CN213537774U - 一种轻组分气体回收装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于化工设备领域，特别涉及一种轻组分气体回收装置，包括闪蒸罐、脱轻组分塔、脱轻塔回流罐、脱轻组分塔顶冷凝器、脱轻塔真空泵、脱轻塔回流罐、脱轻塔顶回流泵、废液罐、脱重塔进料泵、脱重组分塔和脱轻塔釜再沸器，所述闪蒸罐与脱轻组分塔相连接，所述脱轻组分塔顶冷凝器的顶部与脱轻组分塔相连接，所述脱轻塔真空泵和脱轻塔回流罐均与脱轻组分塔顶冷凝器的底部相连接，所述脱轻塔回流罐的底部与脱轻塔顶回流泵的一端相连接，所述废液罐和脱轻塔顶回流泵的另一端相连接，有利于脱轻组分塔的工作效率和便于保护环境。

Description

一种轻组分气体回收装置

技术领域

本实用新型属于化工设备领域，特别涉及一种轻组分气体回收装置。

背景技术

近几年国内电子制造产业发展迅速，剥离液等电子化学品的使用量也大为增加；通常在液晶显示面板、半导体集成电路等工艺制造过程中，需要用剥离液将涂覆在微电路保护区域上作为掩膜的光刻胶除去；通常使用的剥离液主要包括有机胺和极性有机溶剂的混合物，并含有以少量水为代表的轻组分；在剥离液应用过程中产生大量剥离液废液，该废液中除了含有少量高分子树脂和水之外，大部分是具有利用价值的有机组分。通常清洗光刻胶需要大量的溶剂，而且这些溶剂价格昂贵，从资源化的观点出发，循环再生这些溶剂不仅可以减少对环境的危害，还能减低企业的生产成本；剥离液的回收工艺主要包括：闪蒸、去除水分段、光刻胶去除段和精制回收段，即剥离液废液依次经过水分去除、光刻胶去除和精制会收获得剥离液。

目前，公知的在现有的化工生产中，为了减少工厂排出的尾气，少量的轻组分气体一般都当作尾气直接通过火炬燃烧，大量的尾气通常用尾气吸收塔进行吸收处理；具体地，将尾气从进气口进入尾气吸收塔内部，然后被尾气塔吸收处理后从排气口排出，实现降低尾气含量的目的；但是，随着尾气源源不断地进入尾气吸收塔内，尾气吸收塔就会逐渐趋于饱和，就会导致尾气吸收塔的效率逐渐降低，造成从尾气吸收塔中排出尾气的含量超标，污染空气，破坏环境。

实用新型内容

(一)要解决的技术问题

为了解决现有技术的上述问题，本实用新型提供一种效率高且减少污染的轻组分气体回收装置。

(二)技术方案

为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案包括：

一种轻组分气体回收装置，包括闪蒸罐、脱轻组分塔、脱轻塔回流罐、脱轻组分塔顶冷凝器、脱轻塔真空泵、脱轻塔回流罐、脱轻塔顶回流泵、废液罐、脱重塔进料泵、脱重组分塔和脱轻塔釜再沸器，所述闪蒸罐与脱轻组分塔相连接，所述脱轻组分塔顶冷凝器的顶部与脱轻组分塔相连接，所述脱轻塔真空泵和脱轻塔回流罐均与脱轻组分塔顶冷凝器的底部相连接，所述脱轻塔回流罐的底部与脱轻塔顶回流泵的一端相连接，所述废液罐和脱轻塔顶回流泵的另一端相连接，所述脱轻组分塔的底部通过脱重塔进料泵与脱重组分塔相连接，所述脱轻塔釜再沸器与脱轻组分塔的底部相连接。

上述的轻组分气体回收装置中，还包括第一再沸器蒸汽进口调节阀和蒸汽装置，所述第一再沸器蒸汽进口调节阀的一端与蒸汽装置相连接，所述第一再沸器蒸汽进口调节阀的另一端与脱轻塔釜再沸器相连接。

