CN210175454U - 一种晶圆片储存盒 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆片储存盒，包括盒体和底板，所述盒体的底端内侧焊接有底板，所述底板的内部嵌设有多个放置台，且多个放置台上转动连接有两个卡扣，并且两个卡扣关于安装块的中线中心对称设置。本实用新型中，通过将吸盘底部的安装块连带放置台向下进行运动，底板上开设的通孔边缘对卡扣进行向内侧的推挤，进而使得卡扣卡接在安装块的卡槽中，从而对安装块的位置进行限制，通过底部的挤压弹簧对卡块的位置限制，保证了结构的安全性，并且由于吸盘和放置台之间为自由组合关系，使得盒体内部的放置可调，使得可以同时进行不同尺寸的硅圆片的放置。

Description

一种晶圆片储存盒

技术领域

本实用新型涉及硅圆片运输技术领域，尤其涉及一种晶圆片储存盒。

背景技术

硅晶圆：晶圆便是硅元素加以纯化，接着是将这些纯硅制成长硅晶棒，成为制造积体电路的石英半导体的材料，经过照相制版，研磨，抛光，切片等程序，将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，然后切割成一片一片薄薄的晶圆。

然而现有的硅圆片存放盒在使用过程中仍然存在不足之处，现有的硅圆片存放盒大多使用泡沫等进行防冲击、防损坏保护，硅圆片仍然存在自由移动的可能，安全性较低；并且现有的硅圆片存放盒大多内部储存方式不可调，导致对于不同大小的硅圆片存放较为不便。

实用新型内容

本实用新型的目的在于：为了解决现有硅圆片存放安全性不高及存放方式狭隘的问题，而提出的一种晶圆片储存盒。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种晶圆片储存盒，包括盒体和底板，所述盒体的底端内侧焊接有底板，所述底板的内部嵌设有多个放置台，且多个放置台上转动连接有两个卡扣，并且两个卡扣关于安装块的中线中心对称设置，所述多个放置台的底端内部均嵌设有两个卡块，且两个卡块关于放置台的中线中心对称设置，并且两个卡块均通过挤压弹簧与放置台弹性连接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述多个放置台呈矩形阵列设置。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述卡扣均通过扭簧转轴与放置台转动连接，并且卡扣呈纵截面L形结构。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述多个放置台中部分的顶部均设置有安装块，且安装块均通过开设的卡槽与卡扣卡接。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述安装块远离放置台的一端固定连接有吸盘，并且安装块的底端连通有抽气管。

作为上述技术方案的进一步描述：

所述盒体的底部嵌设有保护板。

综上所述，由于采用了上述技术方案，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型中，通过将吸盘底部的安装块连带放置台向下进行运动，底板上开设的通孔边缘对卡扣进行向内侧的推挤，进而使得卡扣卡接在安装块的卡槽中，从而对安装块的位置进行限制，通过底部的挤压弹簧对卡块的位置限制，保证了结构的安全性，并且由于吸盘和放置台之间为自由组合关系，使得盒体内部的放置可调，使得可以同时进行不同尺寸的硅圆片的放置。

2、本实用新型中，在对硅圆片进行储存时，先对吸盘进行位置的安装，完成安装后，将硅圆片放置在吸盘的顶部，将抽气管的自由端与抽气泵进行对接后，启动抽气泵，精确控制内部气压，使得吸盘不会对硅圆片造成伤害的同时，对硅圆片进行吸附作用，从而保证了硅圆片的放置稳定，不会在运载过程中发生滑动，提升装置的安全性。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种晶圆片储存盒的俯视结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种晶圆片储存盒的纵剖结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种晶圆片储存盒的卡接结构示意图；

