CN213957310U - 氢氟醚除尘检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于氢氟醚纯化领域，具体涉及一种氢氟醚除尘检测装置，包括除尘装置以及检测装置；除尘装置包括过滤箱以及设置在过滤箱内的聚酯长纤维过滤器；检测装置包括箱体、设置在箱体内的蒸发盘以及与箱体连通的冷凝器；蒸发盘上方设有与液体出口连通的挥发液体入口；蒸发盘底部设置有加热器；挥发液体入口通过输入管路与液体出口连通；输入管路上设置有蠕动泵以及输入质量流量计；冷凝器的出口通过输出管路与回收罐连通；输出管路上设置输出质量流量计。本实用新型的氢氟醚除尘检测装置通过经氢氟醚通过聚酯长纤维过滤器的聚酯长纤维筒体进行过滤，能够使氢氟醚保存高纯度的要求。
Description
技术领域
本实用新型属于氢氟醚纯化领域，具体涉及一种氢氟醚除尘检测装置。
背景技术
氢氟醚可替代氯氟烃用于多种应用中。例如，氢氟醚可以用作传热剂(例如，用于混合动力汽车冷却和半导体工业中集成电路工具的冷却或加热，包括诸如干式蚀刻机、集成电路测试器、光刻曝光工具、灰化器、化学气相沉积设备、自动检测设备和物理气相沉积设备的冷却或加热)；可用作诸如磁盘或电路板等电子制品的精密清洗或金属清洗用溶剂；用作传热剂；用作制造绝缘泡沫(例如聚氨酯、酚和热塑性泡沫)中的泡孔尺寸调节剂；用作文献保存材料用的和润滑油用的载流体或溶剂；用作动力循环工作流体，例如用于热泵；用作朗肯循环发动机中热回收流体；用作聚合反应的惰性介质；用作从诸如金属的抛光表面去除抛光研磨化合物的抛光研磨剂；用作除水的置换干燥剂，例如从珠宝或金属零件中除水。当氢氟醚用于电子器件时，通常对氢氟醚的纯度要求较高，需要对其进行除尘除杂，因此提供一种除尘除杂的装置并对结果进行检测是当务之急。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术中的缺陷，提供一种氢氟醚除尘检测装置。
本实用新型为实现上述目的，采用以下技术方案：
一种氢氟醚除尘检测装置，包括除尘装置以及检测装置；
所述的除尘装置包括过滤箱以及设置在所述的过滤箱内的聚酯长纤维过滤器；所述的过滤箱上设置有液体入口、排气口以及液体出口；所述的聚酯长纤维过滤器包括由聚酯长纤维形成的筒体以及设置在所述的筒体上下两端的上盖和下盖；所述的上盖上设置有与所述的液体入口连通的进液口；
所述的检测装置包括箱体、设置在所述的箱体内的蒸发盘以及与所述的箱体连通的冷凝器；所述的蒸发盘上方设有与所述的液体出口连通的挥发液体入口；所述的蒸发盘底部设置有加热器；所述的挥发液体入口通过输入管路与所述的液体出口连通；所述的输入管路上设置有蠕动泵以及输入质量流量计；所述的冷凝器的出口通过输出管路与回收罐连通；所述的输出管路上设置输出质量流量计。
所述的挥发液体入口处设置有加压喷洒器。
所述的输入质量流量计以及输出质量流量计通过数据处理单元与显示单元连接。
所述的液体出口与所述的挥发液体入口之间的管路上设置有三通阀；所述的三通阀的其中一个阀口与氢氟醚储罐连通。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型的氢氟醚除尘检测装置通过经氢氟醚通过聚酯长纤维过滤器的聚酯长纤维筒体进行过滤，能够使氢氟醚达到高纯度的要求，同时，对除尘除杂后的氢氟醚进行检测，并会检测品进行回收，检测得到要求后收集后储存使用。
附图说明
图1为本实用新型氢氟醚除尘检测装置的整体结构示意图；
具体实施方式
