CN213162236U - 清洁设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种清洁设备，包括机壳、产品固定支架、风机过滤机组以及离子风组件；机壳设有排风口；产品固定支架设于机壳内；风机过滤机组设于机壳，以对机壳内部吹风；离子风组件设于机壳内，用以对安装于产品固定支架上的产品吹风。本实用新型技术方案清洁设备实现了通过双重清洁作用将产品上的异物吹出的功能，防止了二次污染，有效清除产品表面的异物，提升了产品良率。

Description

清洁设备

技术领域

本实用新型涉及清洁除尘技术领域，特别涉及一种清洁设备。

背景技术

目前，在电子元器件的制造过程中，都需要使用到wafer(晶片)、IC(IntegratedCircuit集成电路)、ASIC(Application Specific Integrated Circuit，集成电路)等晶圆结构。而在实际工作中发现，产品封装过程中，受到车间环境、人员、设备频繁调试、周转等影响，均会不同程度地增加异物，影响晶圆良率。相关技术中，现有的清洁设备通常采用离子风吹异物的方式来清除异物，但是离子风仅能够吹落一些较大的异物，而无法保证外来异物的再次污染，导致整体清除异物的效果较差。

实用新型内容

本实用新型的主要目的是提出一种清洁设备，旨在有效清除产品表面的异物，提升产品良率。

为实现上述目的，本实用新型提出的清洁设备，包括机壳、产品固定支架、风机过滤机组以及离子风组件；所述机壳设有排风口；所述产品固定支架设于所述机壳内；所述风机过滤机组设于所述机壳，以对所述机壳内部吹风；所述离子风组件设于所述机壳内，用以对安装于所述产品固定支架上的产品吹风。

在本实用新型一实施例中，所述产品固定支架设有用于安装产品的工位孔，所述离子风组件设于所述产品固定支架的下方，并朝向所述工位孔吹风。

在本实用新型一实施例中，所述离子风组件包括设于所述机壳内的移动机构和离子风机，所述离子风机与所述移动机构驱动连接。

在本实用新型一实施例中，所述清洁设备还包括设于所述机壳内的安装台；所述移动机构包括安装于所述安装台的丝杆导轨和电机，所述丝杆导轨与所述电机传动连接，所述离子风机与所述丝杆导轨驱动连接。

在本实用新型一实施例中，所述离子风机的出风口倾斜设置，所述出风口相对于竖直方向的倾斜角度为30°～60°。

在本实用新型一实施例中，所述离子风机的出风口距所述产品固定支架的垂直距离在30mm～100mm之间。

在本实用新型一实施例中，所述风机过滤机组设于所述机壳的顶部。

在本实用新型一实施例中，所述风机过滤机组包括风机和过滤网模块，所述过滤网模块设于所述机壳的顶部，所述风机设于所述过滤网模块的外部。

在本实用新型一实施例中，所述排风口设于所述机壳的底部。

在本实用新型一实施例中，所述机壳的底部除所述排风口之外的区域设有粘性膜。

在本实用新型一实施例中，所述清洁设备还包括排风管，所述排风管连接于所述排风口。

本实用新型技术方案清洁设备中，通过在机壳内设置产品固定支架和离子风组件，该离子风组件用于对安装于产品固定支架上的产品吹离子风，以吹落产品表面异物的同时能够消除产品表面的静电，使得产品上的异物杂质掉落至机壳的空间内，同时在该机壳上设置风机过滤机组，风机过滤机组能够对机壳的整个内部空间吹洁净风，保证整个机壳内部空间的洁净度，进而将异物通过排风口吹出，从而实现了通过双重清洁作用将产品上的异物吹出的功能，防止了二次污染，有效清除产品表面的异物，提升了产品良率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。

图1为本实用新型清洁设备一实施例的结构示意图；

图2为本实用新型清洁设备实施例的正视图；

图3为本实用新型清洁设备另一实施例的结构示意图。

附图标号说明：

标号	名称	标号	名称
				100	机壳	400	离子风组件
110	排风口	410	离子风机
				120	粘性膜	420	移动机构
200	产品固定支架	421	丝杆导轨
				210	工位孔	422	电机
300	风机过滤机组	430	安装台
				310	风机	500	排风管
320	过滤网模块	600	产品

本实用新型目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

需要说明，若本实用新型实施例中有涉及方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后……)，则该方向性指示仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。

另外，若本实用新型实施例中有涉及“第一”、“第二”等的描述，则该“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。另外，各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本实用新型要求的保护范围之内。

本实用新型提出一种清洁设备，用于清洁产品表面的灰尘颗粒等杂质。

在本实用新型实施例中，如图1、图2和图3所示，该清洁设备包括机壳100、产品固定支架200、风机过滤机组300以及离子风组件400；机壳100设有排风口110；产品固定支架200设于机壳100内；风机过滤机组300设于机壳110，以对机壳110内部吹风；离子风组件400设于机壳100内，用以对安装于产品固定支架200上的产品吹风。

