CN213057142U - 石英坩埚转运小车 - Google Patents

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杨春慧
李卫
李常国
李�杰
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Abstract

本实用新型的石英坩埚转运小车包括小车本体和坩埚托架,所述小车本体的上端与坩埚托架固定连接,所述坩埚托架包括两个倾斜支架、支撑框架、坩埚挡板、两个坩埚托辊,所述倾斜支架位于小车本体的两侧,倾斜支架的下端与小车本体连接,倾斜支架的上端与支撑框架的前端连接,支撑框架的后端与小车本体连接,坩埚挡板的下端与支撑框架垂直固定连接,坩埚托辊的后端与坩埚挡板转动连接,坩埚托辊的前端与支撑框架转动连接,两个坩埚托辊分别位于支撑框架的两侧且与支撑框架平行,转运时,石英坩埚架设在坩埚托辊上。通过转运小车对石英坩埚进行转运,能够减少固定石英坩埚的时间,从而提高石英坩埚的转运效率。

Description

石英坩埚转运小车
技术领域
本实用新型涉及坩埚加工技术领域,尤其涉及一种石英坩埚转运小车。
背景技术
石英玻璃坩埚目前主要用于太阳能和半导体行业拉晶。随着不断的研发和发展,大硅片目前以成为全球硅片需求的主流,制造12英寸及以上的硅片需使用32寸及以上更大的石英坩埚。随着坩埚尺寸的不断增大,坩埚的重量随之也在不断的增加。现有技术石英坩埚通过行车和悬吊装置的配合将石英坩埚转运出去。这种转运方式对悬吊的要求较高,如果不能悬挂牢固,坩埚就容易从悬吊装置上脱落,因此悬挂过程中比较花费时间。
发明内容
有鉴于此,有必要提供一种便于搬运的、转运效率高的石英坩埚转运小车。
一种石英坩埚转运小车包括小车本体和坩埚托架,所述小车本体的上端与坩埚托架固定连接,所述坩埚托架包括两个倾斜支架、支撑框架、坩埚挡板、两个坩埚托辊,所述倾斜支架位于小车本体的两侧,倾斜支架的下端与小车本体连接,倾斜支架的上端与支撑框架的前端连接,支撑框架的后端与小车本体连接,坩埚挡板的下端与支撑框架垂直固定连接,坩埚托辊的后端与坩埚挡板转动连接,坩埚托辊的前端与支撑框架转动连接,两个坩埚托辊分别位于支撑框架的两侧且与支撑框架平行,转运时,石英坩埚架设在坩埚托辊上。
优选的,所述倾斜支架为可调节支架,倾斜支架的上端与支撑框架的前端转动连接,所述支撑框架的后端与小车本体转动连接,以通过调节倾斜支架改变支撑框架的倾斜角度。
优选的,所述倾斜支架平行设置若干卡槽,倾斜支架的下端利用卡槽与小车本体搭接,对应的,在小车本体上设有搭扣,卡槽卡在搭扣上。
优选的,所述小车本体包括车架、四个行走轮、储砂斗、筛网,所述车架呈立方体状,车架的上端与坩埚托架连接,车架的底部与行走轮连接,车架为中空结构,储砂斗位于车架的中空位置上,储砂斗的上端的边沿与车架固定连接,储砂斗的上端与筛网固定连接,储砂斗的底部设有排砂口,排砂口上设有排砂阀,以控制石英砂的排出。
优选的,所述车架的后端设有扶手,以便于转运。
优选的,所述坩埚托辊的表面设有渡塑层,以防止坩埚污染和划伤。
优选的,所述挡板的表面设有特氟龙垫层,以减小坩埚从模具中滑出时的冲力。
有益效果:本实用新型的石英坩埚转运小车包括小车本体和坩埚托架,所述小车本体的上端与坩埚托架固定连接,所述坩埚托架包括两个倾斜支架、支撑框架、坩埚挡板、两个坩埚托辊,所述倾斜支架位于小车本体的两侧,倾斜支架的下端与小车本体连接,倾斜支架的上端与支撑框架的前端连接,支撑框架的后端与小车本体连接,坩埚挡板的下端与支撑框架垂直固定连接,坩埚托辊的后端与坩埚挡板转动连接,坩埚托辊的前端与支撑框架转动连接,两个坩埚托辊分别位于支撑框架的两侧且与支撑框架平行,转运时,石英坩埚架设在坩埚托辊上。通过转运小车对石英坩埚进行转运,能够减少固定石英坩埚的时间,从而提高石英坩埚的转运效率。
附图说明
图1为本实用新型的石英坩埚转运小车的结构示意图。
图2为本实用新型的石英坩埚转运小车的一较佳局部结构示意图。
图3为本实用新型的石英坩埚转运小车的另一较佳局部结构示意图。
图4为本实用新型的石英坩埚转运小车的再一较佳局部结构示意图。
图5为模具中的石英坩埚转移到石英坩埚转运小车上时的状态图。
图6为石英坩埚平放在石英坩埚转运小车上的状态图。
图中:石英坩埚转运小车10、小车本体20、车架201、扶手2011、行走轮202、储砂斗203、排砂口2031、筛网204、坩埚托架30、倾斜支架301、卡槽3011、支撑框架302、坩埚挡板303、坩埚托辊304、模具40、石英坩埚50。
