CN213022870U - 一种薄膜厚度均匀性检测系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型揭示了一种薄膜厚度均匀性检测系统,包括安装在机架上的光信号发射装置和光信号接收装置,所述光信号发射装置包括多个光源探头,所述光信号接收装置包括多个接收探头,每一光源探头与相应的一接收探头沿被测试薄膜厚度方向相对设置,使由每一光源探头发射的光线在沿厚度方向垂直穿过所述薄膜后能够被相应的一接收探头接收,并且至少所述光信号接收装置还与计算机控制系统连接。本实用新型提供的薄膜厚度均匀性检测系统,通过对涂层多个位置进行特定波长下的透过率测试,可用于对涂层厚度均匀性的原位检测,透过率的测试数据通过控制系统输出反馈,来调整涂膜系统的进料量以及传动速度,从而达到涂层厚度均匀性在线可调控的目的。
Description
技术领域
本实用新型属于涂层检测技术领域,具体涉及一种适用于涂层的薄膜厚度均匀性检测系统。
背景技术
随着电子信息技术的发展,柔性智能设备越来越成为当前智能设备的主流,例如柔性太阳能电池、柔性薄膜电池、柔性薄膜电容、柔性OLED、柔性电子书写纸、柔性薄膜传感器、柔性热致变色薄膜、柔性光致变色薄膜、柔性电致变色薄膜等柔性电子器件。
关于柔性电子器件,涉及基于柔性基材的多层复合膜的制备;该多层复合膜以不同材料体系为原料,在柔性基底上制备多层结构的涂层;其中,涂层可根据涂布材料的物理性能(粘度)以及对涂层厚度的要求,通过对喷和刮两种工艺的机动选用,实现多层复合膜的一次性制备。涂布成膜后通过一个具有红外线发生器的温控系统来控制涂层的干燥流程,达到快速烘干溶剂目的,再对烘干后的涂层厚度均匀性进行检测,目前的检测系统不能满足涂层厚度均匀性在线可调控的要求。
发明内容
本实用新型的主要目的在于提供一种薄膜厚度均匀性检测系统,以克服现有技术中存在的不足。
为实现前述目的,本实用新型实施例采用的技术方案包括:
本实用新型实施例提供一种薄膜厚度均匀性检测系统,其包括安装在机架上的光信号发射装置和光信号接收装置,所述光信号发射装置包括多个光源探头,所述光信号接收装置包括多个接收探头,每一光源探头与相应的一接收探头沿被测试薄膜厚度方向相对设置,使由每一光源探头发射的光线在沿厚度方向垂直穿过所述薄膜后能够被相应的一接收探头接收,并且至少所述光信号接收装置还与计算机控制系统连接。
进一步地,所述光信号发射装置和光信号接收装置之间形成有可供被测试薄膜连续通过的检测空间。
进一步地,所述检测空间是封闭且不透光的。
进一步地,所述计算机控制系统还与光信号发射装置连接。
进一步地,所述薄膜厚度均匀性检测系统还包括人机界面控制模块,所述人机界面控制模块与所述光信号接收装置连接。
进一步地,所述光信号接收装置通过通信线缆分别与人机界面控制模块、计算机控制系统连接。
与现有技术相比,本实用新型具有如下有益效果:
本实用新型薄膜厚度均匀性检测系统,通过对涂层多个位置进行特定波长下的透过率测试,可用于对涂层厚度均匀性的原位检测,透过率的测试数据通过控制系统输出反馈,来调整涂膜系统的进料量以及传动速度,从而达到涂层厚度均匀性在线可调控的目的。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1是本申请一实施方式中薄膜厚度均匀性检测系统的结构示意图。
附图标记说明:1、机架,11、检测空间,2、计算机控制系统,3、人机界面控制模块,4、通讯线,5、连续的柔性薄膜,6、光信号发射装置,61、光源探头,7、光信号接收装置,71、接收探头。
具体实施方式
通过应连同所附图式一起阅读的以下具体实施方式将更完整地理解本实用新型。本文中揭示本实用新型的详细实施例;然而,应理解,所揭示的实施例仅具本实用新型的示范性,本实用新型可以各种形式来体现。因此,本文中所揭示的特定功能细节不应解释为具有限制性,而是仅解释为权利要求书的基础且解释为用于教示所属领域的技术人员在事实上任何适当详细实施例中以不同方式采用本发明的代表性基础。
鉴于现有技术中由于现有的涂层厚度检测系统不能满足涂层厚度均匀性在线可调控的要求,本案发明人经长期研究和大量实践,开发出本实用新型的薄膜厚度均匀性检测系统。如下将对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明。
本实用新型实施例的一个方面提供了一种薄膜厚度均匀性检测系统,其包括安装在机架上的光信号发射装置和光信号接收装置,所述光信号发射装置包括多个光源探头,所述光信号接收装置包括多个接收探头,每一光源探头与相应的一接收探头沿被测试薄膜厚度方向相对设置,使由每一光源探头发射的光线在沿厚度方向垂直穿过所述薄膜后能够被相应的一接收探头接收,并且至少所述光信号接收装置还与计算机控制系统连接。
在一些优选实施例中,所述光信号发射装置和光信号接收装置之间形成有可供被测试薄膜连续通过的检测空间。
相应的,所述检测空间是封闭且不透光的。
在一些优选实施例中,在测试时所述光信号发射装置、光信号接收装置与被测试薄膜均无直接接触。
在一些优选实施例中,所述多个接收探头并行设置。
在一些优选实施例中,所述多个接收探头至少沿被测试薄膜的幅宽方向连续或间隔排列。
在一些优选实施例中,所述计算机控制系统还与光信号发射装置连接。
在一些更为优选的实施例中,所述的薄膜厚度均匀性检测系统还包括人机界面控制模块,所述人机界面控制模块与所述光信号接收装置连接。