清洁设备的机壳100起到保护产品清洁工序顺利完成的作用，防止外界干扰。风机过滤机组300设置在机壳100上，对整个机壳100内部吹风，以保证机壳100内部整个空间的洁净度。产品安装于产品固定支架200上，离子风组件400对产品吹风，以吹落产品上的灰尘、杂质等异物，使得异物离开产品进入机壳100的内部空间，此时通过风机过滤机组300的吹风作用，将机壳100内的异物由排风口110排出，从而实现了清洁产品的功能。

可以理解的，离子风组件400是针对于产品表面的异物进行清洁，而风机过滤机组300是针对整个机壳100内部的空间进行清洁，通过双重清洁作用，使得从产品上吹落的异物会进一步被排到外部，防止了二次污染，保证了产品表面的清洁效果。

在实际应用过程中，风机过滤机组300的具体结构可根据实际情况而定，如可设置为风机-过滤网的组合，也可设置为风机-除尘模块的组合等。在本实施例中，考虑到洁净度要求和工艺成本等因素，该风机过滤机组300选用风机-过滤网组合，也即FFU(Fan FilterUnit)模块，使得进入到机壳100内部的风是经过过滤之后的洁净风，从而达到从风源消除了杂质异物的功能。

本实施例中，离子风组件400起到对产品吹离子风的作用，在吹落产品表面的异物时能够消除产品表面的静电，防止产品再次吸附异物。可选地，离子风组件400可采用离子风棒、离子风枪或者离子风扇等结构。

本实用新型技术方案清洁设备中，通过在机壳100内设置产品固定支架200和离子风组件400，该离子风组件400用于对安装于产品固定支架200上的产品吹离子风，以吹落产品表面异物的同时能够消除产品表面的静电，使得产品上的异物杂质掉落至机壳100的空间内，同时在该机壳100上设置风机过滤机组300，风机过滤机组300能够对机壳100的整个内部空间吹洁净风，保证整个机壳100内部空间的洁净度，进而将异物通过排风口110吹出，从而实现了通过双重清洁作用将产品上的异物吹出的功能，防止了二次污染，有效清除产品表面的异物，提升了产品良率。

为了进一步提高清洁效果，参照图1和图2，产品固定支架200设有用于安装产品的工位孔210，离子风组件400设于产品固定支架200的下方，并朝向工位孔210吹风。产品安装于工位孔210，离子风组件400设于产品固定支架200的下方，则离子风组件400吹向产品的气流是由下至上延伸的，此时可将产品的工作面朝下安装，在重力作用和离子风的双重作用下，产品工作面上的异物更容易脱落，提高了清除异物的效率。

可以理解的，产品与安装支架200之间的固定安装方式可根据实际情况而定，如当产品为晶圆结构时，晶圆的外圈通常是具有一定刚性的安装圈，则可直接对安装圈进行固定，如卡接、插接、磁吸连接等等。

为了对产品表面的清洁效果更好，参照图1和图2，在本实用新型一实施例中，离子风组件400包括设于机壳100内的移动机构420和离子风机410，离子风机410与移动机构420驱动连接。移动机构420用于驱动离子风机410运动，使得离子风机410吹到产品上的风是活动的，从而增大了吹至产品表面的气流的范围，同时能够从多方向对产品表面的异物吹风，增大了异物被吹落的成功率。

可选地，该移动机构420可为直线往复移动机构，也可以为转动移动机构，也可为两者都有，使得离子风机410不仅能够对竖直方向吹风，也能够对水平方向上吹风，从而达到不仅能够吹落单独产品表面的异物，也能够吹落两个产品之间间隙中的异物。

在本实用新型一实施例中，参照图1和图2，清洁设备还包括设于机壳100内的安装台430；移动机构420包括安装于安装台430的丝杆导轨421和电机422，丝杆导轨421与电机422传动连接，离子风机410与丝杆导轨421驱动连接。电机422驱动自丝杆导轨421转动，进而带动离子风机410做往复运动，以增大离子风气流的范围。可选地，电机422可为步进电机。

为了保证产品的清洁效果，参照图1至图3，本实用新型一实施例中，离子风机410的出风口倾斜设置，出风口相对于竖直方向的倾斜角度为30°～60°。离子风机410的出风口倾斜设置，使得吹出的离子风的方向也是倾斜的，从而使得离子风能够倾斜地吹至产品表面，此时产品表面的异物能够受到与产品表面呈夹角的推力，相比于离子风垂直吹向产品表面的方式，倾斜吹风更加容易吹落异物，达到更好的清洁效果。