图4为本实用新型提出的一种晶圆片储存盒的吸盘结构示意图。

图例说明：

1、盒体；2、底板；3、放置台；4、卡扣；5、吸盘；6、保护板；7、安装块；8、扭簧转轴；9、卡块；10、挤压弹簧；11、卡槽；12、抽气管。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆片储存盒，包括盒体1和底板2，盒体1的底端内侧焊接有底板2，底板2的内部嵌设有多个放置台3，底板2通过开设的通孔嵌设有放置台3，且放置台3的边缘与通孔侧壁滑动连接，且多个放置台3上转动连接有两个卡扣4，并且两个卡扣4关于安装块7的中线中心对称设置，多个放置台3的底端内部均嵌设有两个卡块9，且两个卡块9关于放置台3的中线中心对称设置，并且两个卡块9均通过挤压弹簧10与放置台3弹性连接，卡块9的顶部与底板2的底部接触。

具体的，如图1-3所示，多个放置台3呈矩形阵列设置，卡扣4均通过扭簧转轴8与放置台3转动连接，扭簧转轴8具有将卡扣4向外侧扭转的力，并且卡扣4呈纵截面L形结构，卡扣4水平端远离放置台3，盒体1的底部嵌设有保护板6。

具体的，如图1、图2和图3所示，多个放置台3中部分的顶部均设置有安装块7，且安装块7均通过开设的卡槽11与卡扣4卡接，安装块7远离放置台3的一端固定连接有吸盘5，并且安装块7的底端连通有抽气管12，用于与抽气泵的连接，便于控制吸盘5内部气压。

工作原理：使用时，通过将吸盘5底部的安装块7放置在放置台3上，并将吸盘5向下进行按压，使得底部的放置台3向下进行运动，由于底板2上开设的通孔直径有限，通孔的边缘对卡扣4进行向内侧的推挤，进而使得卡扣4卡接在安装块7的卡槽11中，从而对安装块7的位置进行限制，通过底部的挤压弹簧10对卡块9的位置限制，保证了结构的安全性，并且由于吸盘5和放置台3之间为自由组合关系，使得盒体1内部的放置可调，使得可以同时进行不同尺寸的硅圆片的放置，在需要对吸盘5的位置做出调整时，将两个卡块9向放置台3的内部进行按压，使得卡块9失去对于底板2的限制作用，进而使得放置台3可以向顶部进行运动，在扭簧转轴8的作用下，卡扣4向两侧进行偏出，失去对于安装块7的卡接，进而使得吸盘5可以取下，进行位置调整；在对硅圆片进行储存时，先对吸盘5进行位置的安装，完成安装后，将硅圆片放置在吸盘5的顶部，将抽气管12的自由端与抽气泵进行对接后，启动抽气泵，精确控制内部气压，使得吸盘5不会对硅圆片造成伤害的同时，对硅圆片进行吸附作用，从而保证了硅圆片的放置稳定，不会在运载过程中发生滑动，提升装置的安全性。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种晶圆片储存盒，包括盒体（1）和底板（2），其特征在于，所述盒体（1）的底端内侧焊接有底板（2），所述底板（2）的内部嵌设有多个放置台（3），且多个放置台（3）上转动连接有两个卡扣（4），并且两个卡扣（4）关于安装块（7）的中线中心对称设置，所述多个放置台（3）的底端内部均嵌设有两个卡块（9），且两个卡块（9）关于放置台（3）的中线中心对称设置，并且两个卡块（9）均通过挤压弹簧（10）与放置台（3）弹性连接。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆片储存盒，其特征在于，所述多个放置台（3）呈矩形阵列设置。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆片储存盒，其特征在于，所述卡扣（4）均通过扭簧转轴（8）与放置台（3）转动连接，并且卡扣（4）呈纵截面L形结构。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆片储存盒，其特征在于，所述多个放置台（3）中部分的顶部均设置有安装块（7），且安装块（7）均通过开设的卡槽（11）与卡扣（4）卡接。

5.根据权利要求4所述的一种晶圆片储存盒，其特征在于，所述安装块（7）远离放置台（3）的一端固定连接有吸盘（5），并且安装块（7）的底端连通有抽气管（12）。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆片储存盒，其特征在于，所述盒体（1）的底部嵌设有保护板（6）。

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