相应的,所述光信号接收装置通过通信线缆分别与人机界面控制模块、计算机控制系统连接。
在一些优选实施例中,所述被测试薄膜为连续的柔性薄膜。
本实用新型实施例提供的薄膜厚度均匀性检测系统,通过对涂层多个位置进行特定波长下的透过率测试,可用于对涂层厚度均匀性的原位检测,透过率的测试数据通过控制系统输出反馈,来调整涂膜系统的进料量以及传动速度,从而达到涂层厚度均匀性在线可调控的目的。
如下将结合附图对该技术方案、其实施过程及原理等作进一步的解释说明。
实施例
参阅图1,本实用新型的一个实施例中提供的薄膜厚度均匀性检测系统,其包括安装在机架1上的光信号发射装置6和光信号接收装置7,且光信号发射装置6和光信号接收装置7之间形成有可供被测试连续的柔性薄膜5连续通过的检测空间11,该检测空间11是封闭且不透光的;
光信号发射装置6包括多个并行设置的光源探头61,光信号接收装置7包括多个并行设置的接收探头71,且多个接收探头71至少沿被测试连续的柔性薄膜5的幅宽方向连续或间隔排列;每一光源探头61与相应的一接收探头71沿被测试的连续的柔性薄膜5厚度方向相对设置,使由每一光源探头61发射的光线在沿厚度方向垂直穿过连续的柔性薄膜5后能够被相应的一接收探头71接收,并且至少光信号发射装置6、光信号接收装置7还分别通过通信线缆4与计算机控制系统2及人机界面控制模块3连接。
本实施例的薄膜厚度均匀性检测系统,工作过程如下:连续的柔性薄膜5以一定的传送速度输送至检测空间11中,且光信号发射装置6、光信号接收装置7与连续的柔性薄膜5均无直接接触;计算机控制系统2控制光信号发射装置6对检测空间11内的连续的柔性薄膜5发射特定波长的光源,穿过连续的柔性薄膜5的光源由光信号接收装置7对应的接收探头71进行接收,得到对应的透过率测试数据,透过率的测试数据则通过控制系统的人机界面控制模块3输出反馈,来调整涂膜系统的进料量以及传动速度,从而达到涂层厚度均匀性在线可调控的目的。
应当理解,上述实施例仅为说明本实用新型的技术构思及特点,其目的在于让熟悉此项技术的人士能够了解本实用新型的内容并据以实施,并不能以此限制本实用新型的保护范围。凡根据本实用新型精神实质所作的等效变化或修饰,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种薄膜厚度均匀性检测系统,其特征在于包括安装在机架上的光信号发射装置和光信号接收装置,所述光信号发射装置包括多个光源探头,所述光信号接收装置包括多个接收探头,每一光源探头与相应的一接收探头沿被测试薄膜厚度方向相对设置,使由每一光源探头发射的光线在沿厚度方向垂直穿过所述薄膜后能够被相应的一接收探头接收,并且至少所述光信号接收装置还与计算机控制系统连接。
2.根据权利要求1所述的薄膜厚度均匀性检测系统,其特征在于:所述光信号发射装置和光信号接收装置之间形成有可供被测试薄膜连续通过的检测空间。
3.根据权利要求2所述的薄膜厚度均匀性检测系统,其特征在于:所述检测空间是封闭且不透光的。
4.根据权利要求1所述的薄膜厚度均匀性检测系统,其特征在于:在测试时所述光信号发射装置、光信号接收装置与被测试薄膜均无直接接触。
5.根据权利要求1所述的薄膜厚度均匀性检测系统,其特征在于:所述多个接收探头并行设置。
6.根据权利要求1或5所述的薄膜厚度均匀性检测系统,其特征在于:所述多个接收探头至少沿被测试薄膜的幅宽方向连续或间隔排列。
7.根据权利要求1所述的薄膜厚度均匀性检测系统,其特征在于:所述计算机控制系统还与光信号发射装置连接。
8.根据权利要求1所述的薄膜厚度均匀性检测系统,其特征在于还包括人机界面控制模块,所述人机界面控制模块与所述光信号接收装置连接。
9.根据权利要求8所述的薄膜厚度均匀性检测系统,其特征在于:所述光信号接收装置通过通信线缆分别与人机界面控制模块、计算机控制系统连接。
10.根据权利要求1所述的薄膜厚度均匀性检测系统,其特征在于:所述被测试薄膜为连续的柔性薄膜。
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CN202022066969.2U CN213022870U (zh) | 2020-09-18 | 2020-09-18 | 一种薄膜厚度均匀性检测系统 |
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---|---|---|---|---|
CN115639177A (zh) * | 2022-10-13 | 2023-01-24 | 上海元析仪器有限公司 | 一种多通道薄膜透光率实时在线测试及预警系统 |
CN117704980A (zh) * | 2024-02-05 | 2024-03-15 | 钛玛科(北京)工业科技有限公司 | 一种可进行滤光片切换的材料涂层厚度检测系统和方法 |
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CN117704980B (zh) * | 2024-02-05 | 2024-04-30 | 钛玛科(北京)工业科技有限公司 | 一种可进行滤光片切换的材料涂层厚度检测系统和方法 |
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