可选地，该出风口的倾斜角度可根据实际情况而定，如可选相对于竖直方向的倾斜角度为30°、35°、40°、45°、50°、55°或者60°等。

在本实用新型一实施例中，参照图1至图3，离子风机410的出风口距产品固定支架200的垂直距离在30mm～100mm之间。离子风机410对产品吹风的风力大小需要根据实际产品来确定，为了保证离子风机410对产品清洁效果，该离子风机410的出风口距产品固定支架200的垂直距离不能过大也不能过小，过大的话，离子风吹至产品表面的风力不够而吹不掉异物，过小的话，离子风吹至产品表面的风力过大易把产品吹破。可选地，该离子风机410的出风口距产品固定支架200的垂直距离可为30mm、40mm、50mm、60mm、70mm、80mm、90mm或者100mm。

在本实用新型一实施例中，参照图1至图3，风机过滤机组300设于机壳100的顶部。此时，风机过滤机组300吹出的风能够到达产品的上表面，实现了对机壳100内部整个空间清洁的同时，也能够吹落产品上表面的异物。顶部的风机过滤机组300向下吹风，加上重力作用，以实现对吹落异物的双重作用。

可选地，风机过滤机组300包括风机310和过滤网模块320，过滤网模块320设于机壳100的顶部，风机310设于过滤网模块320的外部。过滤网模块320起到对进入机壳100内部空气的过滤净化作用，保证机壳100的风源的洁净度。可选地，过滤网模块320可采用初效过滤网和高效过滤网的组合形式。为了使得机壳100内部的气流更加均匀，过滤网模块320可覆盖机壳100的整个顶部，以使得机壳100的整个顶部均能够向下出风，从而保证了机壳100内部进风的均匀性。

在实际应用过程中，排风口110的具体设置位置可根据实际情况而定，如可设置在机壳100的顶部、侧部或者底部。而考虑到上一实施例中，风机过滤机组300设置在机壳100的顶部，为了更好地清除异物，参照图1至图3，排风口110设于机壳100的底部，形成气流由上至下的流动方向，此时，产品固定支架200位于风机过滤机组300与排风口110之间的位置，即产品位于风机过滤机组300的出风口与排风口110之间，离子风组件400位于产品与排风口110之间，离子风组件400从产品的下方朝向产品吹风，以使得产品上的异物杂质会受到重力作用和气流的双重作用快速脱落至排风口110中，同时机壳100空间内的异物也会在气流自上至下的作用下，更加快速地从排风口110排出。

可选地，参照图1至图3，该清洁设备还包括排风管500，排风管500连接于排风口110，排风管500可连接至室外，以将异物排到室外而不影响室内环境。可选地，排风管500的管口朝向上方，且高度超过机壳100上端，防止了异物回流的现象。

进一步地，参照图1，机壳100的底部除排风口110之外的区域设有粘性膜120。在实际应用过程中，可能会有大的异物无法被吹出，在机壳100的底部设置粘性膜120以固定无法及时排出的异物，防止异物二次污染产品。

以上所述仅为本实用新型的优选实施例，并非因此限制本实用新型的专利范围，凡是在本实用新型的发明构思下，利用本实用新型说明书及附图内容所作的等效结构变换，或直接/间接运用在其他相关的技术领域均包括在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (10)

1.一种清洁设备，其特征在于，包括：

机壳，所述机壳设有排风口；

产品固定支架，所述产品固定支架设于所述机壳内；

风机过滤机组，所述风机过滤机组设于所述机壳，以对所述机壳内部吹风；以及

离子风组件，所述离子风组件设于所述机壳内，用以对安装于所述产品固定支架上的产品吹风。

2.如权利要求1所述的清洁设备，其特征在于，所述产品固定支架设有用于安装产品的工位孔，所述离子风组件设于所述产品固定支架的下方，并朝向所述工位孔吹风。

3.如权利要求2所述的清洁设备，其特征在于，所述离子风组件包括设于所述机壳内的移动机构和离子风机，所述离子风机与所述移动机构驱动连接。

4.如权利要求3所述的清洁设备，其特征在于，所述清洁设备还包括设于所述机壳内的安装台；所述移动机构包括安装于所述安装台的丝杆导轨和电机，所述丝杆导轨与所述电机传动连接，所述离子风机与所述丝杆导轨驱动连接。

5.如权利要求3或4所述的清洁设备，其特征在于，所述离子风机的出风口倾斜设置，所述出风口相对于竖直方向的倾斜角度为30°～60°；

及/或，所述离子风机的出风口距所述产品固定支架的垂直距离在30mm～100mm之间。

6.如权利要求1至4任意一项所述的清洁设备，其特征在于，所述风机过滤机组设于所述机壳的顶部。

7.如权利要求6所述的清洁设备，其特征在于，所述风机过滤机组包括风机和过滤网模块，所述过滤网模块设于所述机壳的顶部，所述风机设于所述过滤网模块的外部。

8.如权利要求1至4任意一项所述的清洁设备，其特征在于，所述排风口设于所述机壳的底部。

9.如权利要求8所述的清洁设备，其特征在于，所述机壳的底部除所述排风口之外的区域设有粘性膜。

10.如权利要求1至4任意一项所述的清洁设备，其特征在于，所述清洁设备还包括排风管，所述排风管连接于所述排风口。

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