CN213546290U - 一种用于四或六英寸的碳化硅与氮化镓转换腔的感应装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种用于四或六英寸的碳化硅与氮化镓转换腔的感应装置，包括晶圆夹持支架，所述晶圆夹持支架的圆周向等间距设置有多个定位板，所述晶圆夹持支架的内部圆周向等间距设置有多个滑动腔，所述滑动腔的内部设置有推动定位板复位的复位机构。本实用新型结构设计合理，在吸气机构的作用下可将定位板移动，以便于完成晶圆的夹持，同时也能够满足于不同尺寸大小的晶圆夹持，提高了装置的实用性。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶圆转换腔技术领域，尤其涉及一种用于四或六英寸的碳化硅与氮化镓转换腔的感应装置。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体积体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。目前国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主。
现有技术中，在晶圆生产的过程中，需将晶圆进行测试检测，其中，晶圆在测试时需进行夹持固定，而传统的夹持结构大多结构简单，功能单一，只能将同一中规格的晶圆进行夹持测试，存在局限性，不能满足于生产的需求。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种用于四或六英寸的碳化硅与氮化镓转换腔的感应装置，其在吸气机构的作用下可将定位板移动，以便于完成晶圆的夹持，同时也能够满足于不同尺寸大小的晶圆夹持，提高了装置的实用性。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种用于四或六英寸的碳化硅与氮化镓转换腔的感应装置，包括晶圆夹持支架，所述晶圆夹持支架的圆周向等间距设置有多个定位板，所述晶圆夹持支架的内部圆周向等间距设置有多个滑动腔，所述滑动腔的内部设置有推动定位板复位的复位机构，所述晶圆夹持支架的内部设置有吸气机构。
优选地，所述定位板呈圆弧状结构，所述定位板的内侧固定连接有缓冲垫。
优选地，所述复位机构包括设置在滑动腔内侧的活塞，所述活塞与滑动腔滑动连接，所述活塞与滑动腔之间通过压缩弹簧弹性连接，所述活塞远离压缩弹簧的一侧固定连接有连接杆，所述晶圆夹持支架的侧壁设置有滑槽，所述连接杆远离活塞的一侧延伸至滑槽的内部并与定位板固定连接。
优选地，所述吸气机构包括设置在晶圆夹持支架内部的吸气腔，所述晶圆夹持支架的侧壁设置有与吸气腔相通的吸气孔，所述吸气腔通过多个连通孔分别与滑动腔相连通。
优选地，所述连接杆呈L形结构，所述连接杆的转角部位于滑槽的内部。
优选地，所述缓冲垫采用橡胶材质，所述缓冲垫通过胶合的方式固定。
本实用新型具备以下有益效果：
1、通过吸气机构与定位板的设置，在吸气机构的作用下使得定位板可移动，方便晶圆的夹持工作，能够满足于不同尺寸大小的晶圆夹持，提高了装置的实用性；
2、通过复位机构的设置，利用压缩弹簧的弹性作用力能够实现定位板复位，方便定位板下一次夹持使用；
3、通过缓冲垫的设置，具备一定的缓冲效果，能够避免对晶圆造成损坏的情况，起到了防护的目的。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种用于四或六英寸的碳化硅与氮化镓转换腔的感应装置的结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种用于四或六英寸的碳化硅与氮化镓转换腔的感应装置的剖面结构示意图。
图中：1晶圆夹持支架、2定位板、3缓冲垫、4滑槽、5活塞、 6压缩弹簧、7连接杆、8滑动腔、9连通孔、10吸气腔、11吸气孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
