CN213327803U - 一种用于真空蒸发设备的散热装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种用于真空蒸发设备的散热装置，包括底座和散热壳体，所述底座的上表面固定安装有散热壳体，所述散热壳体的内壁固定连接有散热鳍片，所述散热壳体的内底壁固定安装有冷却风扇，所述散热壳体的内部设置有S型冷凝管，所述S型冷凝管的一端固定连接有倒流管。本实用新型通过S型冷凝管缠绕在真空蒸发设备的外表面对其外壁进行降温，通过散热鳍片将热量吸取进一步进行散热，通过通风支撑板对真空蒸发设备进行支撑并将冷却风扇工作时产生的冷风传导至真空蒸发设备的表面对其进行降温，通过双重降温增加对真空蒸发设备的降温效率，避免真空腔体内部温度过高，导致真空腔体内部的机械结构发生形变，进一步提高产品质量。

Description

一种用于真空蒸发设备的散热装置

技术领域

本实用新型涉及真空蒸发设备散热处理技术领域，具体为一种用于真空蒸发设备的散热装置。

背景技术

真空蒸发是在真空下进行的蒸发操作，真空蒸发的特点是，在低压下溶液的沸点降低且用较少的蒸汽蒸发大量的水分；真空蒸发设备包括降膜式蒸发机和真空镀膜机等设备，真空镀膜是指在真空环境下，将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面(通常是非金属材料)，属于物理气相沉积工艺，真空镀膜技术广泛应用到电子、宇航、包装、光伏等技术领域，当利用真空腔体在基片上对某种材料进行真空镀膜时，往往由于沉积反应或工艺要求，需要对基片进行高温加热，加热过程导致真空腔体内部温度过高，长期受热则会使真空腔体内部的机械结构发生形变，从而使真空腔体的功能失效，且现有的真空镀膜机散热较多采用自然冷却，效果较差，冷却不及时，很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏，因此，现在需要一种能解决上述问题的用于真空蒸发设备的散热装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于真空蒸发设备的散热装置以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于真空蒸发设备的散热装置，包括底座和散热壳体，所述底座的上表面固定安装有散热壳体，所述散热壳体的内壁固定连接有散热鳍片，所述散热壳体的内底壁固定安装有冷却风扇，所述散热壳体的内部位于冷却风扇的上方固定安装有通风支撑板，所述散热壳体的内部位于散热鳍片的一侧设置有S型冷凝管，所述底座的上表面位于散热壳体的一侧固定安装有制冷箱，所述制冷箱的一侧固定安装有储液箱，所述储液箱的顶部固定安装有水泵，所述S型冷凝管的一端固定连接有一端贯穿至储液箱的侧壁并延伸至其内部的倒流管。

优选的，所述散热壳体的表面设置有散热口，所述散热口的内部设置有防尘网。

优选的，所述散热壳体的外表面设置有控制面板，所述散热壳体的内侧壁设置有温度感应器，所述控制面板与温度感应器电性连接。

优选的，所述水泵的输出端固定连接有一端贯穿至储液箱内部的吸管，所述水泵的输入端固定连接有导管，所述导管的端部与制冷箱的顶部固定连接。

优选的，所述S型冷凝管的一端固定连接有连接法兰，所述S型冷凝管通过连接法兰与倒流管固定连接。

优选的，所述储液箱的一侧固定连接有加液管，所述散热壳体的一侧固定连接有固定架，所述固定架的表面设置有固定孔，所述固定孔的内壁固定连接有橡胶垫，所述倒流管的表面位于固定孔的内部。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

1、本实用新型通过S型冷凝管缠绕在真空蒸发设备的外表面对其外壁进行降温，通过散热鳍片将热量吸取进一步进行散热，冷却风扇工作时产生冷风，通过通风支撑板对真空蒸发设备进行支撑并将冷却风扇工作时产生的冷风传导至真空蒸发设备的表面对其进行降温，通过双重降温增加对真空蒸发设备的降温效率，避免真空腔体内部温度过高，导致真空腔体内部的机械结构发生形变，进一步提高产品质量。

2、本实用新型通过倒流管将使用过的冷却液倒流至储液箱的内部，进行循环使用，节约生产成本，避免资源浪费，通过温度感应器对散热壳体内部温度和真空蒸发设备表面温度进行感应，并传导至控制面板，便于工作人员根据温度对装置的工作状态进行实时调控。

附图说明

图1为本实用新型的主视结构示意图；

图2为本实用新型的主视剖面结构示意图；

图3为本实用新型的散热壳体俯视剖面结构示意图；

图4为本实用新型的固定架结构示意图。

图中：1、底座；2、散热壳体；3、散热鳍片；4、冷却风扇；5、通风支撑板；6、S型冷凝管；7、制冷箱；8、储液箱；9、水泵；10、倒流管；11、散热口；12、防尘网；13、控制面板；14、温度感应器；15、吸管；16、导管；17、连接法兰；18、加液管；19、固定架；20、固定孔；21、橡胶垫。

具体实施方式

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“设置有”、“连接”等，应做广义理解，例如“连接”，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

