CN213124473U - 一种刻蚀下料带液异常硅片拦截处理装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及一种刻蚀下料带液异常硅片拦截处理装置,包括异常硅片拦截系统,传感器和气缸均有多个,一一对应的设于刻蚀下料区的两端,气缸位于靠近自动化皮带的一端,传感器通过支架与刻蚀下料区的底板连接,气缸通过气缸固定板与刻蚀下料区的底板连接,上端设有支撑板,支撑板上表面的中间位置设有挡板固定座,挡板固定座与支撑板呈垂直状设,并通过其两端的限位螺丝与支撑板限位连接,挡板固定座的中部均匀对称设有多个安装孔,安装孔内螺纹连接有固定螺丝,硅片挡板位于挡板固定座的侧端,并通过固定螺丝与挡板固定座限位连接;控制器位于刻蚀下料区的外侧,传感器和气缸与控制器电连接;本实用新型具有自动化程度高且使用效果好的优点。
Description
技术领域
本实用新型属于太阳能电池硅片制造领域,具体涉及一种刻蚀下料带液异常硅片拦截处理装置。
背景技术
目前,太阳能电池硅片在制造的过程中,由于刻蚀下料区域直接与自动化皮带对接,其中的隐裂带液片在无法得到有效拦截后,会直接传到自动化皮带,从而造成自动化皮带脏污,导致大批量皮带印,以及附带的皮带位置黑斑黑点产生降级,尤其在转做高酸抛工艺后异常明显,严重影响A级率及产能;并且,皮带在污染后不容易发现,要等到丝网印刷烧结成品后检测才能发现,此期间产能、不良数量以及返工数量巨大,会造成严重的经济损失:因此,为解决上述问题,开发一种自动化程度高且使用效果好的刻蚀下料带液异常硅片拦截系统很有必要。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了克服现有技术的不足,而提供一种自动化程度高且使用效果好的刻蚀下料带液异常硅片拦截处理装置。
本实用新型的目的是这样实现的:一种刻蚀下料带液异常硅片拦截处理装置,包括异常硅片拦截系统,异常硅片拦截系统包括控制器、传感器、支架、气缸和硅片挡板,所述传感器和所述气缸均有多个,一一对应的设置于刻蚀下料区的两端,其中,气缸位于靠近自动化皮带的一端,多个传感器均匀固定设置于支架的上端,支架下端与刻蚀下料区的底板固定连接,所述气缸下端通过气缸固定板与刻蚀下料区的底板固定连接,上端设置有支撑板,所述支撑板上表面的中间位置设置有挡板固定座,所述挡板固定座与所述支撑板呈垂直状设置,并通过其两端的限位螺丝与支撑板限位连接,挡板固定座的中部均匀对称设置有多个安装孔,安装孔内螺纹连接有固定螺丝,所述硅片挡板位于挡板固定座的侧端,并通过固定螺丝与挡板固定座限位连接;所述控制器位于刻蚀下料区的外侧,传感器和气缸均与控制器电连接。
所述传感器和所述气缸均有五个,分别一一对应的均匀设置于刻蚀下料区的两端。
所述硅片挡板侧面下端的中间位置设置有两个条形孔,所述固定螺丝一端位于硅片挡板的外侧,另一端穿过条形孔位于安装孔内,并与安装孔螺纹连接。
所述刻蚀下料区的侧端还设置有声光报警灯,所述声光报警灯通过支杆固定设置于刻蚀下料区的外侧,且声光报警灯与控制器电连接。
本实用新型的有益效果:本实用新型通过设置控制器、传感器、气缸、挡板固定座和硅片挡板,利用传感器对硅片运行的时间进行检测并判定硅片是否正常,如不在时间内则判定为异常,此时,传感器向控制器传递信号,控制器接收信号并控制声光报警灯以及与检测出异常的传感器所对应的气缸启动,声光报警灯的启动提醒人员及时处理,气缸的启动,通过支撑板和挡板固定座带动硅片挡板向上移动,将异常硅片拦截在下料处,杜绝了异常硅片进自动化带后导致皮带污染,有效避免了大批量皮带印以及皮带位置的黑斑黑点产生;同时,本实用新型通过在硅片挡板侧面下端的中间位置设置两个条形孔,采用此结构,可对硅片挡板上端与挡板固定座上端之间距离间隔进行调节,避免在底板不平整的情况下,多个气缸及多个硅片挡板在安装时,由于气缸的行程固定,从而造成多个硅片挡板的上端不在同一水平面的问题;总的,本实用新型具有自动化程度高且使用效果好的优点。
附图说明
图1是本实用新型结构的俯视图图。
图2是本实用新型中气缸和硅片挡板连接的侧视图。
图3是本实用新型中硅片挡板的侧视图。
图中:1、控制器 2、传感器 3、支架 4、气缸 5、硅片挡板 51、条形孔 6、气缸固定板 7、支撑板 8、挡板固定座 81、安装孔 9、声光报警灯 91、支杆。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
实施例:如图1、图2、图3所示,一种刻蚀下料带液异常硅片拦截处理装置,包括异常硅片拦截系统,异常硅片拦截系统包括控制器1、传感器2、支架3、气缸4和硅片挡板5,所述传感器2和所述气缸4均有五个,分别一一对应的均匀设置于刻蚀下料区的两端,其中,气缸4位于靠近自动化皮带的一端,多个传感器2均匀固定设置于支架3的上端,支架3下端与刻蚀下料区的底板固定连接,所述气缸4下端通过气缸固定板6与刻蚀下料区的底板固定连接,上端设置有支撑板7,所述支撑板7上表面的中间位置设置有挡板固定座8,所述挡板固定座8与所述支撑板7呈垂直状设置,并通过其两端的限位螺丝与支撑板7限位连接,挡板固定座8的中部均匀对称设置有多个安装孔81,安装孔81内螺纹连接有固定螺丝,所述硅片挡板5位于挡板固定座8的侧端,其侧面下端的中间位置设置有两个条形孔51,固定螺丝一端位于硅片挡板5的外侧,另一端穿过条形孔51位于安装孔81内,并与安装孔81螺纹连接;刻蚀下料区的外侧设置有声光报警灯9和控制器1,所述声光报警灯9通过支杆91固定设置于刻蚀下料区的外侧,声光报警灯9、传感器2和气缸4均与控制器1电连接。
