CN213172665U - 电镀槽 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种电镀槽，包括槽体、搅拌盘和防窜动部；搅拌盘可移动的设于槽体内，搅拌盘包括一对连接板，一对连接板穿设于槽体且延伸至槽体的外部；防窜动部包括一对限位块，一对限位块对称的设于槽体的外侧壁，且一对连接板穿设于对应设置的限位块，单个限位块被配置为用于引导连接板的移动，以防止搅拌盘发生窜动。本实用新型提供一种电镀槽，在槽体内可移动的设有搅拌盘，通过搅拌盘的不间断搅拌，大大提高了产品电镀的均匀性，而且设置有防窜动部，能够有效改善搅拌盘在竖直方向上的窜动，使得搅拌盘水平移动的稳定性显著提高，工作效率高，电镀产品质量高。

Description

电镀槽

技术领域

本实用新型涉及电镀技术领域，具体涉及电镀槽。

背景技术

电镀是利用电沉积理论在工件表面上镀上一薄层其它金属或合金的过程，从而防止金属氧化(如锈蚀)，提高耐磨性、导电性、反光性、抗腐蚀性(硫酸铜等)及增进美观等作用。传统的电镀槽在工作时，容易出现电镀不均匀的情况，直接影响电镀产品的质量。

实用新型内容

本实用新型提供一种电镀槽，包括：

槽体；

搅拌盘，可移动的设于所述槽体内，所述搅拌盘包括一对连接板，一对连接板穿设于所述槽体且延伸至所述槽体的外部；以及

防窜动部，包括一对限位块，一对限位块对称的设于所述槽体的外侧壁，且一对连接板穿设于对应设置的限位块，单个所述限位块被配置为用于引导连接板的移动，以防止所述搅拌盘发生窜动。

采用以上技术方案，防窜动部包括一对导向轮，一对导向轮设置在限位块上。

采用以上技术方案，单个所述限位块上开设有导向槽，导向槽的相对面设有一对凸起,以将导向槽等分为两个导向槽单体，每个导向槽单体内均可转动的设有导向轮。

采用以上技术方案，一对凸起的间距与连接板的厚度相适配。

采用以上技术方案，防窜动部包括固定块，固定块的一面连接限位块，固定块的另一面连接槽体，固定块上设有U型槽。

采用以上技术方案，所述搅拌盘包括本体，本体的两侧一体形成有一对连接板，所述本体上设有多个通槽，多个通槽竖直间隔设置。

采用以上技术方案，所述槽体的底部设有与搅拌盘的本体相适配的滑槽。

采用以上技术方案，还包括挂具，所述槽体的一端开口，所述挂具被配置为能够从槽体的开口插入槽体内，或从槽体的开口将挂具抽出。

采用以上技术方案，所述槽体内侧的相对面设有一对导轮组件，通过导轮组件引导挂具的抽插动作。

采用以上技术方案，单个导轮组件包括多个导轮组，单个导轮组包括一对导轮，一对导轮预留有间距，多个导轮组对应的一对导轮的间距向靠近槽体开口的方向呈逐渐递增的趋势。

本实用新型的有益效果：本实用新型提供一种电镀槽，在槽体内可移动的设有搅拌盘，通过搅拌盘的不间断搅拌，大大提高了产品电镀的均匀性，而且设置有防窜动部，能够有效改善搅拌盘在竖直方向上的窜动，使得搅拌盘水平移动的稳定性显著提高，工作效率高，电镀产品质量高。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1上A部的局部放大示意图。

图3是在图1的基础上暴露内部结构的示意图。

图4是在图3的基础上省略挂具的结构示意图。

图5是图4上B部的局部放大示意图。

图中标号说明：1、槽体；11、开口；12、滑槽；2、搅拌盘；21、本体；211、通槽；22、连接板；31、限位块；311、导向槽单体；312、凸起；32、固定块；321、U型槽；33、导向轮；4、挂具；5、导轮组；51、导轮。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

参照图1至图5所示，本实用新型的一个实施方式提供一种电镀槽，包括槽体1、搅拌盘2和防窜动部，搅拌盘2可移动的设于槽体1内，防窜动部包括一对限位块31，一对限位块31对称的设于槽体1的外侧壁，搅拌盘2包括一对连接板22，一对连接板22依次穿设于槽体1和限位块31且延伸至槽体1的外部，单个限位块31被配置为用于引导连接板22的移动，以防止搅拌盘2发生窜动，使得搅拌盘2水平移动的稳定性显著提高。

基于本实施方式的情况下，本实用新型防窜动部包括一对导向轮33，一对导向轮33设置在限位块31上，更具体的说，单个限位块31上开设有导向槽，导向槽的相对面设有一对凸起312,以将导向槽等分为两个导向槽单体311，每个导向槽单体311内均可转动的设有导向轮33，当然在实际使用时，搅拌盘2的连接板22连接驱动源(图中未示出)，驱动源动作通过连接板22带动搅拌盘2的本体21在槽体1内做水平定向移动，因此连接板22也做水平方向上的往复运动，在连接板22移动的过程中能够带动一对导向轮33转动，通过导向轮33的引导作用，能够有效防止连接板22在竖直方向上的窜动；

