CN213295024U - 一种超纯水制备装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型提出了一种超纯水制备装置，包括通过连接管依次连接的原水箱、原水泵、多介质过滤器、活性炭过滤器、软化水装置、一级精密过滤器、一级高压泵、一级反渗透装置、一级反渗透储水箱、二级高压泵、二级反渗透装置、二级反渗透储水箱、EDI进水泵、二级精密过滤器、EDI设备、纯水箱、供水泵、抛光混床和微孔膜过滤器。本实用新型出水经过抛光混床后，出水电阻率就可以稳定达到16MΩ*cm(25℃)，出水电阻率低且稳定，本实用新型全自动化控制，不需专人看管，设备成本、运行成本和有效去除离子方面的综合经济指标最优。

Description

一种超纯水制备装置

技术领域

本实用新型涉及水处理装置，特别涉及一种超纯水制备装置。

背景技术

超纯水，又称UP水，电阻率达到18MΩ*cm(25℃)的水。常用于集成电路工业中用于半导体原材料和所用器皿的清洗、光刻掩模版的制备和硅片氧化用的水汽源等。此外，其他固态电子器件、厚膜和薄膜电路、印刷电路、真空管等的制作也都要使用超纯水。

但是现有的超纯水制备设备制备，存在出水电阻率仍不够低、出水电阻率不够稳定、以及设备和运行成本高的问题。

实用新型内容

本实用新型提出了一种超纯水制备装置，解决了现有技术中超纯水制备存在出水电阻率仍不够低、出水电阻率不够稳定、以及设备和运行成本高的的缺陷。

本实用新型的技术方案是这样实现的：

一种超纯水制备装置，包括通过连接管依次连接的原水箱、原水泵、多介质过滤器、活性炭过滤器、软化水装置、一级精密过滤器、一级高压泵、一级反渗透装置、一级反渗透储水箱、二级高压泵、二级反渗透装置、二级反渗透储水箱、EDI进水泵、二级精密过滤器、EDI设备、纯水箱、供水泵、抛光混床和微孔膜过滤器。

进一步，所述连接管包括UPVC管和/或不锈钢管。

进一步，所述多介质过滤器中的滤料为石英砂、无烟煤、磁铁矿、石榴石、多孔陶瓷和塑料球中的一种或多种。

进一步，所述软化水装置为软化树脂过滤器。

进一步，所述微孔膜过滤器包括外筒体和设置在外筒体内的折叠式膜滤芯。

本实用新型的有益效果：本实用新型出水经过抛光混床后，出水电阻率就可以稳定达到16MΩ*cm(25℃)，出水电阻率低且稳定，本实用新型全自动化控制，不需专人看管，设备成本、运行成本和有效去除离子方面的综合经济指标最优。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的结构框图。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

参照图1，一种超纯水制备装置，其特征在于：包括通过连接管依次连接的原水箱、原水泵、多介质过滤器、活性炭过滤器、软化水装置、一级精密过滤器、一级高压泵、一级反渗透装置、一级反渗透储水箱、二级高压泵、二级反渗透装置、二级反渗透储水箱、EDI进水泵、二级精密过滤器、 EDI设备、纯水箱、供水泵、抛光混床和微孔膜过滤器。

进一步，所述连接管包括UPVC管和/或不锈钢管；所述多介质过滤器中的滤料为石英砂、无烟煤、磁铁矿、石榴石、多孔陶瓷和塑料球中的一种或多种；所述软化水装置为软化树脂过滤器；所述微孔膜过滤器包括外筒体和设置在外筒体内的折叠式膜滤芯。

本实用新型包括多介质过滤器、活性炭过滤器、软化过滤器、一级精密过滤器。通过多介质过滤器可以去除水中一些较粗的颗粒和杂质、悬浮物等，通过活性炭过滤器可以除去原水中余氯等物质，出水水质符合反渗透膜的进水水质。

一级反渗透装置和二级反渗透装置能滤除水中的细菌、病毒、金属离子、盐类、农药及各种致癌物质，其工作压力低、产水量大、脱盐率高，配置在线清洗装置，易于维护清洗。

EDI设备主要用来去除水中残余的阴、阳离子，使出水电阻率≥15MΩ*cm(25℃)，最终出水经过抛光混床，出水水质稳定达到16MΩ*cm(25℃)。

连接管采用UPVC管和不锈钢管对水质不影响，且寿命长。

抛光混床基本不需维护管理，安装在现场和安装在厂务端对管理都不会有影响，对提高水质有很大好处，可最大限度节约PVDF费用。

本实用新型出水经过抛光混床后，出水电阻率就可以稳定达到16MΩ*cm(25℃)，出水电阻率低且稳定，本实用新型全自动化控制，不需专人看管，设备成本、运行成本和有效去除离子方面的综合经济指标最优。

