CN213985027U

CN213985027U - 一种位移台分辨率和精度检测装置

Info

Publication number: CN213985027U
Application number: CN202120060737.8U
Authority: CN
Inventors: 杨向通; 冯鹰
Original assignee: Wuxi Shine Opto Electronics Technologies Co ltd
Current assignee: Wuxi Shine Opto Electronics Technologies Co ltd
Priority date: 2021-01-11
Filing date: 2021-01-11
Publication date: 2021-08-17
Anticipated expiration: 2031-01-11

Abstract

本实用新型提供一种位移台分辨率和精度检测装置，涉及位移台检测技术领域，解决了目前使用的检测装置仅根据显微镜的具体位置进行检测，不具备对于位移台本身的各个位置进行数据测量的功能的问题。一种位移台分辨率和精度检测装置，包括底座；所述底座为T形台结构，且底座的顶部固定设置有顶座；所述顶座的顶部内侧开设有内槽，且内槽的内侧底部固定设置有提升筒；通过设置有锁紧装置和贴合条，为检测装置提供了调整功能，利用贴合条将位移台进行固定，同时八组贴合条将位移台的边侧进行对正，将位移台边侧与八组贴合条平行，完成对位移台的固定，并将下夹片和上夹片推入位移台的中间夹缝中，以便进行测量。

Description

一种位移台分辨率和精度检测装置

技术领域

本实用新型属于位移台检测技术领域，更具体地说，特别涉及一种位移台分辨率和精度检测装置。

背景技术

位移台是用以带动负载在其运动平面进行直线移动的装置。位移台理想的移动路径为直线，沿运动直线在垂直水平面的偏移量称为运动平行度，运动平行度通过机械加工和装调来保证精度。

经过检索例如专利号为CN210004952U的专利公开了一种位移台分辨率和精度检测装置，包括方形的分辨率板、90度安装支架和显微镜，分辨率板上设置有纵向和横向的刻度，分辨率板通过基座固定连接在90度安装支架上，90度安装支架固定连接在位移台上，显微镜的物镜聚焦后能够对准分辨率板上的刻度，刻度的精度大于位移台精度，目镜上设置有十字叉丝。本实用新型的检测装置能够分别实现角度位移台、旋转台、平移台、升降台的分辨率和精度检测，显微镜的普及率相对激光干涉仪高很多，成本较低，分辨率板有不同精度的商品购买，测量装置的结构简单，无需特别维护；测量原理比较简单，无需专人操作，能够实现不同规格位移台的检测。

基于上述，目前使用的检测装置仅根据显微镜的具体位置进行检测，不具备对于位移台本身的各个位置进行数据测量的功能，不能根据位移台类型不同快速移动装配实现测量。

于是，有鉴于此，针对现有的结构及缺失予以研究改良，提供一种位移台分辨率和精度检测装置，以期达到更具有更加实用价值性的目的。

实用新型内容

为了解决上述技术问题，本实用新型提供一种位移台分辨率和精度检测装置，以解决上述背景技术中提出的目前使用的检测装置仅根据显微镜的具体位置进行检测，不具备对于位移台本身的各个位置进行数据测量的功能，不能根据位移台类型不同快速移动装配实现测量的问题。

本实用新型一种位移台分辨率和精度检测装置的目的与功效，由以下具体技术手段所达成：

一种位移台分辨率和精度检测装置，包括底座；所述底座为T形台结构，且底座的顶部固定设置有顶座；所述顶座的顶部内侧开设有内槽，且内槽的内侧底部固定设置有提升筒；所述顶座的边侧中间开设有圆槽孔，圆槽孔内固定设置有锁紧装置；所述锁紧装置还包括有螺纹筒A，装配筒A，推片；所述螺纹筒A的一侧内部开设有螺孔；所述装配筒A的内部固定设置有螺杆，装配筒A与螺纹筒A滑动连接，同时螺纹筒A螺孔与装配筒A螺杆螺纹连接，螺纹筒A外侧套设有弹簧；所述装配筒A外侧固定设置有推片。

优选的，所述底座还包括有气管，输气筒，外条架，活塞板，锁紧螺杆；底座的一侧连接设置有气管，气管穿过底座和顶座与提升筒内部连接相通；气管的一端连接设置有输气筒，输气筒的外侧固定设置有外条架；输气筒内滑动设置有活塞板，活塞板内侧设置有弹簧；外条架中通过螺纹连接固定设置有锁紧螺杆。