上述的轻组分气体回收装置中，还包括第一流量计和第一脱轻塔冷凝液回流调节阀，所述第一流量计的一端与脱轻塔顶回流泵相连接，所述第一流量计的另一端与第一脱轻塔冷凝液回流调节阀的一端相连接，所述第一脱轻塔冷凝液回流调节阀的另一端与废液罐相连接。

上述的轻组分气体回收装置中，还包括蒸汽冷凝水装置、冷凝水缓冲罐和第二冷凝水排水阀，所述第二冷凝水排水阀的一端与蒸汽冷凝水装置相连接，所述第二冷凝水排水阀的另一端与冷凝水缓冲罐相连接。

上述的轻组分气体回收装置中，还包括第二流量计，所述第二流量计的一端与脱重塔进料泵相连接，所述第二流量计的另一端与脱重组分塔相连接。

(三)有益效果

本实用新型的有益效果是：通过设置闪蒸罐、脱轻组分塔、脱轻塔回流罐、脱轻组分塔顶冷凝器、脱轻塔真空泵、脱轻塔回流罐、脱轻塔顶回流泵、废液罐、脱重塔进料泵、脱重组分塔和脱轻塔釜再沸器；有利于脱轻组分塔的工作效率和便于保护环境。

附图说明

图1为本实用新型轻组分气体回收装置的结构示意图。

【附图标记说明】

1：闪蒸罐；

2：脱轻组分塔；

3：脱轻塔回流罐；

4：脱轻组分塔顶冷凝器；

5：脱轻塔真空泵；

6：脱轻塔顶回流泵；

7：废液罐；

8：脱重塔进料泵；

9：脱重组分塔；

10：脱轻塔釜再沸器；

11：第一再沸器蒸汽进口调节阀；

12：蒸汽装置；

13：第一流量计；

14：第一脱轻塔冷凝液回流调节阀；

15：蒸汽冷凝水装置；

16：冷凝水缓冲罐；

17：第二冷凝水排水阀；

18：第二流量计；

19：空调冷冻水；

20：冷冻水回水装置；

21：吹扫氮气装置。

具体实施方式

为了更好的解释本实用新型，以便于理解，下面结合附图，通过具体实施方式，对本实用新型实用新型作详细描述。

本实用新型最关键的构思在于：通过设置闪蒸罐、脱轻组分塔、脱轻塔回流罐、脱轻组分塔顶冷凝器、脱轻塔真空泵、脱轻塔回流罐、脱轻塔顶回流泵、废液罐、脱重塔进料泵、脱重组分塔和脱轻塔釜再沸器。

请参照图1所示，一种轻组分气体回收装置，

包括闪蒸罐、脱轻组分塔、脱轻塔回流罐、脱轻组分塔顶冷凝器、脱轻塔真空泵、脱轻塔回流罐、脱轻塔顶回流泵、废液罐、脱重塔进料泵、脱重组分塔和脱轻塔釜再沸器，所述闪蒸罐与脱轻组分塔相连接，所述脱轻组分塔顶冷凝器的顶部与脱轻组分塔相连接，所述脱轻塔真空泵和脱轻塔回流罐均与脱轻组分塔顶冷凝器的底部相连接，所述脱轻塔回流罐的底部与脱轻塔顶回流泵的一端相连接，所述废液罐和脱轻塔顶回流泵的另一端相连接，所述脱轻组分塔的底部通过脱重塔进料泵与脱重组分塔相连接，所述脱轻塔釜再沸器与脱轻组分塔的底部相连接。

