CN213513919U - 一种端盖及其燃烧式废气处理装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型实施例提供一种端盖及其燃烧式废气处理装置，该端盖包括：盖体，盖体用于安装于燃烧式废气处理装置上；第一安装口，第一安装口形成于盖体上，用于安装补偿器，补偿器的气体出口用于伸向燃烧式废气处理装置内；第二安装口，第二安装口形成于盖体上，用于安装点火电极，点火电极的放电端用于伸向补偿器的气体出口；本实用新型通过对废气进行腔内点火，确保了点火的稳定性和可靠性，可形成稳定的燃烧火焰，防止因端盖内侧的气体吹扫而导致点火熄灭，不仅点火结构简单、成本低廉，而且确保了燃烧式废气处理装置对废气燃烧作业的可靠性。

Description

一种端盖及其燃烧式废气处理装置

技术领域

本实用新型涉及废气处理技术领域，尤其涉及一种端盖及其燃烧式废气处理装置。

背景技术

燃烧式废气处理装置是通过对废气燃烧时的热氧化作用，将废气中的可燃有害成分转化为无害物或易于进一步处理与回收的产物的装置。燃烧式废气处理装置在上世纪20年代就已经广泛应用于各个行业中，它对于各种废气的处理能力，尤其是针对一些复杂的混合气体的处理能力优越于其它各种形式的气体处理设备，在此，废气主要指有毒、有害或者易燃易爆的气体，如在半导体制程中产生的具有强烈腐蚀性的半导体废气，半导体废气包括氯气、氯化氢、氟化氢、氟气、氨气等。

现有的燃烧式废气处理装置普遍设计为腔外点火的燃烧形式，并将点火系统设置于燃烧式废气处理装置的端盖上，其中，点火系统结构复杂，主要是在补偿器上集成点火电极，补偿器内的助燃气体在被点火电极点燃后，直接通入至燃烧式废气处理装置的燃烧室内，以将燃烧室内的可燃废气点燃。由于对可燃废气燃烧时，通常需要对端盖上的各个废气入口进行吹扫，以防止废气入口堵塞，并确保端盖的温度维持在适宜的温度范围，但在进行腔外点火时，通过补偿器输出的火焰的流量大、流速低，在气体的吹扫下容易熄灭，从而导致点火不稳定可靠，严重影响了燃烧式废气处理装置工作的可靠性。

实用新型内容

本实用新型实施例提供一种端盖及其燃烧式废气处理装置，用以解决现有的设置于燃烧式废气处理装置端盖上的点火系统结构复杂、点火不稳定可靠，严重影响到燃烧式废气处理装置工作可靠性的问题。

本实用新型实施例提供一种端盖，包括：盖体，所述盖体用于安装于燃烧式废气处理装置上；第一安装口，所述第一安装口形成于所述盖体上，并用于安装补偿器，所述补偿器的气体出口用于伸向所述燃烧式废气处理装置内；第二安装口，所述第二安装口形成于所述盖体上，并用于安装点火电极，所述点火电极的放电端用于伸向所述补偿器的气体出口。

根据本实用新型一个实施例的端盖，所述补偿器的气体出口连通排气管的一端，所述排气管的另一端用于伸向所述燃烧式废气处理装置内。

根据本实用新型一个实施例的端盖，所述点火电极的放电端用于与所述排气管的排气方向排布呈预设夹角，所述预设夹角的大小为30°-60°；和/或，所述点火电极为火花塞。

根据本实用新型一个实施例的端盖，所述盖体上还形成有多个废气入口，所述废气入口以所述第一安装口为轴心以预设旋向沿圆周排布。

根据本实用新型一个实施例的端盖，所述盖体用于朝向所述燃烧式废气处理装置内侧的端面形成有吹扫结构，所述吹扫结构具有与所述废气入口相对应的吹扫出口。

根据本实用新型一个实施例的端盖，所述吹扫结构包括吹扫入口、吹扫通道及所述吹扫出口，所述吹扫入口连通所述吹扫通道，所述吹扫通道排布呈环形，所述吹扫通道连通多个所述吹扫出口，所述吹扫出口与所述废气入口一一对应。

