CN213234519U - 一种退火炉的用防护装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于退火炉的用防护装置技术领域，尤其为一种退火炉的用防护装置，包括底座，所述底座的顶部固定连接有立柱，所述立柱的顶端固定连接有顶板，所述顶板的一个侧面开设有U形槽；本实用新型，通过设置卡杆和卡槽，拉动卡杆使卡杆脱离卡槽和卡孔，使卡板脱离U形槽，方便对防护装置进行拆卸和收集，将第一固定板活动连接在U形槽内，通过松开卡杆，使卡杆穿过卡孔卡接在卡槽内，方便对多个防护装置进行组合，使用时更加的方便，通过设置转板，转动转板，使转轴带动螺纹柱转动，使滑块在滑槽内活动，使螺纹筒活动，使底板与地面接触，方便对装置进行停置和固定，通过设置万向轮，方便对装置进行移动更加的方便。

Description

一种退火炉的用防护装置

技术领域

本实用新型属于退火炉的用防护装置技术领域，具体涉及一种退火炉的用防护装置。

背景技术

退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，因退火炉的体积较大，在退火炉设备旁常需要使用到多个防护栏，但现有的防护栏在进行移动和停置时较为不便，且在对多个护栏进行组合固定时较为不便。

实用新型内容

为解决上述背景技术中提出的问题。本实用新型提供了一种退火炉的用防护装置，具有方便移动和固定的特点。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种退火炉的用防护装置，包括底座，所述底座的顶部固定连接有立柱，所述立柱的顶端固定连接有顶板，所述顶板的一个侧面开设有U形槽，所述顶板的另一侧固定连接有第一固定板，所述第一固定板的表面开设有卡孔，所述U形槽的内壁上开设有卡槽，所述顶板的顶部开设有活动孔，所述活动孔内活动连接有卡杆，所述卡杆表面套接有弹簧，所述卡杆穿过卡孔卡接在卡槽内，所述底座的两个侧面均固定连接有第二固定板，所述第二固定板的顶部开设有圆孔，且圆孔的内壁上固定连接有固定筒，所述固定筒的内壁上固定连接有轴承，所述轴承内穿设有转轴，所述转轴的一端固定连接有螺纹柱，所述螺纹柱的表面螺纹连接有螺纹筒，所述螺纹筒的另一端固定连接有底板，所述转轴的另一端固定连接有转板，所述底座的底部固定连接有支撑腿，所述支撑腿的底部设置有万向轮。

优选的，所述弹簧的一端固定连接在顶板上，所述弹簧的另一端固定连接在卡杆上。

优选的，所述螺纹筒的表面固定连接有滑块，所述固定筒的内壁上开设有滑槽，所述滑块活动连接在滑槽内。

优选的，所述立柱的数量为多个，多个立柱的表面固定连接有同一个警示牌。

优选的，所述底座的底部设置有橡胶垫。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型，通过设置卡杆和卡槽，拉动卡杆使卡杆脱离卡槽和卡孔，使卡板脱离U形槽，方便对防护装置进行拆卸和收集，将第一固定板活动连接在U形槽内，通过松开卡杆，使卡杆穿过卡孔卡接在卡槽内，方便对多个防护装置进行组合，使用时更加的方便，通过设置转板，转动转板，使转轴带动螺纹柱转动，使滑块在滑槽内活动，使螺纹筒活动，使底板与地面接触，方便对装置进行停置和固定，通过设置万向轮，方便对装置进行移动更加的方便。

附图说明

附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：

图1为本实用新型正视剖面的结构示意图；

图2为本实用新型中A处放大的结构示意图；

图3为本实用新型中B处放大的结构示意图；

图中：1、底座；2、立柱；3、顶板；4、U形槽；5、第一固定板；6、卡孔；7、卡槽；8、活动孔；9、卡杆；10、弹簧；11、第二固定板；12、固定筒；13、轴承；14、转轴；15、螺纹柱；16、螺纹筒；17、滑块；18、滑槽；19、转板；20、底板；21、橡胶垫；22、支撑腿；23、万向轮；24、警示牌。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