优选的，所述顶座还包括有延伸条，十字槽；顶座的顶部边侧均一体式设置有两组延伸条，延伸条的内侧均开设有十字槽，十字槽的中间和顶部贯穿顶座与内槽连通；十字槽内均滑动设置有贴合条，贴合条的底部为十字形结构并与十字槽吻合；贴合条的外侧设置有刻度；贴合条外均设置有测量装置。

优选的，所述提升筒还包括有提升塞柱，托盘；提升筒的内侧滑动设置有提升塞柱，提升塞柱的底部边缘为活塞结构；提升塞柱的顶部固定设置有托盘；所述内槽的内侧固定设置有四组伸缩杆，伸缩杆的顶部与托盘底部固定连接。

优选的，所述锁紧装置还包括有拨动装置，T形孔，磁片，球头杆；装配筒A的一端固定设置有拨动装置，拨动装置内开设有两组T形孔，两组T形孔中心对称；T形孔的窄口端外侧均固定设置有磁片；T形孔内均滑动设置有球头杆，球头杆的一侧固定设置有铁片结构；贴合条的底部固定设置有连接条，连接条的中间一体式设置有环形结构，环形结构滑动设置于装配筒A外并贴合推片。

优选的，所述测量装置还包括有下夹片，上夹片，导向杆，顶部连块，连杆A，连杆B，轴架A，轴架B；下夹片和上夹片均滑动设置于贴合条外侧，且下夹片和上夹片为对称设置；下夹片的外侧顶部固定设置有两组导向杆，导向杆穿过上夹片固定设置有顶部连块；下夹片和上夹片的外侧均通过铰连接旋转设置有连杆A，连杆A的中间处通过铰连接旋转设置有连杆B，两组连杆B之间通过铰连接旋转设置有轴架A；两组连杆A的另一端通过铰连接旋转设置有轴架B；轴架A的外侧固定设置有定位装置。

优选的，所述定位装置还包括有螺纹筒B，装配筒B；螺纹筒B的一侧内部开设有螺孔；装配筒B的内部固定设置有螺杆，螺纹筒B穿过轴架B和装配筒B滑动连接，同时螺纹筒B螺孔与装配筒B螺杆螺纹连接。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

通过设置有锁紧装置和贴合条，为检测装置提供了调整功能，将位移台放置在顶座的顶部中间，拉出球头杆，转动四组拨动装置带动装配筒A旋转，旋转装配筒A通过螺纹连接锁紧螺纹筒A，将连接条和贴合条向内靠拢，利用贴合条将位移台进行固定，同时八组贴合条将位移台的边侧进行对正，将位移台边侧与八组贴合条平行，完成对位移台的固定，并将下夹片和上夹片推入位移台的中间夹缝中，以便进行测量。

其次，测量装置的设置，能够为检测装置提供位移台不同位置的间隔距离，转动装配筒B通过螺纹连接锁紧螺纹筒B，将装配筒B向内靠拢，装配筒B带动轴架B靠向轴架A，轴架B配合连杆A和连杆B将下夹片和上夹片向外撑开，将下夹片和上夹片贴合在位移台的内侧两端，通过贴合条可以测量出位移台边侧八个点位的间距，对分辨率和精度进行检测。

再者，提升塞柱的设置，为检测装置提供了辅助对正功能，转动锁紧螺杆顶紧活塞板，通过活塞板将空气推入提升筒内，能够将提升塞柱和托盘升起，将位移台抬起少许检测对正。

附图说明

图1是本实用新型的立体结构示意图。

图2是本实用新型的侧仰结构示意图。

图3是本实用新型的立体剖视结构示意图。

图4是本实用新型锁紧装置的立体拆解结构示意图。

图5是本实用新型测量装置的立体结构示意图。

图6是本实用新型定位装置的立体结构示意图。

图中，部件名称与附图编号的对应关系为：

1、底座；101、气管；102、输气筒；103、外条架；104、活塞板；105、锁紧螺杆；2、顶座；201、内槽；202、延伸条；203、十字槽；204、圆槽孔；3、提升筒；301、提升塞柱；302、托盘；4、伸缩杆；5、锁紧装置；501、螺纹筒A；502、装配筒A；503、推片；504、拨动装置；505、T形孔；506、磁片；507、球头杆；6、贴合条；7、连接条；8、测量装置；801、下夹片；802、上夹片；803、导向杆；804、顶部连块；805、连杆A；806、连杆B；807、轴架A；808、轴架B；9、定位装置；901、螺纹筒B；902、装配筒B。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。