根据本实用新型一个实施例的端盖，所述盖体包括上盖体和下盖体，所述上盖体同轴安装于下盖体上，所述上盖体的直径小于下盖体，所述上盖体内形成有冷却结构，所述下盖体上设置有用于连接所述燃烧式废气处理装置的安装结构。

根据本实用新型一个实施例的端盖，所述冷却结构包括进气口、空冷腔和出气口，所述进气口用于通入压缩空气，并连通所述空冷腔，所述空冷腔连通所述出气口。

根据本实用新型一个实施例的端盖，所述上盖体和/或所述下盖体上装有温度传感器。

本实用新型实施例还提供一种燃烧式废气处理装置，包括燃烧室，所述燃烧室的入口安装有如上所述的端盖。

本实用新型实施例提供的一种端盖及其燃烧式废气处理装置，通过在端盖的盖体上分别安装补偿器与点火电极，将点火电极的放电端伸向补偿器的气体出口，则在对废气进行燃烧点火时，由于在将补偿器内的助燃气体输送至燃烧式废气处理装置内后，再通过点火电极对助燃气体进行点火，这种对废气进行腔内点火的方式，可确保点火的稳定性和可靠性，可形成稳定的燃烧火焰，防止因端盖内侧的气体吹扫而导致点火熄灭，不仅点火结构简单、成本低廉，而且确保了燃烧式废气处理装置对废气燃烧作业的可靠性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是本实用新型实施例提供的一种盖体的俯视结构示意图；

图2是本实用新型实施例的图1中A-A的局部剖视结构示意图；

图3是本实用新型实施例提供的一种盖体的立体结构示意图。

图中，1、盖体；101、上盖体；102、下盖体；2、第一安装口；3、第二安装口；4、补偿器；5、点火电极；6、废气入口；7、吹扫入口；8、吹扫通道；81、吹扫槽；82、隔热内衬；9、吹扫出口；10、进气口；11、空冷腔；12、出气口；13、温度传感器；14、燃烧火焰。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域的普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参见图1至图2，本实施例提供了一种端盖，包括：盖体1，盖体1用于安装于燃烧式废气处理装置上；第一安装口2，第一安装口2形成于盖体1上，并用于安装补偿器4，补偿器4的气体出口用于伸向燃烧式废气处理装置内；第二安装口3，第二安装口3形成于盖体1上，并用于安装点火电极5，点火电极5的放电端用于伸向补偿器4的气体出口，以便对补偿器4输出的助燃气体放电，并形成如图2所示的燃烧火焰14。

具体的，本实施例提供的端盖通过在盖体1上分别安装补偿器4与点火电极5，将点火电极5的放电端伸向补偿器4的气体出口，则在对废气进行燃烧点火时，由于补偿器4内的助燃气体在输送至燃烧式废气处理装置内后，再通过点火电极5对助燃气体进行点火，这种对废气进行腔内点火的方式，可确保点火的稳定性和可靠性，可形成稳定的燃烧火焰14，防止因端盖内侧的气体吹扫而导致点火熄灭，不仅点火结构简单、成本低廉，而且确保了燃烧式废气处理装置对废气燃烧作业的可靠性。

在此应指出的是，本实施例所示的补偿器4用于将助燃气体混合，在补偿器4上形成有第一气体入口、第二气体入口和气体出口，如在助燃气体为氧气与甲烷的混合气体时，可将氧气通入第一气体入口，将甲烷通入第二气体入口，氧气与甲烷在补偿器4内混合后，补偿器4将混合的助燃气体通过气体出口高速排放至燃烧式废气处理装置内。

