CN213624360U - 一种真空镀膜用均匀加热装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其是一种真空镀膜用均匀加热装置,包括加热板,所述加热板的两端均固定连接有侧板,两个所述侧板上均固定连接有第二轴承,其中一个所述第二轴承内轴面固定连接有第一转轴,另一个所述第二轴承的内轴面固定连接有第二转轴,所述第一转轴一端通过伸缩机构固定连接有第一固定板,所述第二转轴上固定连接有第二固定板,所述第二固定板上固定连接有第一轴承,所述第一轴承的内轴面固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆螺纹贯穿所述第一固定板,所述第一转轴另一端传动连接有电机。本实用新型具有保证工件均匀受热的特点。
Description
技术领域
本实用新型涉及真空镀膜技术领域,尤其涉及一种真空镀膜用均匀加热装置。
背景技术
真空镀膜是一种由物理方法产生薄膜材料的技术,在真空室内材料的原子从加热源离析出来打到被镀物体的表面上。现有的真空镀膜加热装置,在对工件进行加热时,无法对工件在加热时进行转动,导致工件离热量源近的部分温度高,离热量源低的部分,温度低,导致工件受热不均匀的情况,容易影响镀膜的质量。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的工件受热不均匀的情况,容易影响镀膜质量的缺点,而提出的一种真空镀膜用均匀加热装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
设计一种真空镀膜用均匀加热装置,包括加热板,所述加热板的两端均固定连接有侧板,两个所述侧板上均固定连接有第二轴承,其中一个所述第二轴承内轴面固定连接有第一转轴,另一个所述第二轴承的内轴面固定连接有第二转轴,所述第一转轴一端通过伸缩机构固定连接有第一固定板,所述第二转轴上固定连接有第二固定板,第二固定板上固定连接有第一轴承,所述第一轴承的内轴面固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆螺纹贯穿所述第一固定板,所述第一转轴另一端传动连接有电机。
优选的,所述伸缩机构包括与所述第一转轴上固定连接的连接棱,所述连接棱外侧套设有连接框,所述连接框与所述第一固定板固定连接。
优选的,所述螺纹杆上固定连接有转动盘。
优选的,所述电机为低速电机。
优选的,所述第一转轴为隔热材料制成
本实用新型提出的一种真空镀膜用均匀加热装置,有益效果在于:通过采用第一固定板、第二固定板、螺纹杆、转轴伸缩机构的设计,以便对不同尺寸的工件进行夹紧,从而将带动工件进行转动,保证了工件的受热均匀。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种真空镀膜用均匀加热装置的立体图一;
图2为本实用新型提出的一种真空镀膜用均匀加热装置的立体图二;
图3为本实用新型提出的一种真空镀膜用均匀加热装置的正视图。
图中:加热板1、侧板2、连接框3、连接棱4、电机5、第一转轴6、第二转轴7、第一固定板8、螺纹杆9、转动盘10、第一轴承11、第二轴承12、第二固定板13。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
参照图1-3,一种真空镀膜用均匀加热装置,包括加热板1,加热板1的两端均固定连接有侧板2,通过将加热板1固定安装在真空镀膜装置内。
两个侧板2上均固定连接有第二轴承12,其中一个第二轴承12内轴面固定连接有第一转轴6,另一个第二轴承12的内轴面固定连接有第二转轴7,第一转轴6一端通过伸缩机构固定连接有第一固定板8,第二转轴7上固定连接有第二固定板13,第二固定板13上固定连接有第一轴承11,第一轴承11的内轴面固定连接有螺纹杆9,螺纹杆9螺纹贯穿第一固定板8,第一转轴6另一端传动连接有电机5,电机5为低速电机,电机5安装在真空镀膜装置外壁上,第一转轴6与真空镀膜装置内壁之间通过密封轴承连接,通过转动螺纹杆9,带动第一固定板8进行移动,使第一固定板8与第二固定板13将工件进行夹紧,在进行加热时,打开电机5进行转动,带动第一转轴6进行转动,从而带动被夹紧的工件进行转动,保证了工件的受热均匀。
伸缩机构包括与第一转轴6上固定连接的连接棱4,连接棱4外侧套设有连接框3,连接框3与第一固定板8固定连接,通过连接框3与连接棱4的设计,确保了第一固定板8能够进行横向的移动,同时第一转轴6在进行转动时,能够带动第一固定板8进行转动。
螺纹杆9上固定连接有转动盘10,转动盘10的设计,便于带动螺纹杆9进行转动。
第一转轴6为隔热材料制成,第一转轴6为硅酸盐材料制成,起到热量隔绝的作用,防止热量传递对电机5造成损坏。
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种真空镀膜用均匀加热装置,包括加热板(1),其特征在于,所述加热板(1)的两端均固定连接有侧板(2),两个所述侧板(2)上均固定连接有第二轴承(12),其中一个所述第二轴承(12)内轴面固定连接有第一转轴(6),另一个所述第二轴承(12)的内轴面固定连接有第二转轴(7),所述第一转轴(6)一端通过伸缩机构固定连接有第一固定板(8),所述第二转轴(7)上固定连接有第二固定板(13),所述第二固定板(13)上固定连接有第一轴承(11),所述第一轴承(11)的内轴面固定连接有螺纹杆(9),所述螺纹杆(9)螺纹贯穿所述第一固定板(8),所述第一转轴(6)另一端传动连接有电机(5)。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用均匀加热装置,其特征在于,所述伸缩机构包括与所述第一转轴(6)上固定连接的连接棱(4),所述连接棱(4)外侧套设有连接框(3),所述连接框(3)与所述第一固定板(8)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用均匀加热装置,其特征在于,所述螺纹杆(9)上固定连接有转动盘(10)。
4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用均匀加热装置,其特征在于,所述电机(5)为低速电机。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜用均匀加热装置,其特征在于,所述第一转轴(6)为隔热材料制成。
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CN202022665707.8U CN213624360U (zh) | 2020-11-18 | 2020-11-18 | 一种真空镀膜用均匀加热装置 |
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