还有一对凸起312的间距与连接板22的厚度相适配，同样的，一对间距的设置能够在前后方向上对连接板22的移动起到限位的效果，以防止连接板22发生前后方向上的窜动，使得搅拌盘2水平移动的稳定性显著提高。

基于本实施方式的情况下，防窜动部包括固定块32，固定块32的一面连接限位块31，固定块32的另一面连接槽体1，固定块32上设有U型槽321，限位块31通过固定块32安装在槽体1的侧壁上，其中U型槽321的设置不会干涉连接板22的移动。

基于本实施方式的情况下，搅拌盘2包括本体21，本体21的两侧一体形成有一对连接板22，本体21上设有多个通槽211，多个通槽211竖直间隔设置，在搅拌盘2进行搅拌的过程中，搅拌盘2两侧的电镀液通过多个通槽211进行流通，能够有效提高搅拌效果，如此能够提高电镀的均匀性；

当然为了限制本体21的移动，本实用新型槽体1的底部设有与搅拌盘2的本体21相适配的滑槽12，本体21在槽体1的滑槽12内移动，便于规范搅拌盘2的移动。

基于本实施方式的情况下，还包括挂具4，槽体1的一端开口11，挂具4被配置为能够从槽体1的开口11插入槽体1内，或从槽体1的开口11将挂具4抽出，更具体的说，槽体1内侧的相对面设有一对导轮组件，通过导轮组件引导挂具4的抽插动作，单个导轮组件包括多个导轮组5，单个导轮组5包括一对导轮51，一对导轮51预留有间距，多个导轮组5对应的一对导轮51的间距向靠近槽体1开口11的方向呈逐渐递增的趋势，即槽体1最底部的一对导轮51的间距最小，且该间距与挂具4的宽度相适配，槽体1最顶部的一对导轮51的间距最大，该间距明显大于挂具4的宽度，便于挂具4从槽体1的开口11插入槽体1内，还有本实用新型的工件(这里指晶圆)可以通过螺栓和螺母锁紧在挂具4上。

本实用新型的有益效果：本实用新型提供一种电镀槽，在槽体内可移动的设有搅拌盘，通过搅拌盘的不间断搅拌，大大提高了产品电镀的均匀性，而且设置有防窜动部，能够有效改善搅拌盘窜动的现象，使得搅拌盘水平移动的稳定性显著提高，工作效率高，电镀产品质量高。

以上实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例，本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换，均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

Claims (10)

1.一种电镀槽，其特征在于，包括：

槽体；

搅拌盘，可移动的设于所述槽体内，所述搅拌盘包括一对连接板，一对连接板穿设于所述槽体且延伸至所述槽体的外部；以及

防窜动部，包括一对限位块，一对限位块对称的设于所述槽体的外侧壁，且一对连接板穿设于对应设置的限位块，单个所述限位块被配置为用于引导连接板的移动，以防止所述搅拌盘发生窜动。

2.如权利要求1所述的电镀槽，其特征在于：防窜动部包括一对导向轮，一对导向轮设置在限位块上。

3.如权利要求1或2所述的电镀槽，其特征在于：单个所述限位块上开设有导向槽，导向槽的相对面设有一对凸起,以将导向槽等分为两个导向槽单体，每个导向槽单体内均可转动的设有导向轮。

4.如权利要求3所述的电镀槽，其特征在于：一对凸起的间距与连接板的厚度相适配。

5.如权利要求1所述的电镀槽，其特征在于：防窜动部包括固定块，固定块的一面连接限位块，固定块的另一面连接槽体，固定块上设有U型槽。

6.如权利要求1所述的电镀槽，其特征在于：所述搅拌盘包括本体，本体的两侧一体形成有一对连接板，所述本体上设有多个通槽，多个通槽竖直间隔设置。

7.如权利要求1所述的电镀槽，其特征在于：所述槽体的底部设有与搅拌盘的本体相适配的滑槽。

8.如权利要求1所述的电镀槽，其特征在于：还包括挂具，所述槽体的一端开口，所述挂具被配置为能够从槽体的开口插入槽体内，或从槽体的开口将挂具抽出。

9.如权利要求1或8所述的电镀槽，其特征在于：所述槽体内侧的相对面设有一对导轮组件，通过导轮组件引导挂具的抽插动作。

10.如权利要求9所述的电镀槽，其特征在于：单个导轮组件包括多个导轮组，单个导轮组包括一对导轮，一对导轮预留有间距，多个导轮组对应的一对导轮的间距向靠近槽体开口的方向呈逐渐递增的趋势。

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