优选地，为了确保从补偿器4的气体出口输出的助燃气体的流速，以便于助燃气体在被点燃后形成稳定的燃烧火焰，可将补偿器4的气体出口进一步连通排气管的一端，排气管的另一端用于伸向燃烧式废气处理装置内，如此基于排气管的引导和限流作用，可在相同气压条件下，增大排放至燃烧式废气处理装置内的助燃气体的流速，并尽可能地节约助燃气体的使用量，从而也降低了燃烧作业成本。

优选地，如图2所示，为了简化端盖上点火系统的结构，本实施例所示的点火电极5优选为火花塞，可将火花塞的通电端设置于盖体1的外侧，火花塞在安装于第二安装口3后，将火花塞的放电端与排气管的排气方向排布呈预设夹角，预设夹角的大小为30°-60°，在此，通过以预设夹角进行点火，可便于点火形成的高压火花与排气管排放的助燃气体进行有效接触，从而确保了点火的可靠性，并防止点火形成的燃烧火焰烧灼火花塞，其中，火花塞可设置耐高压、耐高温材料的壳体，防止火花塞在使用过程中发生老化。

基于上述实施例的改进，如图1所示，本实施例所示的盖体1上还形成有多个废气入口6，废气入口6以第一安装口2为轴心以预设旋向沿圆周排布，其中，预设旋向为顺时针方向或逆时针方向。

具体的，本实施例所示的盖体1上设置有六个废气入口6，六个废气入口6以第一安装口2为轴心，并以顺时针方向在盖体1上沿圆周均匀排布，从而可使得通入至燃烧式废气处理装置内的废气不会对点火形成的燃烧火焰产生直接的吹拂，而是在燃烧火焰的周围以预设的旋向流动，并逐渐在燃烧式废气处理装置内扩散，如此可防止点火熄灭，实现对通入废气的可靠点燃，还可防止废气在燃烧时产生回火，导致盖体1的温度升高。

优选地，本实施例所示的盖体1用于朝向燃烧式废气处理装置内侧的端面形成有吹扫结构，吹扫结构具有与废气入口6相对应的吹扫出口9。

具体的，本实施例所示的吹扫结构包括吹扫入口7、吹扫通道8及吹扫出口9，吹扫入口7连通吹扫通道8，吹扫通道8排布呈环形，吹扫通道8连通多个吹扫出口9，吹扫出口9与废气入口6一一对应。

如图3所示，在进一步设计时，吹扫通道8可由环形的吹扫槽81与隔热内衬82组成，隔热内衬82可采用本领域所公知的陶瓷棉，并覆盖于吹扫槽81的槽口，而各个吹扫出口9形成于吹扫槽81的内侧槽壁上，吹扫出口9的吹扫方向可沿着盖体1的径向与废气入口6一一对应。在进行吹扫时，可将预设压力的氮气通过吹扫入口7通入至吹扫通道8中，然后，由吹扫通道8对各个吹扫出口9配气，并由各个吹扫出口9对相应的废气入口6进行吹扫，以确保废气入口6的清洁。

如图1至图2所示，基于上述实施例的改进，本实施例所示的盖体1包括上盖体101和下盖体102，上盖体101同轴安装于下盖体102上，上盖体101的直径小于下盖体102，上盖体101内形成有冷却结构，下盖体102上设置有用于连接燃烧式废气处理装置的安装结构。

具体的，本实施例所示的第一安装口2、第二安装口3及多个废气入口6均贯穿上盖体101与下盖体102。本实施例所示的上盖体101与下盖体102可设置为一体时结构，也可通过螺栓连接及螺纹连接的方式将上盖体101与下盖体102连接为一体。由于将盖体1设计为上盖体101与下盖体102的分体式结构，可在上盖体101内设置冷却结构，以对整个盖体1进行降温，相应地，可在下盖体102上设置密封结构、卡装结构或螺纹连接结构，以用于与燃烧式废气处理装置的燃烧室的入口相匹配。其中，密封结构包括密封圈与设置于下盖体102的端面上的环形卡槽，密封圈的一侧边卡装于环形卡槽中，密封圈的另一侧边用于抵触连接燃烧室的入口。

