CN213479641U - 一种单面自动光刻机用的相机模组 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种单面自动光刻机用的相机模组，包括支撑座，支撑座顶端设置有支撑板，支撑板上安装有X轴控制电机，X轴控制电机上方安装有Y轴控制电机，Y轴控制电机上方使安装有Z轴控制电机，Z轴控制电机的侧面固定有光源相机。本实用新型单面自动光刻机用的相机模组，X轴控制电机进行工作时，带动所连接的Y轴控制电机及其组件沿X轴进行移动，Y轴控制电机进行工作时，带动所连接的Z轴控制电机及其组件沿Y轴进行移动，Z轴控制电机进行工作时，带动所连接的光源相机沿Z轴进行移动，在三个电机的共同作用下可以实现光源相机在三轴方向移动，光源相机顶部设置有圆环状光源，光源可以为光源相机的工作提供光线照明支持。
Description
技术领域
本实用新型涉及精密玻璃制造技术领域，具体为一种单面自动光刻机用的相机模组。
背景技术
光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。自动光刻机指的是从基板的上载下载，曝光时长和循环都是通过程序控制，自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要。单面自动光刻机则是针对各大专院校、企业及科研单位，对光刻机采用特性研发的一种高精度光刻机，主要用于中小规模集成电路、半导体元器件、光电子器件、声表面波器件的研制和生产。现有技术下由于光刻机的部件或组模的设计老旧，技术欠缺，传统的曝光机精度仅为100微米，精准度还不足以满足一定的生产和实际需求，针对这些缺陷，设计一种单面自动光刻机用的相机模组，是很有必要的。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种单面自动光刻机用的相机模组，具有三轴驱动高精准度的优点，可以解决现有技术中的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种单面自动光刻机用的相机模组，包括支撑座，所述支撑座两个一组平行设置，支撑座顶端设置有支撑板，支撑板的两端分别与两个支撑座相接，支撑板上安装有X轴控制电机，X轴控制电机上方安装有Y轴控制电机，Y轴控制电机上方使安装有Z轴控制电机，Z轴控制电机的侧面采用螺栓固定有光源相机。
优选的，所述X轴控制电机安装在支撑板的偏右侧位置，X轴控制电机的电机主体位于支撑板之外并采用螺栓固定在延伸出平台的第一安装板上，X轴控制电机内部延伸出柱状X轴控制轴，X轴控制轴沿X轴的方向延伸并与X轴移动组件连接。
优选的，所述Y轴控制电机采用螺栓固定在延伸出另第二安装板上，第二安装板与X轴移动组件连接，Y轴控制电机内部延伸出柱状Y轴控制轴，Y轴控制轴沿Y轴的方向延伸并与Y轴移动组件连接。
优选的，所述Z轴控制电机采用螺栓固定在延伸出另第三安装板上，第三安装板与Y轴移动组件连接，Z轴控制电机内部延伸出柱状Z轴控制轴，Z轴控制轴沿Z轴的方向延伸并与Z轴移动组件连接。
优选的，所述光源相机与Z轴移动组件连接，光源相机顶部设置有圆环状相机光源。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果如下：
本单面自动光刻机用的相机模组，包括支撑座，支撑座两个一组平行设置，支撑座顶端设置有支撑板，支撑板的两端分别与两个支撑座相接，支撑板上安装有X轴控制电机，X轴控制电机上方安装有Y轴控制电机，Y轴控制电机上方使安装有Z轴控制电机，Z轴控制电机的侧面采用螺栓固定有光源相机。本单面自动光刻机用的相机模组，X轴控制电机进行工作时，带动所连接的Y轴控制电机及其组件沿X轴进行移动，Y轴控制电机进行工作时，带动所连接的Z轴控制电机及其组件沿Y轴进行移动，Z轴控制电机进行工作时，带动所连接的光源相机沿Z轴进行移动，在X轴控制电机、Y轴控制电机和Z轴控制电机的共同作用下可以实现光源相机在三轴方向产生移动，光源相机顶部设置有圆环状相机光源，相机光源可以为光源相机的工作提供光线照明支持。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图中：1、光源相机；2、支撑板；3、支撑座；4、Z轴控制电机；5、Y轴控制电机；6、X轴控制电机。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1，一种单面自动光刻机用的相机模组，包括支撑座3，支撑座3两个一组平行设置，支撑座3顶端设置有支撑板2，支撑板2的两端分别与两个支撑座3相接，支撑板2上安装有X轴控制电机6，X轴控制电机6安装在支撑板2的偏右侧位置，X轴控制电机6的电机主体位于支撑板2之外并采用螺栓固定在延伸出平台的第一安装板上，X轴控制电机6内部延伸出柱状X轴控制轴，X轴控制轴沿X轴的方向延伸并与X轴移动组件连接，在装置工作时，X轴控制电机6运作产生动力，控制X轴控制轴进行运动，从而带动所连接的X轴移动组件一起在X轴的方向产生位移，X轴控制电机6上方安装有Y轴控制电机5，Y轴控制电机5采用螺栓固定在延伸出另第二安装板上，第二安装板与X轴移动组件连接，当X轴移动组件在X轴控制电机6的控制下进行移动时，Y轴控制电机5和第二安装板上安装的其他部件也会随之一起移动，Y轴控制电机5内部延伸出柱状Y轴控制轴，Y轴控制轴沿Y轴的方向延伸并与Y轴移动