CN213856101U - 一种加热装置及净化设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种加热装置，用于对设置于隔离室内的待加热件进行加热式净化，包括本体，以及局部设置于所述本体的外表面的反射层，所述反射层位于所述本体朝向所述隔离室的腔壁一侧。本实用新型还提供了一种具有加热装置的净化设备。该加热装置有效的降低本体与隔离室的腔壁接触面的加热温度，避免了由于腔壁温度过高，进而降低了隔离室的腔壁的温度，避免了腔壁过热导致的工作人员的烫伤，不仅降低了待加热件的加热成本，同时也节约了能源，避免了能源的浪费。

Description

一种加热装置及净化设备

技术领域

本实用新型涉及镀膜设备技术领域，具体涉及一种加热装置及净化设备。

背景技术

在镀膜设备中包括隔离室，即将进行沉积工艺的硅片在隔离室内去除表面杂质，具体的方法为对硅片表面进行加热，将硅片表面的杂质挥发，从而去除硅片表面附着的脏物。

目前隔离室加热，通常使用红外灯管为硅片加热，红外灯管包括上组灯管和下组灯管，上下组灯管均沿隔离室的腔室壁安装，硅片放置在上下组灯管之间，从而利用上下组灯管柜硅片进行加热。但是该设置，使得红外灯管只有一部分光照射在硅片上，降低了红外灯管的加热效率；而背离硅片一侧的光照射在隔离室的腔室壁上，不仅被浪费，而且容易造成隔离室腔室壁过热。为了防止烫伤，需使用冷却水对隔离室进行降温，不仅增加了硅片的加热成本，还造成了能源的浪费。

实用新型内容

因此，本实用新型要解决的技术问题在于克服现有技术中加热装置在使用时，加热效率较低的缺陷，从而提供一种加热效率较高的加热装置及净化设备。

为解决上述技术问题，本实用新型的技术方案如下：

一种加热装置，用于对设置于隔离室内的待加热件进行加热式净化，其包括本体，以及局部设置于所述本体的外表面的反射层，所述反射层位于所述本体朝向所述隔离室的腔壁一侧。

可选的，所述本体为管状结构；所述反射层沿所述本体轴向长度设置，且位于所述本体朝向所述隔离室的腔壁一侧。

可选的，所述反射层占所述本体的周长范围的四分之一至二分之一之间。

可选的，所述反射层为包括具有反射性质的金属材料的膜层。

可选的，所述金属材料包括金或银。

可选的，所述反射层为陶瓷反射层。

可选的，所述本体为红外加热管。

可选的，所述红外加热管包括设置于所述隔离室的相对腔壁的第一加热组件和第二加热组件，待加热件设置于第一加热组件和第二加热组件所述红外加热管之间。

可选的，所述第一加热组件和所述第二加热组件均具有多个，所述第一加热组件和所述第二加热组件绕所述待加热件的外周均匀、交错设置。

本实用新型还提供了一种净化设备，包括本实用新型所述的加热装置，还包括：隔离室，所述加热装置沿所述隔离室的腔壁设置。

本实用新型技术方案，具有如下优点：

1.本实用新型提供的加热装置，用于隔离室内的加热式净化，包括本体，以及局部设置于所述本体的外表面的反射层，所述反射层位于所述本体朝向所述隔离室的腔壁一侧。

通过在本体的外表面上设置反射层，并且反射层位于本体与隔离室的腔壁接触的一侧，将红外加热管发出的光源聚集在固定方向，即朝向待加热件的表面，从而有效的照射在待加热件上，还有效的降低本体与隔离室的腔壁接触面的加热温度，避免了由于腔壁温度过高，而需要冷却水对腔壁进行降温的这一道工序，进而降低了隔离室的腔壁的温度，避免了腔壁过热导致的工作人员的烫伤，不仅降低了待加热件加热的成本，同时也节约了能源，避免了能源的浪费。

2.本实用新型提供的加热装置，所述反射层占所述本体的周长范围的四分之一至二分之一之间；将反射层设置在该范围内，不仅有效的隔绝了红外加热管与腔壁的接触面积，极大地降低了腔壁的温度，同时也避免了红外加热管将光照射在腔壁上，使得红外加热管的光均照射在待加热件上，从而增加了待加热件表面杂质的挥发效率，即提高了加热装置的加热效率。

