CN213546259U - 一种离子注入机用电子枪灯丝夹 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于电子枪领域，具体为一种离子注入机用电子枪灯丝夹，包括有灯丝夹主体和滑槽，所述灯丝夹主体包括夹臂一和夹臂二，所述夹臂一和夹臂二上均开设有夹槽，所述夹臂一上开设有螺纹孔，所述夹臂二上活动安装有螺栓，所述夹臂一和夹臂二上开设有滑槽，所述滑槽内活动安装有滑块，所述滑块上固定安装有套筒，所述套筒内活动套设有套杆。通过设置有螺栓，能够穿过夹臂二并与夹臂一上开设的螺纹孔进行螺纹连接，从而将夹臂一和夹臂二之间的距离缩短，达到夹紧的效果，替代传统利用弹力夹紧的方式，使其不会因受热而导致灯丝松弛，接触不好，无法产生等离子体或产生的等离子体少导致无法产生工艺要求，增加了使用寿命和工艺稳定性。

Description

一种离子注入机用电子枪灯丝夹

技术领域

本实用新型涉及电子枪领域，尤其涉及一种离子注入机用电子枪灯丝夹。

背景技术

半导体制造设备离子注入机Applied Material PI9500在进行离子注入时，需要PFS(等离子洪流系统)来中和硅片表面的多余离子。这套系统使用电子枪轰击气体产生等离体。电子枪的灯丝夹在使用过程中由于受热弹力降低，导致与灯丝接触不良，无法产生足够的等离子体，影响工艺的稳定性，造成设备宕机，影响生产，并且灯丝夹更换和维修，成本很高。

为解决上述问题，本申请中提出一种离子注入机用电子枪灯丝夹。

实用新型内容

(一)实用新型目的

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种离子注入机用电子枪灯丝夹，具有方便装卸、调节和稳定性高的特点。

(二)技术方案

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种离子注入机用电子枪灯丝夹，包括有灯丝夹主体和滑槽，所述灯丝夹主体包括夹臂一和夹臂二，所述夹臂一和夹臂二上均开设有夹槽，所述夹臂一上开设有螺纹孔，所述夹臂二上活动安装有螺栓，所述夹臂一和夹臂二上开设有滑槽，所述滑槽内活动安装有滑块，所述滑块上固定安装有套筒，所述套筒内活动套设有套杆，所述套杆上固定安装有限位环。

优选的，所述夹臂二上开设有圆形通孔。

优选的，所述滑块的形状为扁平矩形，所述套筒的形状为矩形条状。

优选的，所述夹槽上开设有防滑纹。

优选的，所述螺栓的螺纹部分与螺纹孔活动套接，所述螺栓在夹臂二内只能左右转动不能上下移动。

本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：

1、通过设置有螺栓，能够穿过夹臂二并与夹臂一上开设的螺纹孔进行螺纹连接，从而将夹臂一和夹臂二之间的距离缩短，达到夹紧的效果，替代传统利用弹力夹紧的方式，使其不会因受热而导致灯丝松弛，接触不好，无法产生等离子体或产生的等离子体少导致无法产生工艺要求，增加了使用寿命和工艺稳定性。

2、通过设置有滑槽和滑块，能够调节限位环的高度，从而与灯丝夹主体上的夹槽相对应，使用时不用花费时间和精力去将灯丝对准夹槽，提高使用时的便捷性，同时限位环还能够起到将灯丝承托和限位的作用，进一步提高稳定性。

附图说明

图1为本实用新型的整体结构示意图；

图2为本实用新型的限位环结构示意图。

附图标记：

1、灯丝夹本体；11、夹臂一；12、夹臂二；13、夹槽；14、螺纹孔；15、螺栓；2、滑槽；21、滑块；22、套筒；23、套杆；24、限位环。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。