具体实施方式
为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案,下面将对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
请参看图1至图4,一种石英坩埚转运小车10包括小车本体20和坩埚托架30,所述小车本体20的上端与坩埚托架30固定连接,所述坩埚托架30包括两个倾斜支架301、支撑框架302、坩埚挡板303、两个坩埚托辊304,所述倾斜支架301位于小车本体20的两侧,倾斜支架301的下端与小车本体20连接,倾斜支架301的上端与支撑框架302的前端连接,支撑框架302的后端与小车本体20连接,坩埚挡板303的下端与支撑框架302垂直固定连接,坩埚托辊304的后端与坩埚挡板303转动连接,坩埚托辊304的前端与支撑框架302转动连接,两个坩埚托辊304分别位于支撑框架302的两侧且与支撑框架302平行,转运时,石英坩埚50架设在坩埚托辊304上。
在一较佳实施方式中,所述支撑框架302的前端或两侧设有把手。
进一步的,所述倾斜支架301为可调节支架,倾斜支架301的上端与支撑框架302的前端转动连接,所述支撑框架302的后端与小车本体20转动连接,以通过调节倾斜支架301改变支撑框架302的倾斜角度。
进一步的,所述倾斜支架301平行设置若干卡槽3011,倾斜支架301的下端利用卡槽3011与小车本体20搭接,对应的,在小车本体20上设有搭扣,卡槽3011卡在搭扣上。
在一较佳实施方式中,所述可调节支架为螺杆升降机。螺旋升降机的升降杆与支撑框架302转动连接,螺旋升降机的机身与小车本体20转动连接,如此,能够对支撑框架302的倾角进行连续调节。
在另一较佳实施方式中,所述可调节支架为液压油缸,液压油缸的伸缩杆与支撑框架302转动连接,液压油缸的缸体与小车本体20转动连接。液压油的邮箱可设置在小车本体20上。
进一步的,所述小车本体20包括车架201、四个行走轮202、储砂斗203、筛网204,所述车架201呈立方体状,车架201的上端与坩埚托架30连接,车架201的底部与行走轮202连接,车架201为中空结构,储砂斗203位于车架201的中空位置上,储砂斗203的上端的边沿与车架201固定连接,储砂斗203的上端与筛网204固定连接,储砂斗203的底部设有排砂口2031,排砂口2031上设有排砂阀,以控制石英砂的排出。
储砂斗203可以收集从石英坩埚50表面掉落的石英砂。的筛网204的作用是当坩埚出现破碎或破损时,掉落的大块石英玻璃可以被阻隔,以防止掉入储砂斗203中无法取出。当石英砂盛满后,可通过排砂阀将储砂斗203中的砂子排出。
在一较佳实施方式中,所述小车本体20可以调节高度,从而使坩埚托辊304可以和模具40中的坩埚对接。小车本体20高度的调节可通过车架201的升降 实现。例如,车架201的四个侧棱为螺旋升降机,通过螺旋升降机的升降控制车架201上端的升降,从而控制坩埚托架30的升降。再例如,车架201的四个侧棱为千斤顶,通过千斤顶的升降控制设计啊的车架201上端的升降,从而控制坩埚托架30的升降。
进一步的,所述车架201的后端设有扶手2011,以便于转运。
进一步的,所述坩埚托辊304的表面设有渡塑层,以防止坩埚污染和划伤。
进一步的,所述挡板的表面设有特氟龙垫层,以减小坩埚从模具40中滑出时的冲力。
在一较佳实施方式中,本实用新型的石英坩埚转运小车10的实施过程如下:
请参看图5和图6,坩埚熔融完毕后,将模具40向下倾斜。将转运小车移动至模具40下方。调整模具40或支撑框架302的倾角,使模具40的倾角与支撑框架302的倾角相同或相似。如果是调整支撑框架302的倾角,那么就调节倾斜支架301,使坩埚托辊304基本与模具40内胆边缘平行。之后敲击模具40,使坩埚从内胆中脱离,并用坩埚钳夹住坩埚并稍微施力,使坩埚通过拉力以及自身重力滑动到坩埚托辊304上,直至坩埚与挡板接触。为了提高倾斜支架301的支撑强度,在坩埚放好之后,用手握紧支撑框架302上的把手,使手臂力量支撑起支撑框架302,然后调节倾斜支架301,并缓慢将支撑框架302放平。
以上所揭露的仅为本实用新型较佳实施例而已,当然不能以此来限定本实用新型之权利范围,本领域普通技术人员可以理解实现上述实施例的全部或部分流程,并依本实用新型权利要求所作的等同变化,仍属于实用新型所涵盖的范围。