本实用新型在使用时,首先,利用支架3和气缸固定板6分别将传感器2和气缸4固定安装于刻蚀下料区的两端,而后,通过限位螺丝将挡板固定座8垂直安装于气缸4上端的支撑板7上,最后,将硅片挡板5放置于挡板固定座8的一侧,利用固定螺丝穿过条形孔51,并与安装孔81螺纹连接,从而实现硅片挡板5与挡板固定座8之间的限位连接,完成上述操作后,开启刻蚀主机台和自动化皮带,在硅片经过刻蚀主机台进入至刻蚀下料区时,利用传感器2对硅片运行的时间进行检测并判定硅片是否正常,如不在设定时间范围内则判定为异常,此时,传感器2向控制器1传递信号,控制器1接收信号并控制声光报警灯9启动,声光报警灯9的启动提醒人员及时对不良硅片进行处理,声光报警灯9启动的同时,控制器1控制与检测出异常的传感器2所对应的气缸4延时4.5秒启动,气缸4的启动,通过支撑板7和挡板固定座8带动硅片挡板5向上移动,将异常硅片拦截在下料处,最后,操作人员在听到声光报警后将异常硅片处理,并按下复位键,气缸4复位,正常生产,本实用新型采用此结构,杜绝了异常硅片进自动化带后导致皮带污染,有效避免了大批量皮带印以及皮带位置的黑斑黑点产生;同时,本实用新型通过在硅片挡板5侧面下端的中间位置设置两个条形孔51,采用此结构,可对硅片挡板5上端与挡板固定座8上端之间距离间隔进行调节,避免在底板不平整的情况下,多个气缸4及多个硅片挡板5在安装时,由于气缸4的行程固定,从而造成多个硅片挡板5的上端不在同一水平面的问题;总的,本实用新型具有自动化程度高且使用效果好的优点。
以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其限制,尽管参照上述实施例对本实用新型进行了详细的说明,所属领域的普通技术人员应当理解,依然可以对本实用新型的具体实施方式进行修改或者等同替换,而未脱离本实用新型精神和范围的任何修改或者等同替换,其均应涵盖在本实用新型的权利要求范围当中。
Claims (4)
1.一种刻蚀下料带液异常硅片拦截处理装置,包括异常硅片拦截系统,其特征在于:异常硅片拦截系统包括控制器、传感器、支架、气缸和硅片挡板,所述传感器和所述气缸均有多个,一一对应的设置于刻蚀下料区的两端,其中,气缸位于靠近自动化皮带的一端,多个传感器均匀固定设置于支架的上端,支架下端与刻蚀下料区的底板固定连接,所述气缸下端通过气缸固定板与刻蚀下料区的底板固定连接,上端设置有支撑板,所述支撑板上表面的中间位置设置有挡板固定座,所述挡板固定座与所述支撑板呈垂直状设置,并通过其两端的限位螺丝与支撑板限位连接,挡板固定座的中部均匀对称设置有多个安装孔,安装孔内螺纹连接有固定螺丝,所述硅片挡板位于挡板固定座的侧端,并通过固定螺丝与挡板固定座限位连接;所述控制器位于刻蚀下料区的外侧,传感器和气缸均与控制器电连接。
2.如权利要求1所述的一种刻蚀下料带液异常硅片拦截处理装置,其特征在于:所述传感器和所述气缸均有五个,分别一一对应的均匀设置于刻蚀下料区的两端。
3.如权利要求1所述的一种刻蚀下料带液异常硅片拦截处理装置,其特征在于:所述硅片挡板侧面下端的中间位置设置有两个条形孔,所述固定螺丝一端位于硅片挡板的外侧,另一端穿过条形孔位于安装孔内,并与安装孔螺纹连接。
4.如权利要求1所述的一种刻蚀下料带液异常硅片拦截处理装置,其特征在于:所述刻蚀下料区的侧端还设置有声光报警灯,所述声光报警灯通过支杆固定设置于刻蚀下料区的外侧,且声光报警灯与控制器电连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN202022681142.2U Active CN213124473U (zh) | 2020-11-19 | 2020-11-19 | 一种刻蚀下料带液异常硅片拦截处理装置 |
Country Status (1)
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CN113964067A (zh) * | 2021-11-26 | 2022-01-21 | 江苏威森美微电子有限公司 | 一种晶圆刻蚀设备 |
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CN113964067B (zh) * | 2021-11-26 | 2022-10-25 | 江苏威森美微电子有限公司 | 一种晶圆刻蚀设备 |
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