在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

实施例：

如附图1至附图5所示：

本实用新型提供一种位移台分辨率和精度检测装置，包括底座1；底座1为T形台结构，且底座1的顶部固定设置有顶座2；顶座2的顶部内侧开设有内槽201，且内槽201的内侧底部固定设置有提升筒3；顶座2的边侧中间开设有圆槽孔204，圆槽孔204内固定设置有锁紧装置5；锁紧装置5还包括有螺纹筒A501，装配筒A502，推片503；螺纹筒A501的一侧内部开设有螺孔；装配筒A502的内部固定设置有螺杆，装配筒A502与螺纹筒A501滑动连接，同时螺纹筒A501螺孔与装配筒A502螺杆螺纹连接，螺纹筒A501外侧套设有弹簧；装配筒A502外侧固定设置有推片503；底座1还包括有气管101，输气筒102，外条架103，活塞板104，锁紧螺杆105；底座1的一侧连接设置有气管101，气管101穿过底座1和顶座2与提升筒3内部连接相通；气管101的一端连接设置有输气筒102，输气筒102的外侧固定设置有外条架103；输气筒102内滑动设置有活塞板104，活塞板104内侧设置有弹簧；外条架103中通过螺纹连接固定设置有锁紧螺杆105；顶座2还包括有延伸条202，十字槽203；顶座2的顶部边侧均一体式设置有两组延伸条202，延伸条202的内侧均开设有十字槽203，十字槽203的中间和顶部贯穿顶座2与内槽201连通；十字槽203内均滑动设置有贴合条6，贴合条6的底部为十字形结构并与十字槽203吻合；贴合条6的外侧设置有刻度；提升筒3还包括有提升塞柱301，托盘302；提升筒3的内侧滑动设置有提升塞柱301，提升塞柱301的底部边缘为活塞结构；提升塞柱301的顶部固定设置有托盘302；内槽201的内侧固定设置有四组伸缩杆4，伸缩杆4的顶部与托盘302底部固定连接；锁紧装置5还包括有拨动装置504，T形孔505，磁片506，球头杆507；装配筒A502的一端固定设置有拨动装置504，拨动装置504内开设有两组T形孔505，两组T形孔505中心对称；T形孔505的窄口端外侧均固定设置有磁片506；T形孔505内均滑动设置有球头杆507，球头杆507的一侧固定设置有铁片结构；贴合条6的底部固定设置有连接条7，连接条7的中间一体式设置有环形结构，环形结构滑动设置于装配筒A502外并贴合推片503；贴合条6外均设置有测量装置8。

其中，测量装置8还包括有下夹片801，上夹片802，导向杆803，顶部连块804，连杆A805，连杆B806，轴架A807，轴架B808；下夹片801和上夹片802均滑动设置于贴合条6外侧，且下夹片801和上夹片802为对称设置；下夹片801的外侧顶部固定设置有两组导向杆803，导向杆803穿过上夹片802固定设置有顶部连块804；下夹片801和上夹片802的外侧均通过铰连接旋转设置有连杆A805，连杆A805的中间处通过铰连接旋转设置有连杆B806，两组连杆B806之间通过铰连接旋转设置有轴架A807；两组连杆A805的另一端通过铰连接旋转设置有轴架B808；轴架A807的外侧固定设置有定位装置9。

其中，定位装置9还包括有螺纹筒B901，装配筒B902；螺纹筒B901的一侧内部开设有螺孔；装配筒B902的内部固定设置有螺杆，螺纹筒B901穿过轴架B808和装配筒B902滑动连接，同时螺纹筒B901螺孔与装配筒B902螺杆螺纹连接。

本实施例的具体使用方式与作用：

本实用新型中，使用时，展开位移台的上下模组，将位移台放置在顶座2的顶部中间，拉出球头杆507，转动四组拨动装置504带动装配筒A502旋转，旋转装配筒A502通过螺纹连接锁紧螺纹筒A501，将连接条7和贴合条6向内靠拢，利用贴合条6将位移台进行固定，同时八组贴合条6将位移台的边侧进行对正，将位移台边侧与八组贴合条6平行，完成对位移台的固定，并将下夹片801和上夹片802推入位移台的中间夹缝中。

转动装配筒B902通过螺纹连接锁紧螺纹筒B901，将装配筒B902向内靠拢，装配筒B902带动轴架B808靠向轴架A807，轴架B808配合连杆A805和连杆B806将下夹片801和上夹片802向外撑开，将下夹片801和上夹片802贴合在位移台的内侧两端，通过贴合条6可以测量出位移台边侧八个点位的间距，对分辨率和精度进行检测；转动锁紧螺杆105顶紧活塞板104，通过活塞板104将空气推入提升筒3内，能够将提升塞柱301和托盘302升起，将位移台抬起少许检测对正。