本实用新型所述的轻组分气体回收装置的工作原理：闪蒸罐内的气体温度为133℃，输送到脱轻组分塔中，操作压力为13.8kPa(A)，塔顶采出的气体主要为甲胺和水，塔釜是以NMF和MDG为主要成分的液体，并含有铁离子；脱轻组分塔顶部采出气体经脱轻组分塔顶冷凝器冷凝至30℃，脱轻组分塔顶冷凝器底部设有抽真空口，不凝气由该管口去往脱轻塔真空泵，冷凝液进入脱轻塔回流罐中，回流液由脱轻塔顶回流泵输送到塔顶，采出的冷凝液去往废液罐，脱轻组分塔的塔釜液通过脱重塔进料泵进入到脱重组分塔中，剩余液体由脱轻塔釜再沸器加热至136℃后返回脱轻组分塔。

从上述描述可知，本实用新型的有益效果在于：通过设置闪蒸罐、脱轻组分塔、脱轻塔回流罐、脱轻组分塔顶冷凝器、脱轻塔真空泵、脱轻塔回流罐、脱轻塔顶回流泵、废液罐、脱重塔进料泵、脱重组分塔和脱轻塔釜再沸器；有利于脱轻组分塔的工作效率和便于保护环境。

请参照图1所示，本实用新型的实施例一为：

一种轻组分气体回收装置，包括闪蒸罐1、脱轻组分塔2、脱轻塔回流罐3、脱轻组分塔顶冷凝器4、脱轻塔真空泵5、脱轻塔回流罐3、脱轻塔顶回流泵6、废液罐7、脱重塔进料泵8、脱重组分塔9和脱轻塔釜再沸器，所述闪蒸罐1与脱轻组分塔2相连接，所述脱轻组分塔顶冷凝器4的顶部与脱轻组分塔2相连接，所述脱轻塔真空泵5和脱轻塔回流罐3均与脱轻组分塔顶冷凝器4的底部相连接，所述脱轻塔回流罐3的底部与脱轻塔顶回流泵6的一端相连接，所述废液罐7和脱轻塔顶回流泵6的另一端相连接，所述脱轻组分塔2的底部通过脱重塔进料泵8与脱重组分塔9相连接，所述脱轻塔釜再沸器10与脱轻组分塔2的底部相连接。

还包括第一再沸器蒸汽进口调节阀11和蒸汽装置12，所述第一再沸器蒸汽进口调节阀11的一端与蒸汽装置12相连接，所述第一再沸器蒸汽进口调节阀11的另一端与脱轻塔釜再沸器10相连接。

通过还包括第一再沸器蒸汽进口调节阀11和蒸汽装置12，所述第一再沸器蒸汽进口调节阀11的一端与蒸汽装置12相连接，所述第一再沸器蒸汽进口调节阀11的另一端与脱轻塔釜再沸器10相连接；有利于对脱轻组分塔2进行预热工序；

还包括第一流量计13和第一脱轻塔冷凝液回流调节阀14，所述第一流量计13的一端与脱轻塔顶回流泵6相连接，所述第一流量计13的另一端与第一脱轻塔冷凝液回流调节阀14的一端相连接，所述第一脱轻塔冷凝液回流调节阀14的另一端与废液罐7相连接；

通过还包括第一流量计13和第一脱轻塔冷凝液回流调节阀14，所述第一流量计13的一端与脱轻塔顶回流泵6相连接，所述第一流量计13的另一端与第一脱轻塔冷凝液回流调节阀14的一端相连接，所述第一脱轻塔冷凝液回流调节阀14的另一端与废液罐7相连接；有利于使得脱重塔进料泵8回流控制流量符合工艺要求。

还包括蒸汽冷凝水装置15、冷凝水缓冲罐16和第二冷凝水排水阀17，所述第二冷凝水排水阀17的一端与蒸汽冷凝水装置15相连接，所述第二冷凝水排水阀17的另一端与冷凝水缓冲罐16相连接；