其中，多介质过滤器是利用一种或几种过滤介质，在一定的压力下把浊度较高的水通过一定厚度的粒状或非粒材料，从而有效的除去悬浮杂质使水澄清的过程，常用的滤料有石英砂，无烟煤，锰砂等，主要用于水处理除浊，软化水，纯水的前级预处理等，出水浊度可达3度以下。

其中，软化水装置，顾名思义即降低水硬度的装置，主要除祛水中的钙、镁离子。软化树脂过滤器也称为软化水装置、软水器、软水机、软水设备、水质软化器。软化树脂过滤器是采用阳树脂对源水进行软化,主要目的是让阳树脂吸附水中的钙、镁离子（形成水垢的主要成分），降低源水的硬度，并可以进行智能化树脂再生，循环使用。

其中，精密过滤器(又称作保安过滤器)，筒体外壳一般采用不锈钢材质制造，内部采用PP熔喷、线烧、折叠、钛滤芯、活性炭滤芯等管状滤芯作为过滤元件，根据不同的过滤介质及设计工艺选择不同的过滤元件，以达到出水水质的要求。

其中，RO是英文Reverse Osmosis 的缩写，中文意思是反渗透。一般水的流动方式是由低浓度流向高浓度，水一旦加压之后，将由高浓度流向低浓度，亦即所谓逆渗透原理:由于RO膜的孔径是头发丝的一百万分之一(0.0001微米)，一般肉眼无法看到，细菌、病毒是它的5000倍，因此，只有水分子及部分矿物离子能够通过(通过的离子无益损取向)，其它杂质及重金属均由废水管排出。所有海水淡化的过程，以及太空人废水回收处理均采用此方法，因此RO膜又称体外的高科技"人工肾脏"。国内外，医学军用民用领域，都采取顶级RO膜进行高分子过滤。

其中，电去离子Electrodeionization，简称EDI，又称连续电解除盐技术，它科学地将电渗析技术和离子交换技术融为一体，通过阴、阳离子的选择透过作用以及离子交换树脂对水中离子的交换作用，在电场的作用下实现水中离子的定向迁移，从而达到水的深度净化除盐，并通过水电解产生的氢离子和氢氧根离子对装填树脂进行连续再生，因此EDI制水过程不需酸、碱化学药品再生即可连续制取高品质超纯水，它具有技术先进、结构紧凑、操作简便的优点，可广泛应用于电力、电子、医药、化工、食品和实验室领域，是水处理技术的绿色革命。

其中，抛光混床又称一次性混床一般情况用在工艺末端，用来更进一步提高产水水质。

其中，微孔膜过滤器是一种膜分离技术，过滤器为圆柱体筒状结构，用 304 或316L 不锈钢制成，以折叠式滤芯为过滤元件，可滤除液体、气体中 0.1 μ m 以上的微粒和细菌。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种超纯水制备装置，其特征在于：包括通过连接管依次连接的原水箱、原水泵、多介质过滤器、活性炭过滤器、软化水装置、一级精密过滤器、一级高压泵、一级反渗透装置、一级反渗透储水箱、二级高压泵、二级反渗透装置、二级反渗透储水箱、EDI进水泵、二级精密过滤器、EDI设备、纯水箱、供水泵、抛光混床和微孔膜过滤器。

2.如权利要求1所述的超纯水制备装置，其特征在于：所述连接管包括UPVC管和/或不锈钢管。

3.如权利要求1所述的超纯水制备装置，其特征在于：所述多介质过滤器中的滤料为石英砂、无烟煤、磁铁矿、石榴石、多孔陶瓷和塑料球中的一种或多种。

4.如权利要求1所述的超纯水制备装置，其特征在于：所述软化水装置为软化树脂过滤器。

5.如权利要求1所述的超纯水制备装置，其特征在于：所述微孔膜过滤器包括外筒体和设置在外筒体内的折叠式膜滤芯。

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