本实用新型的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本实用新型限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本实用新型的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本实用新型从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。

Claims

1.一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于，包括：底座(1)；所述底座(1)为T形台结构，且底座(1)的顶部固定设置有顶座(2)；所述顶座(2)的顶部内侧开设有内槽(201)，且内槽(201)的内侧底部固定设置有提升筒(3)；所述顶座(2)的边侧中间开设有圆槽孔(204)，圆槽孔(204)内固定设置有锁紧装置(5)；所述锁紧装置(5)还包括有螺纹筒A(501)，装配筒A(502)，推片(503)；所述螺纹筒A(501)的一侧内部开设有螺孔；所述装配筒A(502)的内部固定设置有螺杆，装配筒A(502)与螺纹筒A(501)滑动连接，同时螺纹筒A(501)螺孔与装配筒A(502)螺杆螺纹连接，螺纹筒A(501)外侧套设有弹簧；所述装配筒A(502)外侧固定设置有推片(503)。

2.如权利要求1所述一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：所述底座(1)还包括有气管(101)，输气筒(102)，外条架(103)，活塞板(104)，锁紧螺杆(105)；底座(1)的一侧连接设置有气管(101)，气管(101)穿过底座(1)和顶座(2)与提升筒(3)内部连接相通；气管(101)的一端连接设置有输气筒(102)，输气筒(102)的外侧固定设置有外条架(103)；输气筒(102)内滑动设置有活塞板(104)，活塞板(104)内侧设置有弹簧；外条架(103)中通过螺纹连接固定设置有锁紧螺杆(105)。

3.如权利要求1所述一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：所述顶座(2)还包括有延伸条(202)，十字槽(203)；顶座(2)的顶部边侧均一体式设置有两组延伸条(202)，延伸条(202)的内侧均开设有十字槽(203)，十字槽(203)的中间和顶部贯穿顶座(2)与内槽(201)连通；十字槽(203)内均滑动设置有贴合条(6)，贴合条(6)的底部为十字形结构并与十字槽(203)吻合；贴合条(6)的外侧设置有刻度；贴合条(6)外均设置有测量装置(8)。

4.如权利要求1所述一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：所述提升筒(3)还包括有提升塞柱(301)，托盘(302)；提升筒(3)的内侧滑动设置有提升塞柱(301)，提升塞柱(301)的底部边缘为活塞结构；提升塞柱(301)的顶部固定设置有托盘(302)；所述内槽(201)的内侧固定设置有四组伸缩杆(4)，伸缩杆(4)的顶部与托盘(302)底部固定连接。

5.如权利要求1所述一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：所述锁紧装置(5)还包括有拨动装置(504)，T形孔(505)，磁片(506)，球头杆(507)；装配筒A(502)的一端固定设置有拨动装置(504)，拨动装置(504)内开设有两组T形孔(505)，两组T形孔(505)中心对称；T形孔(505)的窄口端外侧均固定设置有磁片(506)；T形孔(505)内均滑动设置有球头杆(507)，球头杆(507)的一侧固定设置有铁片结构；贴合条(6)的底部固定设置有连接条(7)，连接条(7)的中间一体式设置有环形结构，环形结构滑动设置于装配筒A(502)外并贴合推片(503)。

6.如权利要求3所述一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：所述测量装置(8)还包括有下夹片(801)，上夹片(802)，导向杆(803)，顶部连块(804)，连杆A(805)，连杆B(806)，轴架A(807)，轴架B(808)；下夹片(801)和上夹片(802)均滑动设置于贴合条(6)外侧，且下夹片(801) 和上夹片(802)为对称设置；下夹片(801)的外侧顶部固定设置有两组导向杆(803)，导向杆(803)穿过上夹片(802)固定设置有顶部连块(804)；下夹片(801)和上夹片(802)的外侧均通过铰连接旋转设置有连杆A(805)，连杆A(805)的中间处通过铰连接旋转设置有连杆B(806)，两组连杆B(806)之间通过铰连接旋转设置有轴架A(807)；两组连杆A(805)的另一端通过铰连接旋转设置有轴架B(808)；轴架A(807)的外侧固定设置有定位装置(9)。

7.如权利要求6所述一种位移台分辨率和精度检测装置，其特征在于：所述定位装置(9)还包括有螺纹筒B(901)，装配筒B(902)；螺纹筒B(901)的一侧内部开设有螺孔；装配筒B(902)的内部固定设置有螺杆，螺纹筒B(901)穿过轴架B(808)和装配筒B(902)滑动连接，同时螺纹筒B(901)螺孔与装配筒B(902)螺杆螺纹连接。