3.本实用新型提供的加热装置，所述反射层为包括具有反射性质的金属材料的膜层，通过金属材料的膜层使光源聚集在固定方向，即均朝向了待加热件的表面，大大的提高了待加热件表面的加热效率，从而充分地提高了单位时间内待加热件表面杂质的挥发率。

4.本实用新型提供的加热装置，所述金属为金或银，使得红外加热管释放的光源聚集在待加热件的表面，镀金或镀银反射层的反射损失少，大大的提高了待加热件表面的加热效率，从而充分地提高了单位时间内待加热件表面杂质的挥发率。

5.本实用新型提供的加热装置，所述第一加热组件和所述第二加热组件均具有多个，所述第一加热组件和所述第二加热组件绕所述待加热件的外周均匀、交错设置，保证了待加热件上下两面的均匀受热性，从而提高了待加热件的加热效率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的加热装置的结构俯视示意图；

图2为本实用新型实施例提供的两组加热装置的结构俯视示意图。

附图标记说明：

1-本体；2-反射层；3-待加热件；4-隔离室。

具体实施方式

下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1和图2所示，本实用新型实施例提供的一种加热装置，用于对设置于隔离室4内的待加热件进行加热式净化，即该加热装置设于隔离室4内，用于对待加热件3进行加热，以对待加热件3通过加热方式进行净化。本实施例以待加热件3为硅片进行示例说明，即该加热装置用于对待加热件3进行加热，从而去除待加热件3表面的杂质。其中，加热装置包括本体1，以及局部设置于所述本体1的外表面的反射层2；所述反射层2位于所述本体1朝向所述隔离室4的腔壁一侧。

通过在本体1的外表面上设置反射层2，在本实施例中，本体1 为红外加热管，红外加热管是利用红外线原理的管状加热器，具有品质优良、电热转换效率高、热滞后效应小，功率密度大、升温迅速、省电、寿命长等特点。其中，反射层2位于本体1与隔离室4的腔壁接触的一侧，将红外加热管发出的光源聚集在固定方向，即均朝向了待加热件3的表面，从而有效的照射在待加热件3上，还有效的降低本体1与隔离室4的腔壁接触面的加热温度，避免了由于腔壁温度过高，而需要冷却水对腔壁进行降温的这一道工序，进而降低了隔离室 4的腔壁的温度，避免了腔壁过热导致的工作人员的烫伤，不仅降低了待加热件3加热的成本，同时也节约了能源，避免了能源的浪费。

进一步地，所述本体1为管状结构，沿着隔离室4的长度方向延伸，固定的安装在隔离室4的腔壁上。由于本体1为管状结构，因此，本体1与腔壁的接触面积有限，可以将所述反射层2沿所述本体1轴向长度设置，且位于所述本体1朝向所述隔离室4的腔壁一侧；并且所述反射层2占所述本体1的周长范围的四分之一至二分之一之间；将反射层2设置在该范围内，不仅有效的隔绝了红外加热管与腔壁的接触面积，极大地降低了腔壁的温度，同时也避免了红外加热管将光照射在腔壁上，使得红外加热管的光均照射在待加热件3上，从而增加了待加热件3表面杂质的挥发效率，即提高了加热装置的加热效率。

请继续参阅图1所示，所述反射层2为包括具有反射性质的金属材料的膜层；通过反射性质的金属材料的膜层的设置，使光源聚集在固定方向，即均朝向了待加热件3的表面，大大的提高了待加热件3 表面的加热效率，从而充分地提高了单位时间内待加热件3表面杂质的挥发率。

具体地，在红外加热管的温度低于800℃时，可以利用金或银制作成镀金反射层，由金制作的镀金反射层、或由银制作的镀银反射层使得红外加热管释放的光源聚集在待加热件3的表面，镀金反射层和镀银反射层的反射损失少，大大的提高了待加热件3表面的加热效率，从而充分地提高了单位时间内待加热件3表面杂质的挥发率。

作为可替换的实施方式，所述金属材料还可以为铝，具体的可以根据实际情况自行设定。

作为可替换的实施方式，当红外加热管的温度在800℃以上时，所述反射层还可以为陶瓷反射层。该陶瓷反射层因红外线反射率高，提高红外加热管的热利用率，减少了热能损失，达到红外加热管节能的目的。

