘(43)固定连接。

6.根据权利要求4所述的分子泵防震装置，其特征在于：所述支撑机构(4)包括底板(44)，所述底板(44)上固设有挡板(45)，分子泵(1)与所述底板(44)可拆卸连接，所述挡板(45)与分子泵(1)接触并限制分子泵(1)移动。

7.根据权利要求6所述的分子泵防震装置，其特征在于：所述挡板(45)上固设有减震垫(46)，所述减震垫(46)设置于挡板(45)与分子泵(1)之间。

8.根据权利要求7所述的分子泵防震装置，其特征在于：所述挡板(45)和减震垫(46)上均开设有能容纳连接头(33)插入的插接槽(451)，所述插接槽(451)设置有与连接头(33)一一对应的多个。

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