通过还包括蒸汽冷凝水装置15、冷凝水缓冲罐16和第二冷凝水排水阀17，所述第二冷凝水排水阀17的一端与蒸汽冷凝水装置15相连接，所述第二冷凝水排水阀17的另一端与冷凝水缓冲罐16相连接；有利于使得脱轻组分塔2塔釜温度符合工艺参数。

还包括第二流量计18，所述第二流量计18的一端与脱重塔进料泵8相连接，所述第二流量计18的另一端与脱重组分塔9相连接。

通过还包括第二流量计18，所述第二流量计18的一端与脱重塔进料泵8相连接，所述第二流量计18的另一端与脱重组分塔9相连接，有利于脱轻组分塔2液位维持稳定；

还包括空调冷冻水19和冷冻水回水装置20；空调冷冻水19和冷冻水回水装置20均与脱轻组分塔2顶冷凝器相连接，便于调节脱轻组分塔2顶冷凝器的温度，提高工作效率；还包括吹扫氮气装置21，吹扫氮气装置21与脱轻组分塔2，便于清除脱轻组分塔2内的杂质，NMF和MDG为BOE剥离液的主要成分，NMF为N-甲基甲酰胺，MDG为二乙二醇单甲醚。

综上所述，本实用新型提供的一种轻组分气体回收装置，通过设置闪蒸罐、脱轻组分塔、脱轻塔回流罐、脱轻组分塔顶冷凝器、脱轻塔真空泵、脱轻塔回流罐、脱轻塔顶回流泵、废液罐、脱重塔进料泵、脱重组分塔和脱轻塔釜再沸器；有利于脱轻组分塔的工作效率和便于保护环境。

以上所述仅为本实用新型的实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是利用本实用新型说明书及附图内容所作的等同变换，或直接或间接运用在相关的技术领域，均同理包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (5)

1.一种轻组分气体回收装置，其特征在于，包括闪蒸罐、脱轻组分塔、脱轻塔回流罐、脱轻组分塔顶冷凝器、脱轻塔真空泵、脱轻塔顶回流泵、废液罐、脱重塔进料泵、脱重组分塔和脱轻塔釜再沸器，所述闪蒸罐与脱轻组分塔相连接，所述脱轻组分塔顶冷凝器的顶部与脱轻组分塔相连接，所述脱轻塔真空泵和脱轻塔回流罐均与脱轻组分塔顶冷凝器的底部相连接，所述脱轻塔回流罐的底部与脱轻塔顶回流泵的一端相连接，所述废液罐和脱轻塔顶回流泵的另一端相连接，所述脱轻组分塔的底部通过脱重塔进料泵与脱重组分塔相连接，所述脱轻塔釜再沸器与脱轻组分塔的底部相连接。

2.根据权利要求1所述的轻组分气体回收装置，其特征在于，还包括第一再沸器蒸汽进口调节阀和蒸汽装置，所述第一再沸器蒸汽进口调节阀的一端与蒸汽装置相连接，所述第一再沸器蒸汽进口调节阀的另一端与脱轻塔釜再沸器相连接。

3.根据权利要求1所述的轻组分气体回收装置，其特征在于，还包括第一流量计和第一脱轻塔冷凝液回流调节阀，所述第一流量计的一端与脱轻塔顶回流泵相连接，所述第一流量计的另一端与第一脱轻塔冷凝液回流调节阀的一端相连接，所述第一脱轻塔冷凝液回流调节阀的另一端与废液罐相连接。

4.根据权利要求1所述的轻组分气体回收装置，其特征在于，还包括蒸汽冷凝水装置、冷凝水缓冲罐和第二冷凝水排水阀，所述第二冷凝水排水阀的一端与蒸汽冷凝水装置相连接，所述第二冷凝水排水阀的另一端与冷凝水缓冲罐相连接。

5.根据权利要求1所述的轻组分气体回收装置，其特征在于，还包括第二流量计，所述第二流量计的一端与脱重塔进料泵相连接，所述第二流量计的另一端与脱重组分塔相连接。

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