Claims (7)

1.一种石英坩埚转运小车,其特征在于:包括小车本体和坩埚托架,所述小车本体的上端与坩埚托架固定连接,所述坩埚托架包括两个倾斜支架、支撑框架、坩埚挡板、两个坩埚托辊,所述倾斜支架位于小车本体的两侧,倾斜支架的下端与小车本体连接,倾斜支架的上端与支撑框架的前端连接,支撑框架的后端与小车本体连接,坩埚挡板的下端与支撑框架垂直固定连接,坩埚托辊的后端与坩埚挡板转动连接,坩埚托辊的前端与支撑框架转动连接,两个坩埚托辊分别位于支撑框架的两侧且与支撑框架平行,转运时,石英坩埚架设在坩埚托辊上。
2.如权利要求1所述的石英坩埚转运小车,其特征在于:所述倾斜支架为可调节支架,倾斜支架的上端与支撑框架的前端转动连接,所述支撑框架的后端与小车本体转动连接,以通过调节倾斜支架改变支撑框架的倾斜角度。
3.如权利要求2所述的石英坩埚转运小车,其特征在于:所述倾斜支架平行设置若干卡槽,倾斜支架的下端利用卡槽与小车本体搭接,对应的,在小车本体上设有搭扣,卡槽卡在搭扣上。
4.如权利要求1所述的石英坩埚转运小车,其特征在于:所述小车本体包括车架、四个行走轮、储砂斗、筛网,所述车架呈立方体状,车架的上端与坩埚托架连接,车架的底部与行走轮连接,车架为中空结构,储砂斗位于车架的中空位置上,储砂斗的上端的边沿与车架固定连接,储砂斗的上端与筛网固定连接,储砂斗的底部设有排砂口,排砂口上设有排砂阀,以控制石英砂的排出。
5.如权利要求4所述的石英坩埚转运小车,其特征在于:所述车架的后端设有扶手,以便于转运。
6.如权利要求1所述的石英坩埚转运小车,其特征在于:所述坩埚托辊的表面设有渡塑层,以防止坩埚污染和划伤。
7.如权利要求1所述的石英坩埚转运小车,其特征在于:所述挡板的表面设有特氟龙垫层,以减小坩埚从模具中滑出时的冲力。
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