参照图1-2，一种用于四或六英寸的碳化硅与氮化镓转换腔的感应装置，包括晶圆夹持支架1，晶圆夹持支架1的圆周向等间距设置有多个定位板2，晶圆夹持支架1的内部圆周向等间距设置有多个滑动腔8，滑动腔8的内部设置有推动定位板2复位的复位机构，复位机构包括设置在滑动腔8内侧的活塞5，活塞5与滑动腔8滑动连接，活塞5与滑动腔8之间通过压缩弹簧6弹性连接，活塞5远离压缩弹簧6的一侧固定连接有连接杆7，晶圆夹持支架1的侧壁设置有滑槽 4，连接杆7远离活塞5的一侧延伸至滑槽4的内部并与定位板2固定连接，连接杆7呈L形结构，连接杆7的转角部位于滑槽4的内部，利用压缩弹簧6的弹性作用力实现活塞5的复位，从而通过连接杆7 能够让定位板2复位。
晶圆夹持支架1的内部设置有吸气机构，吸气机构包括设置在晶圆夹持支架1内部的吸气腔10，晶圆夹持支架1的侧壁设置有与吸气腔10相通的吸气孔11，吸气腔10通过多个连通孔9分别与滑动腔8相连通，吸气孔11远离吸气腔10的一端可外接有抽吸泵或气体吸气设备，达到吸气的作用。
定位板2呈圆弧状结构，定位板2的内侧固定连接有缓冲垫3，缓冲垫3采用橡胶材质，缓冲垫3通过胶合的方式固定，起到了缓冲的效果，避免对晶圆造成损坏的情况。
使用时，首先将晶圆置于三个定位板2之间的位置，随后抽吸泵经吸气孔11、吸气腔10、连通孔9可抽取滑动腔8内的空气，使得活塞5朝吸气腔10的方向滑动，活塞5滑动带动连接杆7滑动，从而可带动定位板2移动，通过三个定位板2将晶圆进行夹持，反之关闭抽吸泵并断开连接，可在压缩弹簧6的作用下实现活塞5的复位，使得定位板2复位，方便下一次夹持使用。
以上，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种用于四或六英寸的碳化硅与氮化镓转换腔的感应装置，包括晶圆夹持支架(1)，其特征在于，所述晶圆夹持支架(1)的圆周向等间距设置有多个定位板(2)，所述晶圆夹持支架(1)的内部圆周向等间距设置有多个滑动腔(8)，所述滑动腔(8)的内部设置有推动定位板(2)复位的复位机构，所述晶圆夹持支架(1)的内部设置有吸气机构。
2.根据权利要求1所述的一种用于四或六英寸的碳化硅与氮化镓转换腔的感应装置，其特征在于，所述定位板(2)呈圆弧状结构，所述定位板(2)的内侧固定连接有缓冲垫(3)。
3.根据权利要求1所述的一种用于四或六英寸的碳化硅与氮化镓转换腔的感应装置，其特征在于，所述复位机构包括设置在滑动腔(8)内侧的活塞(5)，所述活塞(5)与滑动腔(8)滑动连接，所述活塞(5)与滑动腔(8)之间通过压缩弹簧(6)弹性连接，所述活塞(5)远离压缩弹簧(6)的一侧固定连接有连接杆(7)，所述晶圆夹持支架(1)的侧壁设置有滑槽(4)，所述连接杆(7)远离活塞(5)的一侧延伸至滑槽(4)的内部并与定位板(2)固定连接。
4.根据权利要求3所述的一种用于四或六英寸的碳化硅与氮化镓转换腔的感应装置，其特征在于，所述吸气机构包括设置在晶圆夹持支架(1)内部的吸气腔(10)，所述晶圆夹持支架(1)的侧壁设置有与吸气腔(10)相通的吸气孔(11)，所述吸气腔(10)通过多个连通孔(9)分别与滑动腔(8)相连通。
5.根据权利要求3所述的一种用于四或六英寸的碳化硅与氮化镓转换腔的感应装置，其特征在于，所述连接杆(7)呈L形结构，所述连接杆(7)的转角部位于滑槽(4)的内部。
6.根据权利要求2所述的一种用于四或六英寸的碳化硅与氮化镓转换腔的感应装置，其特征在于，所述缓冲垫(3)采用橡胶材质，所述缓冲垫(3)通过胶合的方式固定。
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| CN202021538848.7U CN213546290U (zh) | 2020-07-30 | 2020-07-30 | 一种用于四或六英寸的碳化硅与氮化镓转换腔的感应装置 |
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2020
- 2020-07-30 CN CN202021538848.7U patent/CN213546290U/zh active Active
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