如图1至图2所示，本实施例所示的冷却结构包括进气口10、空冷腔11和出气口12，其中，空冷腔11可在上盖体101内排布呈环形，进气口10与出气口12在上盖体101上以180°圆心角排布，并分别连通空冷腔11。由此，在通过冷却结构对盖体1进行降温时，可将预设压力的压缩空气从进气口10通入至空冷腔11内，压缩空气在完全充满空冷腔11后，从出气口12排出，从而随着压缩空气在空冷腔11内的连续流动，可实现对盖体1的冷却。

在实际设计时，还可在上盖体101和/或下盖体102上安装温度传感器13。其中，温度传感器13可采用本领域所公知的热电偶，可具体在上盖体101与下盖体102上均安装温度传感器13，以便实时监测上盖体101与下盖体102的温度，并将检测到的温度反馈至PLC控制器，可通过PLC控制器控制空压风系统的启停，以便由空压风系统向冷却结构的相应空冷腔11内输送空压风，达到对盖体1实时冷却降温的目的。

本实施例还提供一种燃烧式废气处理装置，包括燃烧室，燃烧室的入口安装有如上所述的端盖。由于基于本实施例所示的端盖，可在燃烧室内对废气进行腔内点火，不仅点火稳定可靠，可形成稳定的燃烧火焰，防止因端盖内侧的气体吹扫而导致点火熄灭，而且确保了燃烧式废气处理装置对废气燃烧作业的可靠性。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种端盖，其特征在于，包括：

盖体，所述盖体用于安装于燃烧式废气处理装置上；

第一安装口，所述第一安装口形成于所述盖体上，并用于安装补偿器，所述补偿器的气体出口用于伸向所述燃烧式废气处理装置内；

第二安装口，所述第二安装口形成于所述盖体上，并用于安装点火电极，所述点火电极的放电端用于伸向所述补偿器的气体出口。

2.根据权利要求1所述的端盖，其特征在于，所述补偿器的气体出口连通排气管的一端，所述排气管的另一端用于伸向所述燃烧式废气处理装置内。

3.根据权利要求2所述的端盖，其特征在于，所述点火电极的放电端用于与所述排气管的排气方向排布呈预设夹角，所述预设夹角的大小为30°-60°；和/或，所述点火电极为火花塞。

4.根据权利要求1至3任一所述的端盖，其特征在于，所述盖体上还形成有多个废气入口，所述废气入口以所述第一安装口为轴心以预设旋向沿圆周排布。

5.根据权利要求4所述的端盖，其特征在于，所述盖体用于朝向所述燃烧式废气处理装置内侧的端面形成有吹扫结构，所述吹扫结构具有与所述废气入口相对应的吹扫出口。

6.根据权利要求5所述的端盖，其特征在于，所述吹扫结构包括吹扫入口、吹扫通道及所述吹扫出口，所述吹扫入口连通所述吹扫通道，所述吹扫通道排布呈环形，所述吹扫通道连通多个所述吹扫出口，所述吹扫出口与所述废气入口一一对应。

7.根据权利要求1至3任一所述的端盖，其特征在于，所述盖体包括上盖体和下盖体，所述上盖体同轴安装于所述下盖体上，所述上盖体的直径小于所述下盖体，所述上盖体内形成有冷却结构，所述下盖体上设置有用于连接所述燃烧式废气处理装置的安装结构。

8.根据权利要求7所述的端盖，其特征在于，所述冷却结构包括进气口、空冷腔和出气口，所述进气口用于通入压缩空气，并连通所述空冷腔，所述空冷腔连通所述出气口。

9.根据权利要求7所述的端盖，其特征在于，所述上盖体和/或所述下盖体上装有温度传感器。

10.一种燃烧式废气处理装置，包括燃烧室，其特征在于，所述燃烧室的入口安装有如权利要求1至9任一所述的端盖。

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