为了使本技术领域的技术人员更好地理解本实用新型的技术方案，下面结合附图和最佳实施例对本实用新型作进一步的详细说明。
图1示出所述的除尘装置包括过滤箱1以及设置在所述的过滤箱内的聚酯长纤维过滤器3；所述的过滤箱上设置有液体入口4、排气口2以及液体出口5；所述的聚酯长纤维过滤器包括由聚酯长纤维形成的筒体31以及设置在所述的筒体上下两端的上盖32和下盖；所述的上盖上设置有与所述的液体入口4连通的进液口；所述的下盖为封闭端；
所述的检测装置包括箱体10、设置在所述的箱体内的蒸发盘6以及与所述的箱体连通的冷凝器8；所述的蒸发盘上方设有与所述的液体出口连通的挥发液体入口；所述的蒸发盘底部设置有加热器；有机液体通过加压喷洒器喷射到蒸发盘上能加快液体的挥发；所述的箱体外部设置有保温套能够使箱体保温，提高热效率。所述的挥发液体入口通过输入管路与所述的液体出口3连通；所述的输入管路上设置有蠕动泵以及输入质量流量计12；所述的冷凝器的出口通过输出管路与回收罐15连通；所述的输出管路上设置输出质量流量计14。所述的挥发液体入口处设置有加压喷洒器7。所述的输入质量流量计以及输出质量流量计通过数据处理单元与显示单元连接。数据处理单元以及显示单元可以集成到箱体的外部，方便观察和使用。所述的液体出口与所述的挥发液体入口之间的管路上设置有三通阀；所述的三通阀的其中一个阀口与氢氟醚储罐17连通。
本实用新型的工作原理为：待过滤液体通过管路进入过滤箱内的聚酯长纤维过滤器入口，经过聚酯长纤维形成的筒体的过滤进入过滤箱的箱体内，并经过液体出口排除，可以在液体入口以及液体出口处设置阀门进行控制液体的流入和流出。液体出口流出的氢氟醚进入检测装置中，通过检测装置的输入质量流量计以及输出质量流量计的测量数据输送到数据处理单元，根据计算公式(M1-M2)/M1即可得到残留物的比例，其中M1为输入质量流量计的测量值，M2为输出质量流量计的测量值。测量值达标时，打开三通阀使液体出口与氢氟醚储罐17连通对氢氟醚进行收集，从而得到高纯度的氢氟醚。
以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (4)
1.一种氢氟醚除尘检测装置，其特征在于，包括除尘装置以及检测装置；
所述的除尘装置包括过滤箱以及设置在所述的过滤箱内的聚酯长纤维过滤器；所述的过滤箱上设置有液体入口、排气口以及液体出口；所述的聚酯长纤维过滤器包括由聚酯长纤维形成的筒体以及设置在所述的筒体上下两端的上盖和下盖；所述的上盖上设置有与所述的液体入口连通的进液口；
所述的检测装置包括箱体、设置在所述的箱体内的蒸发盘以及与所述的箱体连通的冷凝器；所述的蒸发盘上方设有与所述的液体出口连通的挥发液体入口；所述的蒸发盘底部设置有加热器；所述的挥发液体入口通过输入管路与所述的液体出口连通；所述的输入管路上设置有蠕动泵以及输入质量流量计；所述的冷凝器的出口通过输出管路与回收罐连通；所述的输出管路上设置输出质量流量计。
2.根据权利要求1所述的氢氟醚除尘检测装置，其特征在于，所述的挥发液体入口处设置有加压喷洒器。
3.根据权利要求1所述的氢氟醚除尘检测装置，其特征在于，所述的输入质量流量计以及输出质量流量计通过数据处理单元与显示单元连接。
4.根据权利要求1所述的氢氟醚除尘检测装置，其特征在于，所述的液体出口与所述的挥发液体入口之间的管路上设置有三通阀；所述的三通阀的其中一个阀口与氢氟醚储罐连通。
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