请继续参阅图1，在本实施例中，所述红外加热管包括设置于所述隔离室4的相对腔壁的第一加热组件和第二加热组件，待加热件3 设置于第一加热组件和第二加热组件所述红外加热管之间，使得红外加热管可以从两个方面，即待加热件3的上下两面，均对待加热件3 进行照射，从而加快挥发待加热件3表面的杂质，进而提高了加热效率。

具体地，所述第一加热组件和所述第二加热组件均具有多个，所述第一加热组件和所述第二加热组件绕所述待加热件3的外周均匀、交错设置；从而保证了待加热件3上下两面的均匀受热性，进而提高了待加热件3的加热效率。

请参阅图2所示，还可以将第一加热组件和第二加热组件均设置为两组，即均设置在隔离室4的腔壁上，对待加热件3进行照射，从而提高了加热效率。

本实用新型还提供了一种净化设备，包括本实用新型所述的加热装置，还包括隔离室4，所述加热装置沿所述隔离室4的腔壁设置；即两组红外加热管沿着隔离室4的腔壁设置；该加热装置用于对待加热件3进行加热，以对待加热件3通过加热方式进行净化，即该加热装置用于对待加热件3进行加热，从而去除待加热件3表面的杂质，达到净化的作用。解决了背景技术中所提及的现有技术中加热装置在使用时，加热效率低的缺陷。通过在加热装置上增设反射层2，从而不需要在隔离室4内部安装反射板，节省了安装空间，同时也便于加热装置的拆装。通过控制红外加热管的功率，使隔离室4内的达到预设温度，当待加热件3随着载板运动至隔离室4内，通过红外加热管的加热，使待加热件3迅速升温，从而达到清洁目的。

这种加热装置，通过在本体1的外表面上设置反射层2，并且反射层2位于本体1与隔离室4的腔壁接触的一侧，将红外加热管发出的光源有效的照射在待加热件3上。还可以有效的降低本体1与隔离室4的腔壁接触面的加热温度，避免了由于腔壁温度过高，而需要冷却水对腔壁进行降温的这一道工序，进而降低了隔离室4的腔壁的温度，不仅降低了待加热件3加热的成本，还避免了腔壁过热导致的问题，同时也节约了能源，避免了能源的浪费。

上述的待加热件3可以为太阳能电池生产过程中处于镀膜工艺的电池片，其以硅片为基准，在硅片的两侧分别形成对称的膜层结构，以形成半导体的PN结，实现光-电转换。

显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本实用新型创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种加热装置，用于对设置于隔离室(4)内的待加热件进行加热式净化，其特征在于，包括本体(1)，以及局部设置于所述本体(1)的外表面的反射层(2)，所述反射层(2)位于所述本体(1)朝向所述隔离室(4)的腔壁一侧。

2.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述本体(1)为管状结构；所述反射层(2)沿所述本体(1)轴向长度设置，且位于所述本体(1)朝向所述隔离室(4)的腔壁一侧。

3.根据权利要求2所述的加热装置，其特征在于，所述反射层(2)占所述本体(1)的周长范围的四分之一至二分之一之间。

4.根据权利要求1所述的加热装置，其特征在于，所述反射层(2)为包括具有反射性质的金属材料的膜层。

5.根据权利要求4所述的加热装置，其特征在于，所述金属材料包括金或银。

6.根据权利要求4所述的加热装置，其特征在于，所述反射层(2)为陶瓷反射层。

7.根据权利要求1-6中任一项所述的加热装置，其特征在于，所述本体(1)为红外加热管。

8.根据权利要求7所述的加热装置，其特征在于，所述红外加热管包括设置于所述隔离室(4)的相对腔壁的第一加热组件和第二加热组件，所述待加热件(3)设置于所述第一加热组件和所述第二加热组件之间。

9.根据权利要求8所述的加热装置，其特征在于，所述第一加热组件和所述第二加热组件均具有多个，所述第一加热组件和所述第二加热组件绕所述待加热件(3)的外周均匀、交错设置。

10.一种净化设备，其特征在于，包括权利要求1-9中任一项所述的加热装置，还包括：隔离室(4)，所述加热装置沿所述隔离室(4)的腔壁设置。

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