实施例

请参阅图1-3，本实用新型提供以下技术方案：一种退火炉的用防护装置，包括底座1，所述底座1的顶部固定连接有立柱2，所述立柱2的顶端固定连接有顶板3，所述顶板3的一个侧面开设有U形槽4，所述顶板3的另一侧固定连接有第一固定板5，所述第一固定板5的表面开设有卡孔6，所述U形槽4的内壁上开设有卡槽7，所述顶板3的顶部开设有活动孔8，所述活动孔8内活动连接有卡杆9，所述卡杆9表面套接有弹簧10，所述卡杆9穿过卡孔6卡接在卡槽7内，通过设置卡杆9和卡槽7，拉动卡杆9使卡杆9脱离卡槽7和卡孔6，使卡板脱离U形槽4，方便对防护装置进行拆卸和收集，将第一固定板5活动连接在U形槽4内，通过松开卡杆9，使卡杆9穿过卡孔6卡接在卡槽7内，方便对多个防护装置进行组合，使用时更加的方便，所述底座1的两个侧面均固定连接有第二固定板11，所述第二固定板11的顶部开设有圆孔，且圆孔的内壁上固定连接有固定筒12，所述固定筒12的内壁上固定连接有轴承13，所述轴承13内穿设有转轴14，所述转轴14的一端固定连接有螺纹柱15，所述螺纹柱15的表面螺纹连接有螺纹筒16，所述螺纹筒16的另一端固定连接有底板20，通过设置转板19，转动转板19，使转轴14带动螺纹柱15转动，使滑块17在滑槽18内活动，使螺纹筒16活动，使底板20与地面接触，方便对装置进行停置和固定，所述转轴14的另一端固定连接有转板19，所述底座1的底部固定连接有支撑腿22，所述支撑腿22的底部设置有万向轮23，通过设置万向轮23，方便对装置进行移动更加的方便。

具体的，所述弹簧10的一端固定连接在顶板3上，所述弹簧10的另一端固定连接在卡杆9上，对卡杆9和弹簧10起到固定的作用。

具体的，所述螺纹筒16的表面固定连接有滑块17，所述固定筒12的内壁上开设有滑槽18，所述滑块17活动连接在滑槽18内，对螺纹筒16起到限位的作用。

具体的，所述立柱2的数量为多个，多个立柱2的表面固定连接有同一个警示牌24，起到警示的作用。

具体的，所述底座1的底部设置有橡胶垫21，增大底板20与地面之间的摩擦力，使装置在停置时更加的稳定。

本实用新型的工作原理及使用流程：本实用新型，在使用时，通过万向轮23将装置移动到合适的位置，通过转动转板19，使转轴14带动螺纹柱15转动，使滑块17在滑槽18内活动，使螺纹筒16活动，使底板20与地面接触，对装置进行停置和固定，将第一固定板5活动连接在U形槽4内，通过松开卡杆9，使卡杆9穿过卡孔6卡接在卡槽7内，将多个防护装置进行组合，将退火炉周围围起，通过拉动卡杆9使卡杆9脱离卡槽7和卡孔6，使卡板脱离U形槽4，可对防护装置进行拆卸和收集。

最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (5)

1.一种退火炉的用防护装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)的顶部固定连接有立柱(2)，所述立柱(2)的顶端固定连接有顶板(3)，所述顶板(3)的一个侧面开设有U形槽(4)，所述顶板(3)的另一侧固定连接有第一固定板(5)，所述第一固定板(5)的表面开设有卡孔(6)，所述U形槽(4)的内壁上开设有卡槽(7)，所述顶板(3)的顶部开设有活动孔(8)，所述活动孔(8)内活动连接有卡杆(9)，所述卡杆(9)表面套接有弹簧(10)，所述卡杆(9)穿过卡孔(6)卡接在卡槽(7)内，所述底座(1)的两个侧面均固定连接有第二固定板(11)，所述第二固定板(11)的顶部开设有圆孔，且圆孔的内壁上固定连接有固定筒(12)，所述固定筒(12)的内壁上固定连接有轴承(13)，所述轴承(13)内穿设有转轴(14)，所述转轴(14)的一端固定连接有螺纹柱(15)，所述螺纹柱(15)的表面螺纹连接有螺纹筒(16)，所述螺纹筒(16)的另一端固定连接有底板(20)，所述转轴(14)的另一端固定连接有转板(19)，所述底座(1)的底部固定连接有支撑腿(22)，所述支撑腿(22)的底部设置有万向轮(23)。

2.根据权利要求1所述的一种退火炉的用防护装置，其特征在于：所述弹簧(10)的一端固定连接在顶板(3)上，所述弹簧(10)的另一端固定连接在卡杆(9)上。

3.根据权利要求1所述的一种退火炉的用防护装置，其特征在于：所述螺纹筒(16)的表面固定连接有滑块(17)，所述固定筒(12)的内壁上开设有滑槽(18)，所述滑块(17)活动连接在滑槽(18)内。

4.根据权利要求1所述的一种退火炉的用防护装置，其特征在于：所述立柱(2)的数量为多个，多个立柱(2)的表面固定连接有同一个警示牌(24)。

5.根据权利要求1所述的一种退火炉的用防护装置，其特征在于：所述底座(1)的底部设置有橡胶垫(21)。

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