组件连接，在装置工作时，Y轴控制电机5运作产生动力，控制Y轴控制轴进行运动，从而带动所连接的Y轴移动组件一起在Y轴的方向产生位移，Y轴控制电机5上方使安装有Z轴控制电机4，Z轴控制电机4采用螺栓固定在延伸出另第三安装板上，第三安装板与Y轴移动组件连接，当Y轴移动组件在Y轴控制电机5的控制下进行移动时，Z轴控制电机4和第三安装板上安装的其他部件也会随之一起移动，Z轴控制电机4内部延伸出柱状Z轴控制轴，Z轴控制轴沿Z轴的方向延伸并与Z轴移动组件连接，在装置工作时，Z轴控制电机4运作产生动力，控制Z轴控制轴进行运动，从而带动所连接的Z轴移动组件一起在Z轴的方向产生位移，Z轴控制电机4的侧面采用螺栓固定有光源相机1，光源相机1与Z轴移动组件连接，当Z轴移动组件在Z轴控制电机4的控制下进行移动时，光源相机1也会随之移动，在X轴控制电机6、Y轴控制电机5和Z轴控制电机4的共同作用下可以实现光源相机1在三轴方向产生移动，光源相机1顶部设置有圆环状相机光源，相机光源可以为光源相机1的工作提供光线照明支持。
综上所述，本单面自动光刻机用的相机模组，包括支撑座3，支撑座3两个一组平行设置，支撑座3顶端设置有支撑板2，支撑板2的两端分别与两个支撑座3相接，支撑板2上安装有X轴控制电机6，X轴控制电机6上方安装有Y轴控制电机5，Y轴控制电机5上方使安装有Z轴控制电机4，Z轴控制电机4的侧面采用螺栓固定有光源相机1。本单面自动光刻机用的相机模组，X轴控制电机6进行工作时，带动所连接的Y轴控制电机5及其组件沿X轴进行移动，Y轴控制电机5进行工作时，带动所连接的Z轴控制电机4及其组件沿Y轴进行移动，Z轴控制电机4进行工作时，带动所连接的光源相机1沿Z轴进行移动，在X轴控制电机6、Y轴控制电机5和Z轴控制电机4的共同作用下可以实现光源相机1在三轴方向产生移动，光源相机1顶部设置有圆环状相机光源，相机光源可以为光源相机1的工作提供光线照明支持。
需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (5)
1.一种单面自动光刻机用的相机模组，包括支撑座(3)，其特征在于：所述支撑座(3)两个一组平行设置，支撑座(3)顶端设置有支撑板(2)，支撑板(2)的两端分别与两个支撑座(3)相接，支撑板(2)上安装有X轴控制电机(6)，X轴控制电机(6)上方安装有Y轴控制电机(5)，Y轴控制电机(5)上方使安装有Z轴控制电机(4)，Z轴控制电机(4)的侧面采用螺栓固定有光源相机(1)。
2.根据权利要求1所述的一种单面自动光刻机用的相机模组，其特征在于：所述X轴控制电机(6)安装在支撑板(2)的偏右侧位置，X轴控制电机(6)的电机主体位于支撑板(2)之外并采用螺栓固定在延伸出平台的第一安装板上，X轴控制电机(6)内部延伸出柱状X轴控制轴，X轴控制轴沿X轴的方向延伸并与X轴移动组件连接。
3.根据权利要求1所述的一种单面自动光刻机用的相机模组，其特征在于：所述Y轴控制电机(5)采用螺栓固定在延伸出另第二安装板上，第二安装板与X轴移动组件连接，Y轴控制电机(5)内部延伸出柱状Y轴控制轴，Y轴控制轴沿Y轴的方向延伸并与Y轴移动组件连接。
4.根据权利要求1所述的一种单面自动光刻机用的相机模组，其特征在于：所述Z轴控制电机(4)采用螺栓固定在延伸出另第三安装板上，第三安装板与Y轴移动组件连接，Z轴控制电机(4)内部延伸出柱状Z轴控制轴，Z轴控制轴沿Z轴的方向延伸并与Z轴移动组件连接。
5.根据权利要求1所述的一种单面自动光刻机用的相机模组，其特征在于：所述光源相机(1)与Z轴移动组件连接，光源相机(1)顶部设置有圆环状相机光源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022424630.5U CN213479641U (zh) | 2020-10-27 | 2020-10-27 | 一种单面自动光刻机用的相机模组 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN202022424630.5U CN213479641U (zh) | 2020-10-27 | 2020-10-27 | 一种单面自动光刻机用的相机模组 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN213479641U true CN213479641U (zh) | 2021-06-18 |
Family
ID=76369860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN202022424630.5U Active CN213479641U (zh) | 2020-10-27 | 2020-10-27 | 一种单面自动光刻机用的相机模组 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN213479641U (zh) |
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2020
- 2020-10-27 CN CN202022424630.5U patent/CN213479641U/zh active Active
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