请参阅图1-4，本实用新型提供的一种实施例：一种用于真空蒸发设备的散热装置，包括底座1和散热壳体2，底座1的上表面固定安装有散热壳体2，散热壳体2的内壁固定连接有散热鳍片3，散热壳体2的内底壁固定安装有冷却风扇4，散热壳体2的内部位于冷却风扇4的上方固定安装有通风支撑板5，散热壳体2的内部位于散热鳍片3的一侧设置有S型冷凝管6，底座1的上表面位于散热壳体2的一侧固定安装有制冷箱7，制冷箱7的一侧固定安装有储液箱8，储液箱8的顶部固定安装有水泵9，S型冷凝管6的一端固定连接有一端贯穿至储液箱8的侧壁并延伸至其内部的倒流管10，水泵9工作时对储液箱8内部的冷却液进行抽取，通过制冷箱7将冷却液进行冷却降温，通过S型冷凝管6缠绕在真空蒸发设备的外表面对其外壁进行降温，通过散热鳍片3将热量吸取进一步进行散热，冷却风扇4工作时产生冷风，通过通风支撑板5对真空蒸发设备进行支撑并将冷却风扇4工作时产生的冷风传导至真空蒸发设备的表面对其进行降温，通过双重降温增加对真空蒸发设备的降温效率，避免真空腔体内部温度过高，导致真空腔体内部的机械结构发生形变，进一步提高产品质量，通过倒流管10将使用过的冷却液倒流至储液箱8的内部，进行循环使用，节约生产成本，避免资源浪费。

进一步，散热壳体2的表面设置有散热口11，散热口11的内部设置有防尘网12，通过散热口11将真空蒸发设备散热的热量进行排出，通过防尘网12防止灰尘有散热口11进入散热壳体2内部，造成散热壳体2内部组件短路，对散热壳体2内部组件提供保护，延长其使用寿命。

进一步，散热壳体2的外表面设置有控制面板13，散热壳体2的内侧壁设置有温度感应器14，控制面板13与温度感应器14电性连接，通过温度感应器14对散热壳体2内部温度和真空蒸发设备表面温度进行感应，并传导至控制面板13，便于工作人员根据温度对装置的工作状态进行实时调控。

进一步，水泵9的输出端固定连接有一端贯穿至储液箱8内部的吸管15，水泵9的输入端固定连接有导管16，导管16的端部与制冷箱7的顶部固定连接，通过吸管15使水泵9工作时对储液箱8内部的冷却液进行吸取，通过导管16将冷却液传导至制冷箱7内部进行冷却。

进一步，S型冷凝管6的一端固定连接有连接法兰17，S型冷凝管6通过连接法兰17与倒流管10固定连接。

进一步，储液箱8的一侧固定连接有加液管18，散热壳体2的一侧固定连接有固定架19，固定架19的表面设置有固定孔20，固定孔20的内壁固定连接有橡胶垫21，倒流管10的表面位于固定孔20的内部，通过加液管18对储液箱8的内部添加冷却液，通过固定架19、固定孔20和橡胶垫21的配合设置，对倒流管10进行固定，使其在工作过程中更加稳定高效。

工作原理：通过将真空蒸发设备安装到散热壳体2的内部，水泵9工作时对储液箱8内部的冷却液进行抽取，通过制冷箱7将冷却液进行冷却降温，通过S型冷凝管6缠绕在真空蒸发设备的外表面对其外壁进行降温，通过散热鳍片3将热量吸取进一步进行散热，冷却风扇4工作时产生冷风，通过通风支撑板5对真空蒸发设备进行支撑并将冷却风扇4工作时产生的冷风传导至真空蒸发设备的表面对其进行降温，通过双重降温增加对真空蒸发设备的降温效率，通过倒流管10将使用过的冷却液倒流至储液箱8的内部，进行循环使用，通过温度感应器14对散热壳体2内部温度和真空蒸发设备表面温度进行感应，并传导至控制面板13，便于工作人员根据温度对装置的工作状态进行实时调控。

对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。

Claims (6)

1.一种用于真空蒸发设备的散热装置，包括底座(1)和散热壳体(2)，其特征在于：所述底座(1)的上表面固定安装有散热壳体(2)，所述散热壳体(2)的内壁固定连接有散热鳍片(3)，所述散热壳体(2)的内底壁固定安装有冷却风扇(4)，所述散热壳体(2)的内部位于冷却风扇(4)的上方固定安装有通风支撑板(5)，所述散热壳体(2)的内部位于散热鳍片(3)的一侧设置有S型冷凝管(6)，所述底座(1)的上表面位于散热壳体(2)的一侧固定安装有制冷箱(7)，所述制冷箱(7)的一侧固定安装有储液箱(8)，所述储液箱(8)的顶部固定安装有水泵(9)，所述S型冷凝管(6)的一端固定连接有一端贯穿至储液箱(8)的侧壁并延伸至其内部的倒流管(10)。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空蒸发设备的散热装置，其特征在于：所述散热壳体(2)的表面设置有散热口(11)，所述散热口(11)的内部设置有防尘网(12)。

3.根据权利要求1所述的一种用于真空蒸发设备的散热装置，其特征在于：所述散热壳体(2)的外表面设置有控制面板(13)，所述散热壳体(2)的内侧壁设置有温度感应器(14)，所述控制面板(13)与温度感应器(14)电性连接。

4.根据权利要求1所述的一种用于真空蒸发设备的散热装置，其特征在于：所述水泵(9)的输出端固定连接有一端贯穿至储液箱(8)内部的吸管(15)，所述水泵(9)的输入端固定连接有导管(16)，所述导管(16)的端部与制冷箱(7)的顶部固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种用于真空蒸发设备的散热装置，其特征在于：所述S型冷凝管(6)的一端固定连接有连接法兰(17)，所述S型冷凝管(6)通过连接法兰(17)与倒流管(10)固定连接。

6.根据权利要求1所述的一种用于真空蒸发设备的散热装置，其特征在于：所述储液箱(8)的一侧固定连接有加液管(18)，所述散热壳体(2)的一侧固定连接有固定架(19)，所述固定架(19)的表面设置有固定孔(20)，所述固定孔(20)的内壁固定连接有橡胶垫(21)，所述倒流管(10)的表面位于固定孔(20)的内部。

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