如图1-2所示，提供了一种离子注入机用电子枪灯丝夹，包括有灯丝夹主体1和滑槽2。

请参阅图1和图2，灯丝夹主体1包括夹臂一11和夹臂二12，夹臂一11和夹臂二12上均开设有夹槽13，夹臂一11上开设有螺纹孔14，夹臂二12上活动安装有螺栓15，灯丝夹主体1用于安装各部件，夹臂一11和夹臂二12用于相配合进行夹持，夹槽13用于固定灯丝，螺纹孔14和螺栓15用于相配合通过螺纹连接从而使夹臂一11和夹臂二12之间的距离缩小，从而实现夹紧。

请再次参阅图1和图2，夹臂一11和夹臂二12上开设有滑槽2，滑槽2内活动安装有滑块21，滑块21上固定安装有套筒22，套筒22内活动套设有套杆23，套杆23上固定安装有限位环24，滑槽2用于滑块21能够在灯丝夹主体1上滑动，滑块21用于安装套筒22，套筒22和套杆23用于相配合通过活动套设连接，从而达到伸缩的目的，且套筒22和套杆23可以设置成带有一定弧度，从而当夹臂一11和夹臂二12夹紧时，不会卡住，限位环24用于对灯丝进行导向和限位。

具体的，夹臂二12上开设有圆形通孔，从而使得螺栓15能够穿过并与螺纹孔14进行螺接。

在其他实施例中，滑槽2的内腔设置有阻尼机构，当滑块21滑动到某一位置时，能够通过阻尼机构对其位置进行限制，从而避免滑块21不受控制的在滑槽2内滑动。

具体的，滑块21的形状为扁平矩形，套筒22的形状为矩形条状，通过制作时减少滑块21和套筒22的厚度，从而达到节约空间目的。

具体的，夹槽13上开设有防滑纹，当对灯丝进行夹紧时，通过防滑纹能够防止灯丝在夹槽13内部转动，达到提高稳定性的效果。

具体的，所述螺栓15的螺纹部分与螺纹孔14活动套接，所述螺栓15在夹臂二12内只能左右转动不能上下移动，从而使得螺栓15能够始终将夹臂一11和夹臂二12进行连接，而不会发生掉出的情况。

本实用新型的工作原理及使用流程：使用时，通过滑动滑块21，调节限位环24的位置，将限位环24对准夹槽13，然后将灯丝穿过限位环24并放入夹槽13内，此时拧动螺栓15，从而缩短夹臂一11和夹臂二12之间的距离，从而使夹臂一11和夹臂二12夹紧灯丝。

应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。

Claims (5)

1.一种离子注入机用电子枪灯丝夹，包括灯丝夹主体(1)和滑槽(2)，其特征在于，所述灯丝夹主体(1)包括夹臂一(11)和夹臂二(12)，所述夹臂一(11)和夹臂二(12)上均开设有夹槽(13)，所述夹臂一(11)上开设有螺纹孔(14)，所述夹臂二(12)上活动安装有螺栓(15)，所述夹臂一(11)和夹臂二(12)上开设有滑槽(2)，所述滑槽(2)内活动安装有滑块(21)，所述滑块(21)上固定安装有套筒(22)，所述套筒(22)内活动套设有套杆(23)，所述套杆(23)上固定安装有限位环(24)。

2.根据权利要求1所述的一种离子注入机用电子枪灯丝夹，其特征在于，所述夹臂二(12)上开设有圆形通孔。

3.根据权利要求1所述的一种离子注入机用电子枪灯丝夹，其特征在于，所述滑块(21)的形状为扁平矩形，所述套筒(22)的形状为矩形条状。

4.根据权利要求1所述的一种离子注入机用电子枪灯丝夹，其特征在于，所述夹槽(13)上开设有防滑纹。

5.根据权利要求1所述的一种离子注入机用电子枪灯丝夹，其特征在于，所述螺栓(15)的螺纹部分与螺纹孔(14)活动套接，所述螺栓(15)在夹臂二(12)内只能左右转动不能上下移动。

Images